一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置的制作方法

1.本实用新型涉及电子气体灌装技术领域，尤其涉及一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置。


背景技术：

2.目前，半导体工业用的气体统称电子气体，电子气体如氟化物蚀刻气体三氟甲烷，要求纯度达99.999%，才能满足半导体刻蚀二氧化硅的工艺。三氟甲烷是一种无色、微味，不导电的低温（
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100℃）电子气体，由于大型气瓶的灌装，需要人工将气瓶搬运到清洗口进行清洗，再到灌装口灌装，劳动强度大，运输不方便，为此需要一种移动式灌装装置。


技术实现要素：

3.本实用新型目的是为了解决现有技术中存在的问题，提供一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
5.一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，包括：移动车、灌装装置、称重装置，移动车的上部设置有用于气体罐称重的称重装置，移动车的头部设置有用于气体罐灌装的灌装装置，灌装装置输出端通过管道与气体罐罐口联通，灌装装置输入端通过管道与三氟甲烷电子气体站的罐口联通；所述移动车上一侧置有控制系统操作面板，控制系统操作面板连接的控制系统信号端通过电缆与称重装置相连。
6.一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，所述灌装装置由阀体、气源快速接头和气罐快速接头组成，所述阀体一端通过管道与气源快速接头连通，阀体另一端通过管道与气罐快速接头连通。
7.一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，所述灌装装置为一个泵系，泵系由泵体输入端通过管道与气源快速接头连通，泵体输出端通过管道与气罐快速接头连通。
8.由于采用如上所述的技术方案，本实用新型具有如下优越性：
9.一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，通过将移动车载有的气体罐，运输到清洗站口对气体罐清洗，再将清洗后的气体罐进行灌装。当称重装置达到设定称重数量。关闭阀体，停止灌装。本实用新型能够快速对气体罐进行清洗、灌装和称重，其结构简单，操作方便，生产成本低，使用效果好。
附图说明
10.图1为移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置的结构示意图。
11.图中：1
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移动车，2
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称重装置，3
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气体罐，4
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气罐快速接头，灌5
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装装置，6
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气源快速接头，7
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电子气体站灌口端，8
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系统操作面板。
具体实施方式
12.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
13.实施例1
14.如图1所示，一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，包括：移动车1、灌装装置5、称重装置2，移动车1的上部设置有用于气体罐3称重的称重装置2，移动车1的头部设置有用于气体罐3灌装的灌装装置5，灌装装置5输出端通过管道与气体罐3罐口联通，灌装装置5输入端通过管道与三氟甲烷电子气体站的罐口联通；所述移动车1上一侧置有控制系统操作面板8，控制系统操作面板8连接的控制系统信号端通过电缆与称重装置2相连。
15.所述灌装装置5由阀体、气源快速接头6和气罐快速接头4组成，所述阀体一端通过管道与气源快速接头6连通，阀体另一端通过管道与气罐快速接头4连通。
16.使用时，将载有气体罐3的移动车1，运输到清洗口对气体罐3清洗，清洗完毕。再将载有清洗后的气体罐3通过移动车1移动至三氟甲烷电子气体站的电子气体站灌口端7，通过灌装装置5管道端的气源快速接头6与其连通，及气罐快速接头4与气体罐3罐口连通。再开始灌装，移动车1上控制系统操作面板8，设定称重数量。当称重装置2达到设定称重数量。关闭阀体，停止灌装。
17.实施例2
18.所述灌装装置5为一个泵系，泵系由泵体输入端通过管道与气源快速接头6连通，泵体输出端通过管道与气罐快速接头4连通。用于连接氮气源，通过泵体增压对气体罐3进行清洗。


技术特征：
1.一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，其特征是：包括：移动车（1）、灌装装置（5）、称重装置（2），移动车（1）的上部设置有用于气体罐（3）称重的称重装置（2），移动车（1）的头部设置有用于气体罐（3）灌装的灌装装置（5），灌装装置（5）输出端通过管道与气体罐（3）罐口联通，灌装装置（5）输入端通过管道与三氟甲烷电子气体站的罐口联通；所述移动车（1）上一侧置有控制系统操作面板（8），控制系统操作面板（8）连接的控制系统信号端通过电缆与称重装置（2）相连；所述灌装装置（5）为一个泵系，泵系由泵体输入端通过管道与气源快速接头（6）连通，泵体输出端通过管道与气罐快速接头（4）连通。2.根据权利要求1所述的一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，其特征是：所述灌装装置（5）由阀体、气源快速接头（6）和气罐快速接头（4）组成，所述阀体为电动阀体结构，阀体一端通过管道与气源快速接头（6）连通，阀体另一端通过管道与气罐快速接头（4）连通。

技术总结
本实用新型涉及气体灌装技术领域，公开的一种移动式三氟甲烷电子气体的灌装装置，包括：移动车、灌装装置、称重装置，移动车的上部设置有用于气体罐称重的称重装置，移动车的头部设置有用于气体罐灌装的灌装装置，灌装装置输出端通过管道与气体罐罐口联通，灌装装置输入端通过管道与三氟甲烷电子气体站的罐口联通；所述移动车上一侧置有控制系统操作面板，控制系统操作面板连接的控制系统信号端通过电缆与称重装置相连。本实用新型能够快速对气体罐进行清洗、灌装和称重，其结构简单，操作方便，生产成本低，使用效果好。使用效果好。使用效果好。


技术研发人员：李飞娥 刘文丽 王俊果 郭帅杰 韩列光 姬文博 刘乐通
受保护的技术使用者：伊川湄格气体有限公司
技术研发日：2021.02.19
技术公布日：2021/12/16