一种特殊气体输送设备的制作方法

1.本实用新型涉及特殊供气源瓶储存技术领域，特别涉及一种特殊气体输送设备。


背景技术：

2.在半导体芯片、光伏元件等行业的生产车间都会用到tcs(三氯氢硅)的供气供液系统。tcs(三氯氢硅)在常压下为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易煅烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火会强烈燃烧，生成sio2、hcl和cl2：sihcl31+o2
→
sio2+hcl+cl2，三氯硅烷的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受热时引起猛烈的爆炸。在900℃时分解产生氯化物有毒烟雾(hcl)，还生成cl2和si。在碱液中分解放出氢气，与氧化性物质接触时产生爆炸性反应，与乙炔、烃等碳氢化合物反应产生有机氯硅烷。无水状态下三氯硅烷对铁和不锈钢不腐蚀，但是在有水分存在时腐蚀大部分金属。三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，用作高分子有机硅化合物的原料。
3.常规的tcs供应装置一般采用手动型式操作，对气体行业气体品质的可靠性稳定性有潜在的风险，没有对供气装置进行自动化改造，不能够降低人为操作的风险，不便于提高系统品质的保障，同时难以防止颗粒物及污染源进入设备，不能很好的保护了元器件及使用端获得洁净的气体，难以实现使供气装置自动切换，以保证不间断供气；当出现突发事件时，不能够紧急处理，切断气源。


技术实现要素：

4.针对以上述背景技术的不足，本实用新型提供一种特殊气体输送设备。
5.本实用新型采用的技术方案如下：一种特殊气体输送设备，关键在于：包括柜体，所述柜体中设有两个气源瓶和供气管路，所述供气管路包括与两个所述气源瓶连接的tcs管及与所述tcs管连通的氢气管及氩气管，tcs管、氢气管及氩气管上设有多个气动隔膜阀，所述柜体中设有烟雾探测器和火焰探测器，所述烟雾探测器、火焰探测器和多个所述气动隔膜阀均与控制器电连接。该方案的效果是通过控制器控制多处气动隔膜阀，使供气管路能实现两个气源瓶的自动切换，保证不间断供气；通过氢气管中输入高纯氢气作为填充驱动气体，对气源瓶罐内产生压力，从而将tcs液体输送到使用点；通过氩气管输入高纯氩气作为吹扫气体，在更换气源前后能自动吹扫，防止人为操作过多而出现差误；通过控制器通讯连接终端，也可进行远程监控，当出现突发事件时，可进行远程切断气源。
6.优选的，所述柜体顶部设有手动电控面板。该方案的效果是与控制器电连接，方便对柜体内情况进行控制。
7.优选的，所述柜体顶部设有指示灯。该方案的效果是可以及时发出灯光警报，直观告知工作人员气体泄露情况。
8.优选的，所述柜体顶部设有废气管，所述废气管连接尾气处理装置。该方案的效果是直接将废气经过尾气处理后及时排放出去，避免危险情况发生。
9.优选的，所述供气管路连接有真空发生器，所述真空发生器与所述废气管连通。该
方案的效果是用于产生真空吸引废气到尾气处理器。
10.优选的，所述供气管路和所述气动隔膜阀均为3116l不锈钢材质。该方案的效果是可以保证材管路不被腐蚀并且管路内壁不会残留原料，保证管路系统的洁净度。
11.优选的，所述柜体连接有防静电装置。该方案的效果是保证运行安全。
12.有益效果：与现有技术相比，本实用新型提供的一种特殊气体输送设备，降低人为操作的风险，提高系统品质的保障，很好的保护了元器件及使用端获得洁净的气体，实现两个气源瓶的自动切换，以保证不间断供应，当出现因意外出现泄漏发生燃烧等突发事件时，能够紧急处理，快速启动的灭火来避免危险的扩大，极大保证了安全性，提高了使用性。
附图说明
13.图1为本实用新型的结构示意图；
14.图2为供气管路的结构示意图。
具体实施方式
15.为使本领域技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作详细说明。
16.实施例1
17.如图1所示，一种特殊气体输送设备，包括柜体1，所述柜体1顶部设有手动电控面板10、指示灯4及废气管5，所述柜体1中设有两个气源瓶2、供气管路3，废气管5与所述供气管路3之间管路连接真空发生器8，所述供气管路3 包括与两个所述气源瓶2连接的tcs管31及与所述tcs管31连通的氢气管 32及氩气管33，氢气管32的进气端连接高纯氢气源，氩气管33的进气端连接高纯氩气源，tcs管31、氢气管32及氩气管33上设有多个气动隔膜阀，所述柜体1中设有烟雾探测器6和火焰探测器7，所述废气管5通过排气管连接尾气处理装置，所述烟雾探测器6、火焰探测器7、多个所述气动隔膜阀、真空发生器8、手动电控面板10、指示灯4均与控制器电连接。
18.实施例2
19.如图1-2所示，一种特殊气体输送设备，包括柜体1，所述柜体1顶部设有手动电控面板10、指示灯4及废气管5，所述柜体1中设有两个气源瓶2和供气管路3，废气管5与所述供气管路3之间管路连接真空发生器8，所述供气管路3包括与两个所述气源瓶2连接的tcs管31及与所述tcs管31连通的氢气管32及氩气管33，tcs管31、氢气管32及氩气管33上设有多个气动隔膜阀，所述柜体1中设有烟雾探测器6和火焰探测器7，所述废气管5通过排气管连接尾气处理装置，所述排气管上连接有真空发生器，所述烟雾探测器6、火焰探测器7、多个所述气动隔膜阀、真空发生器8、手动电控面板10、指示灯4均与控制器电连接；
20.所述供气管路3和所述气动隔膜阀均为3116l不锈钢材质；
21.所述柜体1连接有防静电装置，所述防静电装置包括接地铜钉、接地线，所述接地线通过接地螺母柱连接固定到柜体上，接地线另一端通过螺钉连接到接地铜钉上。
22.工作原理：使用过程中，控制系统通过控制各气动隔膜阀，实现两个气源瓶自动切换，并通过输入高纯氢气提升气源瓶内压力，在换气源前后，通过输入高纯氩气自动吹扫，在有高温或者火焰产生时，高温探测器和火焰探测器会发出信号到控制系统，控制系统会
发出控制指令关闭气源，防止火焰蔓延，并且发出报警信号，减少人为操作，有效提升供气装置的自动化程度，大幅降低人工操作量和人为风险，对系统供气品质和可靠性有较好的提升。
23.最后需要说明，上述描述仅为本实用新型的优选实施例，本领域的技术人员在本实用新型的启示下，在不违背本实用新型宗旨及权利要求的前提下，可以做出多种类似的表示，这样的变换均落入本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种特殊气体输送设备，其特征在于：包括柜体(1)，所述柜体(1)中设有两个气源瓶(2)和供气管路(3)，所述供气管路(3)包括与两个所述气源瓶(2)连接的tcs管(31)及与所述tcs管(31)连通的氢气管(32)及氩气管(33)，tcs管(31)、氢气管(32)及氩气管(33)上设有多个气动隔膜阀，所述柜体(1)中设有烟雾探测器(6)和火焰探测器(7)，所述烟雾探测器(6)、火焰探测器(7)和多个所述气动隔膜阀均与控制器电连接。2.根据权利要求1所述的一种特殊气体输送设备，其特征在于：所述柜体(1)顶部设有手动电控面板(10)。3.根据权利要求1所述的一种特殊气体输送设备，其特征在于：所述柜体(1)顶部设有指示灯(4)。4.根据权利要求1所述的一种特殊气体输送设备，其特征在于：所述柜体(1)顶部设有废气管(5)，所述废气管(5)连接尾气处理装置。5.根据权利要求4所述的一种特殊气体输送设备，其特征在于：所述供气管路(3)连接有真空发生器(8)，所述真空发生器(8)与所述废气管(5)连通。6.根据权利要求1所述的一种特殊气体输送设备，其特征在于：所述供气管路(3)和所述气动隔膜阀均为3116l不锈钢材质。7.根据权利要求1所述的一种特殊气体输送设备，其特征在于：所述柜体(1)连接有防静电装置。

技术总结
本实用新型涉及特殊供气源瓶储存技术领域，特别涉及一种特殊气体输送设备，包括柜体，柜体中设有两个气源瓶和供气管路，供气管路包括与两个气源瓶连接的TCS管及与TCS管连通的氢气管及氩气管，TCS管、氢气管及氩气管上设有多个气动隔膜阀，柜体中设有烟雾探测器和火焰探测器，烟雾探测器、火焰探测器和多个气动隔膜阀均与控制器电连接。与现有技术相比，本实用新型降低人为操作的风险，提高系统品质的保障，很好的保护了元器件及使用端获得洁净的气体，实现两个气源瓶的自动切换，以保证不间断供应，当出现因意外出现泄漏发生燃烧等突发事件时，能够紧急处理，快速启动的灭火来避免危险的扩大，极大保证了安全性，提高了使用性。提高了使用性。提高了使用性。


技术研发人员：李钰国 张自强
受保护的技术使用者：深圳融科科技有限公司
技术研发日：2021.12.24
技术公布日：2022/10/13