一种浸入式抽液接头的制作方法

1.本申请涉及化学品设备领域，进一步涉及cmp机台研磨液输送领域。更具体地说，它涉及一种浸入式抽液接头。


背景技术：

2.在电子和半导体行业，化学品供应过程中容易泄漏及抽液不方便、供液不及时，从而导致设备宕机或损坏，产品报废。
3.14nm高晶圆制程和化学品与研磨液供应过程需要使用到抽液接头；而现有的抽液接头无监控防护措施，易损坏、易渗漏，操作不方便，难清洗、难维护。
4.因此，提出一种浸入式抽液接头。


技术实现要素：

5.本申请实施例所要解决的技术问题在于，提供了一种浸入式抽液接头，能够防止连接不良或由于o型密封圈损坏造成的泄漏报警功能，及早发现、及时处理、快速响应。解决了现有技术中缺少防止连接不良或由于o型密封圈损坏造成的泄漏报警功能的问题。
6.为了解决上述技术问题，本申请实施例提出了一种浸入式抽液接头，包括：下接头、上接头、电磁铁以及吸合传感器；所述下接头和所述上接头耦合处之间增设有两个所述电磁铁以及所述吸合传感器；两个所述电磁铁以及所述吸合传感器均固定安装在下接头的壳体内部。
7.进一步地，所述上接头上设置有第一回液口，所述下接头上设置有第二回液口，所述第一回液口和第二回液口连接。
8.进一步地，所述上接头上设置有第一抽液口，所述下接头上设置有第二抽液口，所述第一抽液口和第二抽液口连接。
9.进一步地，所述上接头上设置有第一进气口，所述下接头上设置有第二进气口，所述第一进气口和第二进气口连接。
10.进一步地，所述上接头上设置有两个电磁铁进线口。
11.进一步地，所述上接头上设置有吸合传感器进线口。
12.本申请实施例通过提出一种浸入式抽液接头，其解决了沉浸式抽液接头连接不良或由于o型密封圈损坏造成的泄漏报警功能，使研磨液换桶操作更便捷、可靠、智能；其技术方案要点为接头耦合处增加电磁铁、增加吸合传感器；报警信号反馈至plc、scada远程监视；改善研磨液换桶操作,更省力、快速、简洁，同时防止泄漏。
附图说明
13.图1是本申请实施例的整体结构示意图；
14.图2是本申请实施例的上接头顶部的结构示意图；
15.图3是本申请实施例的下接头底部的结构示意图。
16.【附图标记说明】
17.图中：1-下接头；2-上接头；3-电磁铁；4-吸合传感器；5-电磁铁进线口；6-第一回液口；7-第一抽液口；8-吸合传感器进线口；9-第一进气口；10-第二抽液口；11-第二回液口；12-第二进气口。
具体实施方式
18.需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合，下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步详细说明。
19.本申请实施例中若有方向性指示诸如上、下、左、右、前、后
……
仅用于解释在某一特定姿态如附图所示下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
20.另外，在本申请中若涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
21.请参照图1-3，本申请实施例提供一种浸入式抽液接头，包括：下接头1、上接头2、电磁铁3以及吸合传感器4；所述下接头1和所述上接头2耦合处之间增设有两个所述电磁铁3以及所述吸合传感器4；两个所述电磁铁3以及所述吸合传感器4均固定安装在下接头1的壳体内部。
22.其中：整个接头材质为hdpe，经久耐用；
23.电磁铁3的型号采用ele-p40/25，采用24vdc安全电压等级，吸力达35kg；
24.通过给电磁铁3施加24vdc电源，使接头上下紧密吸合；增设吸合传感器4，通过吸合传感器4侦测上下接头1是否完全紧密吸合，侦测信号传输至plc控制器，液桶更换后接头连接确认信号可以反馈至plc，可参与安全连锁逻辑控制，确保连接操作完成，抽液接头连接不良或由于o型密封圈损坏造成的泄漏报警功能，报警信号反馈至plc、scada远程监视；接头整体采用上下分体结构，即下接头1、上接头2；
25.易于拆卸与更换，电磁铁3采用内嵌设计，隐藏于接头壳体内部中间位置。
26.综上，与现有技术相比，在整个接头的耦合处增设了电磁铁3以及吸合传感器4，解决了抽液接头连接不良或由于o型密封圈损坏造成的泄漏报警功能。
27.所述上接头2上设置有第一回液口6，所述下接头1上设置有第二回液口11，所述第一回液口6和第二回液口11连接；所述上接头2上设置有第一抽液口7，所述下接头1上设置有第二抽液口10，所述第一抽液口7和第二抽液口10连接；所述上接头2上设置有第一进气口9，所述下接头1上设置有第二进气口12，所述第一进气口9和第二进气口12连接，第一进气口与第二进气口用于与湿氮加湿器连接，上述为技术中抽液接头的现有结构，未进行改进。
28.所述上接头2上设置有两个电磁铁进线口5；所述上接头2上设置有吸合传感器进线口8，用于电磁铁3和吸合传感器4与外部连接导线的通过。
29.尽管已经示出和描述了本申请的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本申请的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本申请的范围由所附权利要求及其等同范围限定。


技术特征：
1.一种浸入式抽液接头，其特征在于，包括：下接头、上接头、电磁铁以及吸合传感器；所述下接头和所述上接头耦合处之间增设有两个所述电磁铁以及所述吸合传感器；两个所述电磁铁以及所述吸合传感器均固定安装在下接头的壳体内部。2.如权利要求1所述的浸入式抽液接头，其特征在于，所述上接头上设置有第一回液口，所述下接头上设置有第二回液口，所述第一回液口和第二回液口连接。3.如权利要求1所述的浸入式抽液接头，其特征在于，所述上接头上设置有第一抽液口，所述下接头上设置有第二抽液口，所述第一抽液口和第二抽液口连接。4.如权利要求1所述的浸入式抽液接头，其特征在于，所述上接头上设置有第一进气口，所述下接头上设置有第二进气口，所述第一进气口和第二进气口连接。5.如权利要求1所述的浸入式抽液接头，其特征在于，所述上接头上设置有两个电磁铁进线口。6.如权利要求1所述的浸入式抽液接头，其特征在于，所述上接头上设置有吸合传感器进线口。

技术总结
本申请实施例提出一种浸入式抽液接头，包括：下接头、上接头、电磁铁以及吸合传感器；所述下接头和所述上接头耦合处之间增设有两个所述电磁铁以及所述吸合传感器；两个所述电磁铁以及所述吸合传感器均固定安装在下接头的壳体内部。本申请实施例的一种浸入式抽液接头，其解决了浸入式抽液接头连接不良或由于O型密封圈损坏造成的泄漏报警功能，使研磨液换桶操作更便捷、可靠、智能；其技术方案要点为接头耦合处增加电磁铁、增加吸合传感器；报警信号反馈至PLC、SCADA远程监视；改善研磨液换桶操作,更省力、快速、简洁，同时防止泄漏。同时防止泄漏。同时防止泄漏。


技术研发人员：程一刚 徐彬
受保护的技术使用者：骏一（苏州）半导体科技有限公司
技术研发日：2022.09.16
技术公布日：2023/3/28