自吸回收系统的制作方法

本发明关于一种液体供给系统，特别关于一种在关闭阀体后，可以回收残留于管线中的液体，避免残留在管线中的液体滴落的自吸回收系统。

背景技术：

1、在半导体的制程中，需要使用各种处理液，如药液、溶剂、酸碱液、纯水等等，冲洗晶圆，以去除晶圆表面的杂质、微粒、金属、有机物，氧化物等等。

2、请参考图5与图6，图5为现有的一种晶圆清洗设备90的俯视图，该晶圆清洗设备90具有一喷嘴装置93，该喷嘴装置93具有一可相对于该晶圆清洗设备90旋转摆动的喷嘴臂931，该喷嘴臂931一端设有一喷嘴，该喷嘴装置93与如图6所示的液体供给系统80连结，使用时，晶圆水平的摆放于该晶圆清洗设备90中，将该喷嘴臂931转动到对应该晶圆摆放的位置，并且开启该液体供给系统80，而让处理液从该喷嘴装置93的喷嘴输出，并且冲洗该晶圆。

3、该液体供给系统80主要包含一储液槽81、一管线82、一泵83，与一阀体84，该储液槽81用于存放处理液，该管线82与该储液槽81相连结，该管线82具有一输入端821、一输出端822，及一回流端823，该输入端821与该回流端823与该储液槽81连结，该输出端822与该喷嘴装置93连结，该泵83连结于该管线82，并且带动该储液槽81内的处理液经由该输入端821流入该管线82，该阀体84连结于该管线82，并且邻近该输出端822，该阀体84开启时，处理液可通过该管线82的输出端822，并且自该喷嘴装置93输出，该阀体84关闭时，处理液无法通过该管线82的输出端822，而停止自该喷嘴装置93输出。

4、然而，在该阀体84关闭后，该阀体84与该喷嘴装置93的喷嘴之间的管线82内仍残留有处理液，残留在管线82中的处理液可能会在结束冲洗制程后，自该喷嘴装置93的喷嘴滴落，造成处理液的浪费，滴落的处理液会造成污染晶圆或制程环境的风险，而有待改善。

技术实现思路

1、有鉴于上述的缺失，本发明的主要目的在于提供一种自吸回收系统，其可以在关闭阀体后，回收残留在管线中的处理液。

2、为了达到上述的目的，本发明的自吸回收系统，其包含有相连通的一储液槽、一循环回路、一泵、一供给管线、一第一阀体、一吸取管线，与一第二阀体：

3、该储液槽用于存放处理液；

4、该循环回路具有一抽取端与一回流端，该循环回路的抽取端与回流端分别与该储液槽连结；

5、该泵连结于该循环回路；

6、该供给管线具有一输入端与一输出端，该供给管线的输入端与该循环回路相接，并且位于该泵与该循环回路的回流端之间；

7、该第一阀体连结于该供给管线；

8、该吸取管线具有一第一端与一第二端，该吸取管线的第一端与该供给管线相接，并且位于该供给管线的输出端与该第一阀体之间，该吸取管线的第二端与该循环回路相接，并且位于该循环回路的抽取端与该泵之间；以及

9、该第二阀体连结于该吸取管线。

10、如上所述的自吸回收系统，其包含有一流量控制阀，该流量控制阀连结于该吸取管线。

11、关闭第一阀体后，持续启动该泵，该供给管线中残余的液体，可经由该吸取管线，流至该循环回路，并且经由该泵，流向该循环回路的回流端，而回收至该储液槽，可以避免该供给管线中残留处理液。

12、本发明的自吸回收系统具有以下的优点：

13、1.可以回收该供给管线内残留的处理液，减少处理液的浪费。

14、2.防止该第一阀体关闭后处理液残留在该供给管线内，并且自喷嘴滴落，造成污染晶圆的风险。

15、3.可以利用该吸取管线抽取流经该供给管线的处理液，进而调整自该供给管线的输出端流出的处理液的流量。

16、4.减少由于处理液滴落而使制程环境中产生微粒或挥发气体，减少对于制程环境的污染。

17、5.降低危害性的处理液(如溶剂型的处理液)滴落而产生工安灾害(如燃烧爆炸)的疑虑。

技术特征：

1.一种自吸回收系统，其特征在于，包含有相连通的一储液槽、一循环回路、一泵、一供给管线、一第一阀体、一吸取管线，与一第二阀体：

2.如权利要求1所述的自吸回收系统，其特征在于，该自吸回收系统包含有一流量控制阀，该流量控制阀连结于该吸取管线。

技术总结
一种自吸回收系统，其包含有一储液槽、一循环回路、一泵、一供给管线、一第一阀体、一吸取管线，及一第二阀体，该循环回路的抽取端与回流端皆与该储液槽连结，该泵连结于该循环回路，该供给管线的输入端与该循环回路相接，并位于该泵与该循环回路的回流端之间，该第一阀体连结于该供给管线，该吸取管线的第一端与该供给管线相接，其第二端与该循环回路相接，并且位于该循环回路的抽取端与该泵之间，该第二阀体连结于该吸取管线，借此可以在该第一阀体关闭时回收该供给管线内残存的处理液。

技术研发人员：徐庆吉,曾逸宗,许能惟
受保护的技术使用者：积凯科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1