控制装置及包括控制装置的物流系统的制作方法

本公开涉及控制装置及包括控制装置的物流系统，并且更具体地，涉及在用于储存、运输和供应用于半导体制造过程中的气体的系统中使用的控制装置以及包括控制装置的物流系统。

背景技术：

1、半导体设备可以通过一系列制造过程形成在用作半导体衬底的硅晶片上。这些半导体设备可以通过切割过程被单个化，并通过管芯接合和封装工艺被制造成半导体封装。

2、可以提供各种类型的处理气体用于半导体设备的制造。这些处理气体被储存在圆柱形储存容器中，并且可以被供应到每个处理设备。在单独的储存单元中储存并管理气瓶。

3、然而，由于自动化程度不够，目前普遍是手动操作气瓶以用于运输和储存目的。由于这种手动操作带来了事故的风险，因此需要适当的措施来解决这一问题和其它问题。

技术实现思路

1、本公开的方面提供了用于在气瓶运输装置和气瓶储存装置之间自动示教的控制装置以及包括控制装置的物流系统。

2、然而，本公开的方面不限于本文中所陈述的那些。通过参考以下给出的本公开的详细描述，本公开的上述和其它方面对于本公开所属领域的普通技术人员将变得更加显而易见。

3、根据本发明的一方面，物流系统包括：气瓶运输装置，运输包含处理气体的气瓶；气瓶储存装置，储存气瓶；以及控制装置，控制气瓶运输装置和气瓶储存装置，其中，控制装置针对气瓶运输装置和气瓶储存装置之间的操作执行自动示教。

4、根据本发明的另一方面，物流系统包括：气瓶运输装置，运输包含处理气体的气瓶，气瓶运输装置包括测距传感器；气瓶储存装置，储存气瓶，气瓶储存装置包括多个端口和支承块，多个端口为气瓶提供储存空间，支承块安装在端口中的每个中并且气瓶中的每个放置在支承块中；以及控制装置，控制气瓶运输装置和气瓶储存装置，其中，控制装置按照进入示教模式、端口示教和从示教模式释放的顺序针对气瓶运输装置和气瓶储存装置之间的操作执行自动示教，端口示教包括基于安装在支承块上的标识信息计算支承块的位置，并将所计算的位置储存为气瓶中的每个的装载/卸载位置；控制装置基于由测距传感器测量的气瓶运输装置和支承块之间的距离来计算支承块的位置，气瓶运输装置和气瓶储存装置包括彼此通信的多个并行输入/输出(pio)传感器，并且pio传感器允许端口进入示教模式并且打开或关闭安装在端口中的门。

5、根据本公开的另一方面，控制装置控制运输包含处理气体的气瓶的气瓶运输装置和储存气瓶的气瓶储存装置，其中，控制装置按照进入示教模式、端口示教和从示教模式释放的顺序针对气瓶运输装置和气瓶储存装置之间的操作执行自动示教，并且在自动示教之后执行气瓶的装载/卸载。

6、应当注意，本公开的效果不限于上述那些，并且本公开的其它效果将从以下描述中显而易见。

技术特征：

1.物流系统，包括：

2.根据权利要求1所述的物流系统，其中，所述控制装置针对所述气瓶中的每个气瓶的装载/卸载位置执行所述自动示教。

3.根据权利要求1所述的物流系统，其中，所述气瓶运输装置和所述气瓶储存装置包括彼此通信的多个并行输入/输出传感器。

4.根据权利要求3所述的物流系统，其中，

5.根据权利要求1所述的物流系统，其中，当所述气瓶运输装置接近所述气瓶储存装置时，安装在所述气瓶储存装置中的多个门中的至少一个门基于所述气瓶运输装置的位置而关闭。

6.根据权利要求5所述的物流系统，其中，所述多个门中的所述至少一个门与所述气瓶储存装置要打开的目标门邻近。

7.根据权利要求1所述的物流系统，其中，所述控制装置接近所述气瓶储存装置中的多个端口中的一个端口，并且当安装在相应的端口中的门打开时，所述控制装置对所述相应的端口执行端口示教。

8.根据权利要求7所述的物流系统，其中，

9.根据权利要求8所述的物流系统，其中，所述标识信息是qr码。

10.根据权利要求8所述的物流系统，其中，

11.根据权利要求10所述的物流系统，其中，所述控制装置在计算所述支承块的所述位置时使用所述气瓶运输装置的位置。

12.根据权利要求7所述的物流系统，其中，在完成所述端口示教时关闭所述门。

13.根据权利要求1所述的物流系统，其中，所述气瓶运输装置在所述气瓶储存装置之前进入示教模式并从所述示教模式释放。

14.根据权利要求1所述的物流系统，其中，在所述自动示教之后执行所述气瓶的装载/卸载。

15.根据权利要求1所述的物流系统，其中，所述控制装置按照进入示教模式、端口示教和从所述示教模式释放的顺序执行所述自动示教。

16.物流系统，包括：

17.控制气瓶运输装置和气瓶储存装置的控制装置，所述气瓶运输装置运输包含处理气体的气瓶，所述气瓶储存装置储存所述气瓶，

18.根据权利要求17所述的控制装置，其中，所述端口示教包括：基于安装在所述气瓶储存装置内的在其中放置所述气瓶中的每个气瓶的支承块上的标识信息来计算所述支承块的位置，并将所计算的位置储存为所述气瓶中的每个气瓶的装载/卸载位置。

19.根据权利要求18所述的控制装置，其中，所述控制装置基于所述气瓶运输装置的位置以及所述气瓶运输装置与所述支承块之间的距离来计算所述支承块的所述位置。

20.根据权利要求17所述的控制装置，其中，

技术总结
提供了用于在气瓶运输装置与气瓶储存装置之间自动示教的控制装置以及包括控制装置的物流系统。所述物流系统包括：气瓶运输装置，运输包含处理气体的气瓶；气瓶储存装置，储存气瓶；以及控制装置，控制气瓶运输装置和气瓶储存装置，其中，控制装置针对气瓶运输装置和气瓶储存装置之间的操作执行自动示教。

技术研发人员：金允会,李承俊,宋枝根
受保护的技术使用者：细美事有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/6