一种自动触发抽真空的装置的制作方法

本技术涉及抽真空装置，尤其涉及一种自动触发抽真空的装置，主要应用于半导体、光电、光伏、新能源等行业危险气体输送设备内。

背景技术：

1、目前，危险气体输送设备内部未配置av气动阀，当有pt压力传感器前端阀门发生内漏时，泄露气体可以随时直接通过bav微漏气动阀、cv单向阀及vg真空发生器通过tube排空管排空至后端尾气处理设备，不能在第一时间发现设备阀门故障，保障设备安全温度运行。因此，研发一种自动触发抽真空的装置，成为本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种自动触发抽真空的装置。

2、本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种自动触发抽真空的装置，包括bav微漏气动阀(带微漏功能的气动阀)、cv单向阀和vg真空发生器，所述bav微漏气动阀、cv单向阀和vg真空发生器依次串接，所述vg真空发生器的吸气口与危险气体输送设备的气体输送管连接，其特征在于：所述危险气体输送设备的气体输送管上设有pt压力传感器和av气动阀，所述av气动阀位于pt压力传感器和vg真空发生器之间。

3、进一步地，所述pt压力传感器连接plc控制器，plc控制器通过yv电磁阀控制av气动阀及bav微漏气动阀开启和关闭。

4、本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型的自动触发抽真空的装置，通过pt压力传感器数值的变动触发警报到plc控制器，通过plc控制器控制打开av气动阀及bav微漏气动阀进行排气，确保设备阀门处于安全状态，并且能够及时有效发现此时阀门出现故障。

技术特征：

1.一种自动触发抽真空的装置，包括bav微漏气动阀、cv单向阀和vg真空发生器，所述bav微漏气动阀、cv单向阀和vg真空发生器依次串接，所述vg真空发生器的吸气口与危险气体输送设备的气体输送管连接，其特征在于：所述危险气体输送设备的气体输送管上设有pt压力传感器和av气动阀，所述av气动阀位于pt压力传感器和vg真空发生器之间。

2.根据权利要求1所述的一种自动触发抽真空的装置，其特征在于：所述pt压力传感器连接plc控制器，plc控制器通过yv电磁阀控制av气动阀及bav微漏气动阀开启和关闭。

技术总结
本技术公开了一种自动触发抽真空的装置，包括BAV微漏气动阀、CV单向阀和VG真空发生器，所述BAV微漏气动阀、CV单向阀和VG真空发生器依次串接，所述VG真空发生器的吸气口与危险气体输送设备的气体输送管连接，所述危险气体输送设备的气体输送管上设有PT压力传感器和AV气动阀，所述AV气动阀位于PT压力传感器和VG真空发生器之间。本技术与现有技术相比的优点是：本技术的自动触发抽真空的装置，通过PT压力传感器数值的变动触发警报到PLC控制器，通过PLC控制器控制打开AV气动阀及BAV微漏气动阀进行排气，确保设备阀门处于安全状态，并且能够及时有效发现此时阀门出现故障。

技术研发人员：岳军
受保护的技术使用者：上海赋利电子科技有限公司
技术研发日：20230516
技术公布日：2024/1/15