一种尾气处理管路结构及设有该管路结构的处理系统的制作方法

本申请属于半导体生产时酸排系统，尤其是涉及一种尾气处理管路结构及设有该管路结构的处理系统。

背景技术：

1、在半导体外延工序中，外延炉工艺时会产生很多危害性尾气体，需要先经燃烧洗涤设备处理后，再经管道外排。其中，燃烧洗涤设备主要用于对外延炉工艺生产时产生的酸性尾气进行燃烧、水淋处理，因每台外延炉的尾气都需要处理，故需要多组燃烧洗涤设备进行处理，最终再统一被排出。燃烧洗涤设备的设置，不仅可处理危害性的尾气，而且还是为工艺腔提供稳定负压的主要设备，因此经洗涤设备是从外延炉尾排口开始到厂务酸排主管道之间的重要联通设施。

2、因洗涤设备处理尾气方式，使得经其处理后排出的尾气中含有大量的水蒸气，而这些还有水蒸气的气体在离开洗涤设备后会快速冷凝为液态水，此时，若流通管道结构设计不合理，可能会导致气体在管道中积水，进而堵塞管道，致使洗涤设备出现宕机。而一旦洗涤设备出现宕机，会间接地导致其上一工序中的外延炉中的工艺腔的压力瞬间无法释放，从而会造成工艺腔裂腔，甚至发生爆炸。而一旦洗涤设备中的管道出现积水问题，会造成洗涤设备中的主机台停机很长时间，具有很大的安全隐患；且单个洗涤设备出现积水故障的处理时间至少需要2h，这样就会直接影响外延炉设备的运行时间，进而影响生产进度。

技术实现思路

1、本申请提供一种尾气处理管路结构及设有该管路结构的处理系统，尤其是适用于外延片生产加工时产生的尾气处理管路结构，解决了现有技术中因管路结构设计不合理导致管路积水出现时容易出现洗涤设备宕机、甚至外延腔出现裂腔的技术问题。

2、为解决至少一个上述技术问题，本申请采用的技术方案是：

3、一种尾气处理管路结构，包括燃烧区、以及置于所述燃烧区输出端一侧的主管道，其中，

4、每个所述燃烧区均通过次管道与所述主管道连通；

5、每个所述燃烧区还配置有分流管道；

6、任一所述燃烧区的所述分流管道与其他所有所述燃烧区的其中一个所述燃烧区连通，以使每个所述燃烧区与所述主管道之间形成至少两条独立构置的互连通道。

7、进一步的，每个所述燃烧区的所述分流管道与其他任一所述燃烧区的所述次管道连通。

8、进一步的，所述分流管道的输出端的位置被构置在所述次管道的最高位置的管道段上。

9、进一步的，所述分流管道的输出端所在的分流段垂直于所述次管道的最高位置的管道段竖直设置。

10、进一步的，所述分流管道包括竖直设置的分流段和水平设置的分流段，所述分流管道中的水平设置的分流段的高度高于所述次管道的最高位置的管道段。

11、进一步的，在每个所述次管道的输入端和输出端都设有气压阀；所述分流管道的输出端并位于两个所述气压阀之间，并靠近所述次管道的输出端设置。

12、进一步的，所述气压阀均设置在所述次管道中水平构置的管道段中，且所述次管道中还配置有竖直设置的管道段。

13、进一步的，所述次管道直径小于所述主管道直径，且所述分流管道的直径小于所述次管道直径。

14、进一步的，在每个所述燃烧区之前还设有外延炉和洗涤区，所述外延炉与所述洗涤区连通，所述洗涤区与所述燃烧区连通。

15、一种处理系统，配置有如上所述的管路结构。

16、采用本申请设计的一种尾气处理管路结构，结构设计合理且施工方便，可解决因主管道出现积水封堵而出现设备机宕机的技术问题，管道密封性强且互通性好，辅助管道进行分流处理，对尾气进行二次分配，可降低停机几率，提升设备运行的稳定性，也提高管路流通的安全性。本申请还提出一种设有该管路结构的处理系统。

技术特征：

1.一种尾气处理管路结构，其特征在于，包括燃烧区、以及置于所述燃烧区输出端一侧的主管道，其中，

2.根据权利要求1所述的一种尾气处理管路结构，其特征在于，每个所述燃烧区的所述分流管道与其他任一所述燃烧区的所述次管道连通。

3.根据权利要求1或2所述的一种尾气处理管路结构，其特征在于，所述分流管道的输出端的位置被构置在所述次管道的最高位置的管道段上。

4.根据权利要求3所述的一种尾气处理管路结构，其特征在于，所述分流管道的输出端所在的分流段垂直于所述次管道的最高位置的管道段竖直设置。

5.根据权利要求4所述的一种尾气处理管路结构，其特征在于，所述分流管道包括竖直设置的分流段和水平设置的分流段，所述分流管道中的水平设置的分流段的高度高于所述次管道的最高位置的管道段。

6.根据权利要求4或5所述的一种尾气处理管路结构，其特征在于，在每个所述次管道的输入端和输出端都设有气压阀；所述分流管道的输出端并位于两个所述气压阀之间，并靠近所述次管道的输出端设置。

7.根据权利要求6所述的一种尾气处理管路结构，其特征在于，所述气压阀均设置在所述次管道中水平构置的管道段中，且所述次管道中还配置有竖直设置的管道段。

8.根据权利要求1-2、4-5、7任一项所述的一种尾气处理管路结构，其特征在于，所述次管道直径小于所述主管道直径，且所述分流管道的直径小于所述次管道直径。

9.根据权利要求8所述的一种尾气处理管路结构，其特征在于，在每个所述燃烧区之前还设有外延炉和洗涤区，所述外延炉与所述洗涤区连通，所述洗涤区与所述燃烧区连通。

10.一种处理系统，其特征在于，配置有如权利要求1-9任一项所述的管路结构。

技术总结
本申请提供一种尾气处理管路结构，包括燃烧区、以及置于所述燃烧区输出端一侧的主管道，其中，每个所述燃烧区均通过次管道与所述主管道连通；每个所述燃烧区还配置有分流管道；任一所述燃烧区的所述分流管道与其他所有所述燃烧区的其中一个所述燃烧区连通，以使每个所述燃烧区与所述主管道之间形成至少两条独立构置的互连通道。本申请一种尾气处理管路结构，结构设计合理且施工方便，可解决因主管道出现积水封堵而出现设备机宕机的技术问题，管道密封性强且互通性好，辅助管道进行分流处理，对尾气进行二次分配，可降低停机几率，提升设备运行的稳定性，也提高管路流通的安全性。本申请还提出一种设有该管路结构的处理系统。

技术研发人员：王正,王福兴,李彪,陈渊凌,谭永麟,孙晨光,王彦君
受保护的技术使用者：天津中环领先材料技术有限公司
技术研发日：20230602
技术公布日：2024/1/15