特殊气体输送分配箱的制作方法

本申请涉及气体输送装置，具体涉及一种特殊气体输送分配箱。

背景技术：

1、在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要使用带许多特殊气体，其中一些有毒、腐蚀、可燃的气体危害性相当高，一旦这些气体供应系统发生阀件适当损坏（如受腐蚀或人为操作失误等因素）造成气体泄漏，将威胁到人员生命安全、设备损失及生产中断，其危害性是让我们必特别重视且不可忽视的。其中特殊气体输送分配箱在半导体产业中使用非常广泛。在半导体产业发展的初期曾发生不少的事故。数据显示，特殊气体输送分配箱意外事故常造成事业单位财产损失、环境污染、人员伤亡、爆炸及死亡问题。国内半导体厂都采用各种管理及危害分析方法来达到风险的适当控制，来降低风险性。

2、虽然目前的特殊气体输送分配箱可以实现对设备供具有危险的特殊气体，但其无法有效控制供气回路内的残余气体，虽然设备入气口被关闭，但供气回路可能导致在停机状态的气体泄露。因此如何有效去除管路中的特殊气体，且能保证在设备用气时供应特殊气体的双重需求成为亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种特殊气体输送分配箱，可以有效去除管路中的特殊气体，且能保证在设备用气时供应特殊气体。

2、本申请实施例提供一种特殊气体输送分配箱，包括柜体和阀组面盘，所述阀组面盘设置在所述柜体内；

3、其中，所述阀组面盘包括供气回路、吹扫回路和抽真空回路；

4、所述供气回路包括多个支路，每一支路连接至一个用气设备的供气回路；每一支路上依次连接支路气动阀、支路阀、支路调压阀、压力表和支路出口阀；

5、所述吹扫回路由吹扫氮气管路连接至每一支路，所述吹扫回路上依次连接吹扫入口阀、单向阀、压力表及多个吹扫隔离阀，每一吹扫隔离阀接入一个支路的支路阀与支路调压阀之间；

6、所达抽真空回路设有氮气输入口和排气口；在所达抽真空回路上，由氮气输入口至排气口依次连接单向阀、微漏阀、真空发生器，所述真空发生器的真空端通过多个低压排气阀连接到所述供气回路中，每一低压排气阀接入一个支路的支路调压阀与支路出口阀之间。

7、进一步的，所述供气回路设有供气回路入口；在所述供气回路上，由所述供气回路入口至每一支路依次连接截止阀、气动隔膜阀及压力传感器。

8、进一步的，所述支路阀为手动隔膜阀；所述支路调压阀为减压阀，所减压阀的进口和出口位置分别设有压力检测装备。

9、进一步的，所述供气回路包括六个支路，所述吹扫回路上设有六个吹扫隔离阀，所述真空发生器的真空端的管路上设置六个低压排气阀。

10、进一步的，所述特殊气体输送分配箱还包括设于所述柜体上方的电控箱，所述电控箱设有显示操作单元；所述显示操作单元包括微处理器、触摸屏和操作按键，所述触摸屏和所述操作按键设置在所述电控箱的门上，所述操作按键连接至所述微处理器，所述微处理器连接至所述触摸屏，所述触摸屏显示控制所述阀组面盘上的供气回路、吹扫回路和抽真空回路的通断状态。

11、进一步的，所述电控箱内设有电源，所述电源电性连接至所述微处理器、所述触摸屏；所述操作按键包括本地急停按钮。

12、进一步的，所述供气回路的供气回路入口连接至供气装置；所述阀组面盘上的每一回路的阀门均设有用来控制阀门动作的控制器，所述电控箱内设有传感器，所述传感器采集供气装置的状态信号并发送至所述控制器。

13、进一步的，所述柜体内还包括用于检测气体泄漏的气体侦测装置，所述气体侦测装置与所述控制器的信号输入端连接。

14、进一步的，所述特殊气体输送分配箱还包括设于所述柜体下方的支架以及设于所述柜体上方的差压表，所述差压表与所述电控箱相邻设置。

15、进一步的，所述特殊气体输送分配箱还包括报警单元和本地急停按钮，所述报警单元具有差压开关和声光报警器；所述的差压开关设置在电控箱体内部，所述声光报警器安装在柜体的门上，所述本地急停按钮设置在柜体的门上，所述报警单元和所述本地急停按钮均电性连接至所述微处理器。

16、本申请实施例 提供的特殊气体输送分配箱，供气回路将外部气体供给设备使用；通过吹扫回路和抽真空回路可以将供气回路的有毒有害气体除去，且能保证在设备用气时供应特殊气体。

技术特征：

1.一种特殊气体输送分配箱，其特征在于，包括柜体和阀组面盘，所述阀组面盘设置在所述柜体内；

2.根据权利要求1所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述供气回路设有供气回路入口；在所述供气回路上，由所述供气回路入口至每一支路依次连接截止阀、气动隔膜阀及压力传感器。

3.根据权利要求1所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述支路阀为手动隔膜阀；所述支路调压阀为减压阀，所减压阀的进口和出口位置分别设有压力检测装备。

4.根据权利要求1所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述供气回路包括六个支路，所述吹扫回路上设有六个吹扫隔离阀，所述真空发生器的真空端的管路上设置六个低压排气阀。

5.根据权利要求1所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述特殊气体输送分配箱还包括设于所述柜体上方的电控箱，所述电控箱设有显示操作单元；所述显示操作单元包括微处理器、触摸屏和操作按键，所述触摸屏和所述操作按键设置在所述电控箱的门上，所述操作按键连接至所述微处理器，所述微处理器连接至所述触摸屏，所述触摸屏显示控制所述阀组面盘上的供气回路、吹扫回路和抽真空回路的通断状态。

6.根据权利要求5所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述电控箱内设有电源，所述电源电性连接至所述微处理器、所述触摸屏；所述操作按键连接至所述微处理器。

7.根据权利要求5所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述供气回路的供气回路入口连接至供气装置；所述阀组面盘上的每一回路的阀门均设有用来控制阀门动作的控制器，所述电控箱内设有传感器，所述传感器采集供气装置的状态信号并发送至所述控制器。

8.根据权利要求7所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述柜体内还包括用于检测气体泄漏的气体侦测装置，所述气体侦测装置与所述控制器的信号输入端连接。

9.根据权利要求5所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述特殊气体输送分配箱还包括设于所述柜体下方的支架以及设于所述柜体上方的差压表，所述差压表与所述电控箱相邻设置。

10.根据权利要求5所述的特殊气体输送分配箱，其特征在于，所述特殊气体输送分配箱还包括报警单元和本地急停按钮，所述报警单元具有差压开关和声光报警器；所述的差压开关设置在电控箱体内部，所述声光报警器安装在柜体的门上，所述本地急停按钮设置在柜体的门上，所述报警单元和所述本地急停按钮均电性连接至所述微处理器。

技术总结
本申请公开了一种特殊气体输送分配箱。该特殊气体输送分配箱包括柜体和阀组面盘，所述阀组面盘设置在所述柜体内；所述阀组面盘包括供气回路、吹扫回路和抽真空回路；所述供气回路包括多个支路，每一支路连接至一个用气设备的供气回路；每一支路上依次连接支路气动阀、支路阀、支路调压阀、压力表和支路出口阀；所述吹扫回路由吹扫氮气管路连接至每一支路，所达抽真空回路的真空发生器的真空端通过多个低压排气阀连接到所述供气回路中，每一低压排气阀接入一个支路的支路调压阀与支路出口阀之间。供气回路将外部气体供给设备使用；通过吹扫回路和抽真空回路可以将供气回路的有毒有害气体除去，且能保证在设备用气时供应特殊气体。

技术研发人员：甘万,杨欣,江福荣
受保护的技术使用者：上海盛韬半导体科技有限公司
技术研发日：20230607
技术公布日：2024/2/19