专利名称：微机电速度地震检波器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种地震检波装置，具体地说是一种微机电速度地震检波器。
背景技术：
我们知道，石油、煤炭行业进行地质勘探时对信号的提取是由检波器来完成的。现有的检波器包括有磁电式速度传感器、位移传感器、加速度式、压电式、电容式、压阻式等传感器。目前常用的地震检波器是磁电式速度传感器，其结构主要由磁钢、线圈、弹簧片、外壳、上盖、下盖、轭铁、电极、阻尼器等组成。轭铁呈帽形，固定在磁钢两侧，与外壳构成磁回路起聚磁作用。漆包线线圈绕在磁钢及轭铁与外壳组成的磁隙中，由上下弹簧片支撑，当外界发生振动，线圈在磁回路中上下往复运动切割磁力线，输出振动信号。此类速度检波器为动圈式。另外有一种是将磁钢固定在弹簧片上，当外界发生振动，磁钢作上下往复运动，使磁隙运动导致磁力线切割固定的线圈，输出振动信号，此为动磁钢式检波器。以上两种形式的检波器的性能主要取决于磁钢、线圈、弹簧片的设计水平和制造工水平；其缺点是体积大、重量重、成本高、加工和装配难度大，由线圈上线间松动带来的噪声及谐波失真较大，带宽受到限制。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服上述现有技术的不足，提供一种构造紧凑、合理、装配容易、工艺性好、线性好、频带宽、噪音低、失真小、工作可靠的新型微机电速度地震检波器本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案是一种微机电速度地震检波器，其包括外壳、线圈、上盖、下盖、弹簧片、磁体、轭铁、引线，轭铁位于磁体上下两端，与外壳构成磁回路，线圈位于磁体及轭铁与外壳组成的磁隙中，由上下弹簧片支撑，其特征在于线圈是由微机械加工制成的多层平面型线圈组成。
本实用新型所说的弹簧片也是微机械加工制成的平面弹簧。
本实用新型由于采用上述微机械加工制成的多层平面型线圈，其构造紧凑、合理、装配容易、工艺性好、线性好、频带宽、噪音低、失真小、工作可靠。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型的平面线圈单层示意图。
图3是本实用新型的平面弹簧片示意图。
图中1.上盖，2.外壳，3.线圈，4.磁体，5.轭铁，6.弹簧片，7.下盖，8.引线。
具体实施方式
从图1中可以看出，本实用新型是一种微机电速度地震检波器，其设有外壳2、线圈3、上盖1、下盖7、弹簧片6、磁体4、轭铁5、引线8。轭铁5呈帽形，固定在磁体4上、下两端，通过上盖1、下盖7压在一起，与外壳2构成磁回路起聚磁作用。线圈3位于磁体4及轭铁5与外壳2组成的磁隙中，由上下弹簧片6支撑，当外界发生振动，在弹簧片6作用下，线圈3在磁回路中上下往复运动切割磁力线，经引线8输出振动信号。本实用新型磁体采用优质磁钢，性能优越体积小。本实用新型上述组成及各部件的作用属于已有技术，不在详述。
本实用新型的特点是线圈3是由微机械加工制成的多层平面型线圈组成。图2是本实用新型的平面线圈单层示意图。线圈是采用光刻、印制制成平面线圈，再组合而成。平面线圈是用多层腐蚀技术制成的平面线圈。平面型线圈固定在绝缘板上，每层10圈以上，各层尾端与下一层端头相连形成设计的圈数。其优点是线圈的单圈厚度比原有绕线式线圈用线径小的多，有利小位移产生高输出灵敏度。另外线圈之间是固定在绝缘材料上，故受震动不会产生松动和错位有利于消除噪声和保证波形不失真。轭铁5套在磁体4的两端，外面被平面线圈3包围起来。本实用新型所说的弹簧片也是微机械加工制成的平面弹簧，如图3所示，采用硅、铍青铜等弹性金属通过微机械加工制造而成。其包括外圈、内圈和连接外圈、内圈的四个等弧的连接筋。
本实用新型克服了现有用漆包线绕制在骨架上所带来的运动时因振动产生线间松动而产生噪音和失真，温度特性也大大改善。另外由于现有技术线圈用的导线直径比平面线圈的平度高很多，在同样位移情况下本实用新型的灵敏度高。
本实用新型构造紧凑、合理、装配容易、体积小、重量轻、频带宽、抗冲击能力强，非常有利于油田现场施工。
本实用新型也可将磁钢固定在弹簧片上，当外界发生振动，磁钢作上下往复运动，使磁隙运动导致磁力线切割固定的平面型线圈，输出振动信号，此为动磁钢式检波器。以上两种形式的检波器，不论是动圈式还是动磁钢式均属本专利申请保护范围
权利要求1.一种微机电速度地震检波器，其包括外壳、线圈、上盖、下盖、弹簧片、磁体、轭铁、引线，轭铁位于磁体上下两端，与外壳构成磁回路，线圈位于磁体及轭铁与外壳组成的磁隙中，由上下弹簧片支撑，其特征在于线圈是由微机械加工制成的多层平面型线圈组成。
2.根据权利要求1所述的微机电速度地震检波器，其特征在于平面型线圈固定在绝缘板上，每层10圈以上，各层尾端与下一层端头相连，形成设计的圈数。
3.根据权利要求1所述的微机电速度地震检波器，其特征在于所说的弹簧片也是微机械加工制成的平面弹簧。
4.根据权利要求1或3所述的微机电速度地震检波器，其特征在于弹簧片包括外圈、内圈和连接外圈、内圈的四个等弧的连接筋。
专利摘要本实用新型涉及一种微机电速度地震检波器，其包括外壳、线圈、上盖、下盖、弹簧片、磁体、轭铁、引线，轭铁位于磁体上下两端，与外壳构成磁回路，线圈位于磁体及轭铁与外壳组成的磁隙中，由上下弹簧片支撑，线圈是由微机械加工制成的多层平面型线圈组成，弹簧片也是微机械加工制成的平面弹簧。本实用新型克服了现有用漆包线绕制在骨架上所带来的运动时因振动产生线间松动而产生噪音和失真，温度特性也大大改善，灵敏度高。本实用新型构造紧凑、合理、装配容易、体积小、重量轻、频带宽、抗冲击能力强，非常有利于油田现场施工。
文档编号G01V1/20GK2760576SQ200420097858
公开日2006年2月22日 申请日期2004年11月22日 优先权日2004年11月22日
发明者牛德芳, 颜永安, 杨中华, 于国良, 孙中心 申请人:威海双丰电子集团有限公司