光纤微结构mz干涉式spr化学与生物传感器及系统的制作方法

文档序号:6099789阅读:227来源:国知局
专利名称:光纤微结构mz干涉式spr化学与生物传感器及系统的制作方法
技术领域
本发明属于光纤传感、生物及化学技术领域,具体涉及一种光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器及其系统。
背景技术
光纤生物与化学传感器是1970年代中期才诞生的一种新型传感技术,该种传感器是将具有化学和生物分子识别和换能作用的指示济染料、酶、辅酶、生物受体、抗原、抗体、核酸、DNA、动植物组织或细胞、微生物、高分子材料等敏感膜、溶凝胶或其本身,吸附、固化或安装在光纤、平面光波导、毛细管波导上,对样品中的待测物质进行选择性吸收(吸附)或识别,再转换成各种光信息,如紫外、可见及红外光的吸收、反射、荧光、磷光、化学发光和生物发光、拉曼散射、光声和表面等离子体共振等信号输出,从而获得生物或化学信息。在大多数传感器中,光纤起光的传输作用,也有部分传感器是基于被测物质直接影响光纤的波导性质变化来进行化学和生物传感的。
光纤生物与化学传感器的主要特点是(1)具有很高的传输信息容量,达到复杂混合物中特定分析对象的监测。(2)传感器的光纤探头直径可以小到与其传播的光波波长属同一数量级,便于分析装置的微型化,传感器轻巧、价廉、耐用。(3)传感信号是光信号,与生物或化学样品之间无电接触,不影响生物自身的电性质,检测比较安全,可直接插入活体组织、血管、细胞等中,尤其适用于生物活体或体内实时连续分析检测。(4)无电磁干扰,电绝缘,可用于易燃易爆场合。(5)光纤的化学和热稳定性好,适于大部分化学和生物环境;同时,光纤无毒,不产生废气废液,不需高压大电流,不产生电磁辐射,无噪声,对环保和生物医学尤其适合。(6)光纤传感器具有内参比效应,测定信号稳定可靠。(7)光纤具有仅次于超导材料的低损耗远距离传输能力,可实现远距离遥测。
根据光纤在光传感中的作用,光纤生物与化学传感器可分为两类,一类是光纤作为传输介质,在光纤端面固化对化学或生物分子具有选择性的敏感膜层,光纤中的光到达端面后与敏感膜中的化学或生物分子作用而被吸收部分光能或激发荧光。通过检测吸收光强或发射的荧光强度来获取生物或化学成分的信息。第二类是将光纤包层腐蚀后留下一段纤芯,在被腐蚀后的纤芯表面固化化学或生物敏感膜层,光传输到传感头中的纤芯时产生全反射,并产生倏逝波。倏逝波穿过纤芯到达化学或生物敏感层而被吸收或激发荧光,通过测量光的吸收或荧光强度来测试化学或生物信息。若在腐蚀了光纤包层后的纤芯上再镀一层金属膜,可形成光纤等离子体共振生物化学传感器。
与本申请专利相近的传感器是表面等离子体共振(SPR)生物传感器。SPR生物传感器是分子生物与化学、光学、电子与计算机技术等相结合的产物,是目前分子生物学信息获取的最重要技术之一。下面介绍现有的SPR生物传感器(1)SPR生物传感器的基本原理表面等离子体(SP)波是沿着金属和电介质间界面传播的电磁波。当特定波长的振动平行于分界表面的偏振光以某一特定的入射角照在界面上而发生全反射时,入射光将被耦合为表面等离子体波而被衰减,引起界面全反射的光能量显著减少,这就是表面等离子体共振(SPR)。SPR对附着在金属表面的电介质折射率非常敏感,而折射率是所有材料的固有特征,表面等离子共振入射角和SPR的响应强度随电介质及其附着量的不同而不同。这样,将已知的生物识别分子固化在金属膜表面,当加入与其互补的被测生物分子时,两者相结合将使金属膜与溶液界面的折射率上升,从而导致SPR共振角或波长的改变,通过检测共振入射角度或波长的变化就能实现对互补的目标生物分子的定量或定性检测。
(2)现有SPR生物传感器的类型根据光波导耦合器件的不同,SPR传感器可分为棱镜型、金属光栅型和光纤型。目前绝大部分传感器是棱镜型传感器,用于产生全反射衰减的棱镜型装置有Otto和Kretschmann型,而以Kretschmann型为主,如图1所示。该装置是将几十纳米厚的金属薄膜11直接覆盖在棱镜12的底部,待检测的介质13在金属膜下面,光线射入棱镜,其倏逝波透过金属薄膜在另一界面处引起表面等离子体共振(SPR),棱镜可以是直角等腰三角形或半球形的。为了提高灵敏度,常选择折射率较高的光学材料制作棱镜,但这种光学材料的表面强度和稳定性较差,在空气中易形成氧化膜。
1987年Tiefenthaler等人提出了金属衍射光栅作为光波耦合元件的SPR生物传感器,但金属光栅的制作有一定难度。1997年Nikitin PI等人开发了基于肖特基结构的金属衍射光栅SPR生物传感器,利用微电子加工技术在硅片21上镀上一层40nm厚周期分布的金膜光栅22,再覆盖一层生物分子敏感膜23,如图2所示。当分子生物膜吸收被测生物分子后,其折射率发生改变,金属光栅衍射的光场和光谱分布也产生相应的变化,将光信号的变化转换成电信号输出,同时用光谱分析仪检测表面增强拉曼散射。利用得到的电压-角度曲线和拉曼谱线,实现生物分子反应机理和过程的测试与分析。
棱镜型和金属光栅型SPR生物传感器的传感介质都不是光纤,需要流通池,对应用环境要求较高。1993年,Jorgenson等人提出了光纤型SPR生物传感器,有两种传感结构,如图3所示,一种是在线传输式(a),另一种是终端反射式(b)。在线传输式光纤SPR生物传感器是将一段石英光纤中的包层31a剥去,在光纤芯32a上沉积一层高反射率金属膜33a,再在金属膜上覆盖一层生物分子敏感膜34a。光纤的直径一般为0.3mm,光纤内可传输光线的角度范围是78.5~90°。在此角度范围内,光在纤芯与包层的界面上发生内全反射,透过界面的倏逝波在金属膜中引发表面等离子体,并在一定的角度和波长上产生共振。在光纤的出口端检测输出光强度与波长分布,可定量分析生物分子的浓度及其变化。
终端反射式SPR光纤生物传感器的构造方法是在光纤的一个端面上沉积一层厚度达300nm的金属膜33b,将此端一段长5mm左右的光纤包层31b剥去,并在光纤芯32b上沉积50nm左右的金属膜,在金属膜上覆盖一层生物分子敏感膜34b。当满足SPR共振条件时,光纤中的光将产生共振而被吸收;当光传输至端面时沿来路被反射回去,再经过共振吸收衰减后而传输到光纤光谱仪进行检测。当分子敏感膜吸收生物分子后,其折射率发生变化,从而改变光纤中光的衰减光强和共振波长。根据该变化即可探测生物分子的作用过程和数量。该方式省略了流通池,可在一定距离范围内实现遥测。
总体来看,目前SPR生物传感器以棱镜型为主,光纤型和金属光栅型为辅。
(3)现有SPR传感仪器系统特点SPR生物传感器具有非破坏性、高灵敏度和实时在线检测等优点,已在微生物、血液、DNA、抗原抗体、有毒气体等的检测与分析方面有广泛应用。SPR传感器及其仪器系统的优点是(1)生物特异性强,可对生物分子反应的过程进行检测;(2)操作简单,测量速度较快;(3)整机可小型化;(4)适合微区和表面分析,也可进行分子结构分析;(5)灵敏度很高,比倏逝波荧光检测系统的灵敏度高1~2个数量级。
该类传感器及系统也存在一些缺陷(1)棱镜型传感头复杂且体积大。光纤传感头的制作繁琐并很困难,需要通过化学腐蚀或机械磨蚀方法去除包层,包层的去除位置或尺寸难于精确控制。金属衍射光栅型传感头的制作也很困难。(2)系统稳定性较差无论是波长调制还是角度调制法,直接探测的信号都是光强度,且是单光路光强。光源、光路和电路系统的波动和干扰对传感系统的影响很大,降低了可靠性和准确性。在现有的单光路强度检测中,这种影响是难于消除的。(3)杂散光干扰大在棱镜型、金属光栅型和光纤型三种SPR传感器中,杂散光能进入光路和探测器。当外界杂散光变化时,探测到的信号也发生变化,因此需要屏蔽杂散光。(4)对光纤型传感器而言,化学腐蚀或机械磨蚀包层后,会出现粗糙的交界面,难以得到平滑的纤芯光学表面,从而无规律地影响全反射特性,产生大的噪声信号,大大降低信噪比。(5)数据没有容错能力现有传感系统获取的数据没有冗余信息,当出现较大干扰和差错时,严重影响测试或分析结果的准确性。(6)遥测能力弱棱镜型和金属光栅型SPR传感器难于通过光纤实现遥测;目前光纤型SPR传感器所用光纤主要是芯径较大的多模光纤(小芯径光纤传感器的制作困难,甚至无法制作),一般仅仅是利用一段约几十厘米的光纤作为传感头,难于充分利用光纤的优越性。(7)传感系统结构复杂而庞大,操作不够灵活,棱镜型和金属光栅型SPR传感器都需要流通池。环境适应性较差,温度变化对测试结果的影响大,受外界振动的干扰也大,对准调试非常困难,现有的光纤型传感器也是如此。
这些不足和缺陷有待新的技术和方法加以克服和改进,以便该生物化学传感技术可得到更好的推广应用。

发明内容
本发明的目的就在于针对现有技术存在的上述不足,提供一种光纤微结构MZ(Mach-Zehnder,马赫-曾德尔)干涉式SPR(Surface Plasmon Resonance,表面等离子体共振)化学与生物传感器及其系统,将该传感器所需要的MZ干涉仪器件、两条光路、化学或生物分子敏感膜层、SPR传感的金属膜都集成在一段光纤上,使整个传感器完全光纤化,结构微型化,体积小。传感系统通过测量干涉条纹幅值或其谱分布、表面等离子体共振吸收波长的变化,就可测量出化学成分或生物分子的浓度,获得更高的检测精度和灵敏度。同时传感系统可基于光纤链路实现遥测,系统结构简单,调试方便,不受杂散光的影响,测试结果稳定可靠。
本发明的技术方案如下
光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器,它是在一根光纤上相距一定距离写有两个长周期光纤光栅,作为两个耦合器,两个长周期光纤光栅之间的距离约3-70cm;这两个长周期光纤光栅有相近的耦合波长、带宽和耦合效率,长周期光纤光栅谐振中心波长处的耦合效率约为2-10dB;在两个长周期光纤光栅之间的光纤有光纤芯和光纤芯之外的光纤包层,这两个长周期光纤光栅及其之间的光纤芯和光纤包层构成一个光纤MZ(马赫-曾德尔)干涉仪。在该光纤MZ干涉仪中,两个长周期光纤光栅之间的整段或部分段光纤只有光纤芯和光纤包层,去除了光纤包层外的保护涂层,只有光纤芯和光纤包层的这部分光纤的总长度约3-70cm;在只有光纤芯和光纤包层的这部分光纤的光纤包层表面镀有-层金属膜,作为表面等离子体共振(SPR)的载体,金属膜的厚度约为30-200nm。这就构成了光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器,利用光纤包层的全反射、表面等离子体共振(SPR)和光干涉特性等来获取生物分子及化学成分的信息。
进一步,为了提高传感器对特定化学成分或生物分子的选择性(特异性)和灵敏度,还可在上述金属膜表面上再固化有一层厚度大于3nm的吸收或敏感膜层,该吸收或敏感膜层对被测化学成分或生物分子具有选择性的吸收或敏感特性。整个传感器的外径约125~1000微米。
本传感器的传感原理是利用光纤化MZ干涉仪中的光纤包层光在界面处的全反射、表面等离子体共振和光干涉特性等来传感化学或生物信息(1)光纤纤芯中传输的光到达一个长周期光纤光栅时,一部分光继续在纤芯中向前传输,另一部分光被长周期光纤光栅耦合到包层中传输。(2)光纤包层光在光纤包层与金属膜层的界面处发生全反射而在包层中向前传输,光纤包层与金属膜层界面处的全反射将产生倏逝波。该倏逝波穿过包层界面和金属膜层,进入到被测生物分子与化学成分的敏感膜层或其溶液、气体的一个微小区域。(3)如果光纤包层光的入射角度、波长与光纤包层的折射率、金属膜材料及其厚度、生物与化学成分的溶液或其气体或其敏感膜层的折射率等参数满足相位匹配共振条件,光纤包层与金属界面处的倏逝波穿过金属膜层时,将产生表面等离子体共振,倏逝波的能量被共振耦合而转移为金属膜表面等离子体波的能量,从而导致倏逝波的能量被衰减。(4)被衰减后的倏逝波返回光纤包层继续传输,再在其它点产生全反射、倏逝波、金属表面等离子共振吸收。(5)当光纤包层中的光到达另一个长周期光纤光栅时,光纤包层中的一部分光被耦合到光纤纤芯中去,与一直在光纤纤芯中传输的一部分光合束并产生干涉。在产生干涉的两束光中,纤芯中的光不受化学成分或生物分子的影响,但光纤包层中光的幅值和相位因表面等离子体共振和倏逝波的作用而受生物分子或化学成分浓度的影响。(6)生物分子的种类及其数量或化学成分的浓度不同,与金属膜层外表面接触的生物及化学溶液或其气体或其敏感膜层的折射率也不同,从而影响金属膜表面等离子体共振的匹配条件,使光纤包层倏逝波的衰减能量、相位、共振光波长和共振角度发生变化,从而影响干涉信号光的幅值及其分布。它们之间的变化关系是确定的。(7)通过测量干涉信号光的幅值及其分布、表面等离子体共振波长的变化,就可测量生物分子或化学成分的浓度,实现生物分子或化学成分的传感。
由上述光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器形成的传感系统包括有宽带光源、光纤、光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器、光纤光谱仪和计算机;其中,宽带光源的输出通过光纤同光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器的一个光纤端相连,光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器的另一个光纤端通过光纤同光纤光谱仪的输入相连,光纤光谱仪通过数据接口(如USB、RS232、GPIB等)与计算机相连,传感器被置于被测化学成分或生物分子的溶液或气体中。这样,光纤中的光经过长周期光纤光栅的耦合,多次全反射和金属膜表面等离子体共振吸收,到达另一个长周期光纤光栅时再耦合合束形成干涉光信号,干涉光信号再经光纤被传输到光纤光谱仪;光纤光谱仪获取干涉光信号的谱幅值及其分布,并通过数据接口将干涉光信号数据送到计算机,由计算机根据获取的干涉光信号数据计算并显示出化学成分浓度或生物分子的测量值。
由上述传感系统得到的干涉光信号数据具有多种信息参数及其分布,如幅值、附加相位、干涉条纹及其分布等,都可由计算机进行分析计算。这些不同的信息参数受生物分子或化学成分的影响是不一样的,具有不同的响应形式和关联性,是多维信息,用其中的任意一维信息都可以测量化学成分或生物分子。在数据采集、传输和处理过程中,丢失部分数据,仍然可以正确地获得测量结果,传感系统具有一定的容错能力。
本传感器及传感系统的优点本传感器具有一般光纤传感器的优越性,如受电磁干扰小,传感器小而轻,稳定性高,无毒绝缘,无电流通过,易实现多道多组分同时检测与分析,可具有高度专一性和敏感性,适于强酸、强碱、高温高压、易燃易爆等恶劣环境,尤其在生物医学领域用于在体测量时具有高度安全性。另外,本传感器及传感系统还有独特的优点,包括(1)本传感器结构独特巧妙,不附加任何非光纤器件,只利用普通光纤及其上的两个长周期光纤光栅就实现了MZ干涉仪,在光纤化MZ干涉仪的光纤包层表面直接镀上金属膜层就实现了光纤SPR传感器,也可在金属膜层上再固化对化学成分或生物分子具有选择性的吸收或敏感膜层。MZ干涉光路系统及其整个传感器完全光纤化,结构微型化,外部结构简洁,体积小,且功能强大。这是本传感器的最大创新点。(2)传感系统不受杂散光的影响。本传感系统可测量干涉光谱信号,而杂散光与信号光不满足相干条件。因此,杂散光不影响测量结果。(3)传感器的制作质量可控性好,信号光噪声小。本传感器的每个部分及其制作过程都是精确可控的,制作质量容易得到保证。传感段光纤不需腐蚀,全反射界面是光滑的光学表面,信号光的噪声小。而现有光纤SPR传感器的传感光纤需经化学腐蚀或磨蚀处理,全反射界面不是光滑的光学表面,会产生很大的噪声干扰。(4)整个测量系统可基于普通光纤链路实现遥测,系统的构成及装配只需熔接光纤,调试简化,可靠性高。同时,传感系统具有一定的容错能力。(5)测量精度和灵敏度高,本传感器的信噪比高于现有的光纤SPR生物传感器,若用附加相位法测量生物分子或化学成分,可达到极高的测量精度和灵敏度。
总之,本传感器及其系统结构独特,微型化,光纤化,利用光纤包层的倏逝波、金属表面等离子体共振和光的干涉特性来测量生物分子或化学成分,在一段光纤上实现了一个完整的微结构MZ干涉仪及其生物与化学传感器,系统灵敏度高,可靠性好。


图1是棱镜型SPR生物化学传感器结构图;图2是金属光栅型SPR生物化学传感器结构图;图3是现有的光纤SPR生物化学传感器结构图;图4是本发明涉及的传感器的结构图;图5是本发明涉及的传感系统的结构图;图6是本发明涉及的传感系统计算机获取的干涉信号光谱图。
具体实施例方式
下面结合附图,以测量葡萄糖溶液的浓度为例来说明上述传感器及系统的实施,气体或其它溶液形式的生物分子和化学成分测量系统及其传感器的构成与之相似,不同之处只是在光纤包层外的金属膜层上固化一层不同的化学或生物分子敏感膜层而已。
参见图4,本传感器的结构组成有光纤涂覆层1、光纤包层2、光纤芯3、长周期光纤光栅LPFG14、金属膜层5、化学或生物分子的吸收或敏感膜层6、长周期光纤光栅LPFG27,保护套8,固化胶9,塑料过渡缓冲套10。其制作方法是(1)将一根普通单模光纤(光纤材料是石英或塑料,其光纤芯径约9μm,光纤包层直径约125μm)的一小段塑料保护涂层去除;(2)用波长约为240nm的激光器和长周期光纤光栅掩模板(掩模板的周期根据所需要的波长而定)照射去除了塑料保护涂层的这段光纤表面,写入长约2.5cm的一个长周期光纤光栅,它的一个谐振中心波长落在760nm附近,谐振中心波长处的耦合效率约3.5dB,带宽约18nm;(3)在离已写入的长周期光纤光栅的一段距离约13cm处再去除一段塑料保护涂层,用与写入第一个长周期光纤光栅相同的激光器和光纤光栅掩模板照射去除了塑料保护涂层的这段光纤表面,再写入一个长约2.5cm的相似长周期光纤光栅(也可用CO2激光器来写入这两个长周期光纤光栅);(4)在已写入的两个长周期光纤光栅位置处,用光纤涂敷机给光纤再涂敷上塑料保护涂层;(5)在两个长周期光纤光栅之间,将一段长约9.5cm的塑料保护涂层去除,并用乙醇和生物试剂清洗去除了塑料保护涂层的该段光纤包层;(6)在去除了塑料保护涂层的该段光纤包层上,镀一层厚约60nm的金属金或银膜,使其表面等离子体共振波长约为760nm;(7)在金属金或银膜表面固化一层厚约150nm的对葡萄糖分子具有选择性吸收的敏感膜层,也可不固化该敏感膜层;(8)将制作了长周期光纤光栅、塑料保护涂层、金属金或银膜、葡萄糖分子敏感膜层的这段光纤用固化胶在两端部粘贴到有孔的保护套内,在保护套两端各分别装上一个塑料过渡缓冲套,再用胶封装好两端部即可制作完毕。该保护套能够渗透被测葡萄糖溶液,同时能使葡萄糖溶液与光纤传感头的金属膜或葡萄糖敏感膜层接触。该保护套也可不用,而直接将本传感器放在葡萄糖溶液中,也能实现检测。
本传感系统的构成如图5所示。中心波长750nm、带宽大于60nm的宽带光源A经耦合输出到单模光纤B,经一段单模光纤B后到达光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器C。在传感器C中,760nm附近光能的一部分在光纤芯中传输并不受溶液中葡萄糖分子的影响,另一部分光能耦合到光纤包层中去并在包层中传输;光纤包层中的光在光纤包层与金属膜层的界面处产生倏逝波和表面等离子体共振吸收,其SPR共振吸收受葡萄糖分子浓度的影响;在遇到下一个长周期光纤光栅时,光纤包层光的一部分再次进入纤芯,与光纤芯的一部分光产生干涉,干涉光信号在光纤芯中传输,干涉光信号通过光纤被传输到高精度的光纤光谱仪D。光纤光谱仪D获取干涉光信号及其分布数据,通过数据接口GPIB将干涉光信号数据送到计算机E,由计算机计算得到并显示溶液中葡萄糖的浓度。计算机获取的干涉信号光谱图数据如图6所示。其测量和计算过程是先标定传感器对葡萄糖溶液的敏感系数,然后测试葡萄糖溶液的浓度。测试时,本传感器放在被测葡萄糖溶液中,传感系统中的计算机获取干涉信号光谱数据,并根据标定的敏感系数计算得到被测葡萄糖溶液的浓度,从而实现葡萄糖的传感。
在本实施例中,光纤光谱仪的波长分辨率可达0.02nm,最小幅值测量值为-65dBm,干涉信号光谱条纹的间距为1.52nm,用幅值计算法测量葡萄糖溶液浓度的分辨率小于6.1μg/ml。若用附加相位法测量时,测量葡萄糖溶液浓度的分辨率可达每毫升亚微克级。
权利要求
1.光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器,其特征在于它在一根光纤上相距一定距离有两个长周期光纤光栅,这两个长周期光纤光栅有相近的耦合波长、带宽和耦合效率;在这两个长周期光纤光栅之间的光纤有光纤芯和光纤芯之外的光纤包层;这两个长周期光纤光栅及其之间的光纤芯和光纤包层构成一个MZ干涉仪;在这两个长周期光纤光栅之间的整段或部分段光纤的光纤包层表面有一层金属膜。
2.根据权利要求1所述的光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器,其特征在于两个长周期光纤光栅之间的距离约3-70cm,长周期光纤光栅谐振中心波长处的耦合效率为2-10dB;金属膜的厚度为30-200nm,金属膜的总长度为3-70cm。
3.根据权利要求1或2所述的光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器,其特征在于在金属膜上固化有对化学成分或生物分子具有选择性的吸收或敏感膜层,该吸收或敏感膜层的厚度大于3nm。
4.根据权利要求3所述的光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器,其特征在于在上述制作了长周期光纤光栅、光纤包层、金属膜、生物分子或化学成分吸收或敏感膜层的这段光纤之外套有一保护套,保护套上有小孔,保护套的两端通过固化胶与该传感器光纤粘贴在一起,在保护套的两端部分别有一个过渡缓冲套。
5.由权利要求1或2所述的传感器形成的传感系统,其特征在于它包括宽带光源、光纤、光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器、光纤光谱仪和计算机。宽带光源和光纤光谱仪分别连接到光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器的两个光纤端,光纤光谱仪通过数据接口连接到计算机,传感器置于被测化学成分或生物分子的气体或溶液中。
全文摘要
本发明公开一种光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器及系统,传感器是由一根光纤上的两个长周期光纤光栅、光纤包层和光纤芯构成一个MZ干涉仪,在两个长周期光纤光栅之间的光纤包层表面镀一层金属膜,形成一个光纤MZ干涉仪结构的SPR传感器。该传感器将MZ干涉仪所需的功能器件和光路、化学或生物分子敏感膜层、SPR传感的金属膜都集成在一段光纤上,使整个传感器完全光纤化,结构微型化,体积小。传感系统是由宽带光源、光纤、光纤微结构MZ干涉式SPR化学与生物传感器、光纤光谱仪和计算机组成,其中传感器被置于被测化学成分或生物分子的溶液或气体中。该传感系统可基于光纤链路实现遥测,系统结构简单,调试方便,不受杂散光的影响,测试结果稳定可靠。
文档编号G01N21/17GK1712928SQ200510057148
公开日2005年12月28日 申请日期2005年7月1日 优先权日2005年7月1日
发明者曾祥楷 申请人:重庆工学院
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