专利名称：具有自动调整谐振频率功能的电光相位调制器的制作方法
技术领域：
本发明涉及光电探测技术领域，尤其涉及一种电光相位调制器谐振频率检测装置及检测方法，其被应用于光电探测系统中电光相位调制器谐振频率检测及校准。
背景技术：
在微弱光电探测领域，由于光束在光学系统传输的过程中不可避免地存在一定数量的多阶反射鬼像光束，经过多次反射后产生的鬼像光束其相位、频率和处于同一点的主光束相位、频率完全相同，从而使鬼像光束与主光束之间发生干涉，导致探测到的光信号与理想光信号出现偏差，使实际测量结果出现相应测量误差。为降低、乃至避免鬼像对主光束的干扰，在很多微弱光电探测系统中采用相位调制技术，人为地破坏主光束的时间相干性， 使主光束相位(频率)被调制，这样不同时间进入光学系统中的主光束频率是不同的，因此在光学系统中经过多次反射后产生的鬼像光束其相位、频率和处于同一点的主光束相位、 频率完全相同的几率就会大大降低，从而从根本上避免了鬼像对主光束的干扰。光学中的相位调制主要是利用在具有电光效应的特殊光学晶体上施加周期变化的射频电压，使电光晶体内折射率发生相应变化从而导致经过电光晶体后光束相位发生变化来实现对入射光束相位的调制的，如
图1所示。若外加电场为E = EmSincomt,在晶体入射面的光场为Ei = A。cos ω。t，则输出光场(ζ = L处)就变为
权利要求
1.一种电光相位调制器，包括电光相位调制晶体，对通过该晶体的光束进行相位调制；功率提取单元，提取输入的调制信号的功率和驱动信号与相位调制器反射信号的相干信号的功率；调制功率检测单元，将提取到的调制信号的功率转换为电压值；相干功率检测单元，将提取到的相干信号的功率转换为电压值；反馈信号产生单元，根据调制功率检测单元和相干功率检测单元输出的信号提供一个反馈信号，该反馈信号表征调制信号频率与相位调制器谐振频率之间的匹配关系；谐振电路，与所述电光相位调制晶体并联；主控制器单元，采集、判断反馈信号产生单元所提供的反馈信号，并根据判断结果控制并联谐振电路的电感值，自动改变相位调制器的谐振频率点，使之与调制信号频率相匹配， 相位调制器谐振频率与调制电源输出的调制信号频率值始终保持相互之间的匹配。
2.根据权利要求1所述的调制器，其中，该调制器能针对不同的调制电源设置不同的调制器谐振频率点。
3.根据权利要求1所述的调制器，其中，反馈信号产生单元是一比较单元，用于将调制信号功率对应的电压值与相干信号对应的电压值进行比较，反馈信号反应了调制信号频率与相位调制器谐振频率之间的大小关系。
4.根据权利要求3所述的调制器，其中，当调制信号频率低于相位调制器谐振频率时， 反馈信号值为一个低电平；当调制信号频率高于相位调制器谐振频率时，反馈信号值为一个高电平。
5.根据权利要求1 4中任意一个所述的调制器，其中，通过调节可变电阻值改变并联谐振电路的电感值，继而改变并联谐振电路的谐振频率点。
6.根据权利要求1 4中任意一个所述的调制器，其中，还包括电光相位调制器屏蔽外壳，用于安装保护电光相位调制器内部各组成部分，并实现外部电磁干扰信号的隔离。
全文摘要
一种电光相位调制器，包括电光相位调制晶体；功率提取单元，提取输入的调制信号的功率和驱动信号与相位调制器反射信号的相干信号的功率；调制功率检测单元，将提取到的调制信号的功率转换为电压值；相干功率检测单元，将提取到的相干信号的功率转换为电压值；反馈信号产生单元，根据调制功率检测单元和相干功率检测单元输出的信号提供一个反馈信号；电光相位调制晶体并联谐振电路；主控制器单元，采集、判断反馈信号产生单元所提供的反馈信号，并根据判断结果控制并联谐振电路的电感值，自动改变相位调制器的谐振频率点，使之与调制信号频率相匹配，相位调制器谐振频率与调制电源输出的调制信号频率值始终保持相互之间的匹配；电光相位调制器屏蔽外壳，用于安装保护电光相位调制器内部各组成部分，并实现外部电磁干扰信号的隔离。
文档编号G01R23/02GK102279477SQ20101019620
公开日2011年12月14日 申请日期2010年6月9日 优先权日2010年6月9日
发明者唐文力, 王海江, 陈振飞 申请人:上海微电子装备有限公司, 上海微高精密机械工程有限公司