专利名称：探针针压监测方法
技术领域：
本发明与点测装置(prober)的探针针压(probing force)监测方法有关,特别是指一种用于搭载有寻边器(edge sensor)的点测装置的探针针压监测方法。
背景技术：
点测装置(prober)为一种利用探针(probe)来检测诸如发光二极管等半导体晶粒性能表现或特性参数的设备。在点测作业进行时，假使探针针压(probing force)过大，可能会造成晶粒表面损伤，也容易造成探针磨损，而一旦针压过小，可能造成探针与晶粒接点接触不良，进而影响点测结果，因此，探针针压的设定、监测与调整，一直都是点测作业进行时需格外注意的事项。 利用搭载于点测装置中的寻边器(edge sensor),可达到确保探针能确实接触并在待测晶粒的接点施加一定压抵力量的目的。进一步而言，现有的寻边器主要包含有一架体、一与该架体弹性连接并可相对该架体摆动的摆臂，以及一可调预力施加器，其中，探针固定在该摆臂上，且该可调预力施加器用于施加一作用于该架体与该摆臂之间的预力，使该探针在未受力的状态下，两个分别设于该架体与该摆臂上的电性接点可以保持接触而电性导通，而一旦探针接触并持续进给压抵待测晶粒的接点至前述预力被克服的程度时，该摆臂将相对该架体摆动使该二电性接点分离造成断路，因此，利用该可调预力施加器提供特定的预力，并在侦测到前述二电性接点断开时的关键点停止探针进给，即可确保探针在点测作业时已经确实接触并将一特定压抵力量施加在待测晶粒的接点上。由于寻边器的结构特征以及作动原理属本技术领域中具有通常知识的人士所熟知的习用技术，而且在诸如中国台湾第M345241、M382589等新型的说明书中已详细揭示了各式各样的寻边器，因此申请人在此不予以赘述。前述可调预力施加器通常以磁性吸力、斥力或者弹簧回复力来施加上述预力，而且探针本身具有一定的弹性，因此探针在点测作业实际使用一段时间之后，可能会因为诸如预力施加器设定偏移或探针弹性疲乏等因素，发生探针实际使用时的针压或多或少偏离原先设定值的情形，进而影响测量结果，甚至造成晶粒接点的损伤。为了避免前述情形发生，现行的作法是在探针使用一段时间后，将固定有探针的寻边器从点测装置中拆下，并将寻边器架设于治具上之后，使用电子磅秤来测量寻边器的二电性接点跳脱时的探针受力(即探针实际进行点测作业时的针压)，此时若发现探针针压偏离设定值，则重新调整预力施加器所施加的预力，并反复检测，直到探针针压回复到设定值的容许范围内，而后，必须将寻边器从治具上拆下并重新组装回点测装置，探针才能继续使用。由上述可知，现行探针针压的监测与调整作业可以说是十分耗时与不便，而且，寻边器拆拆装装无疑也增加了机构损害的风险。现行的另一种探针针压的监测方法，是用勾表直接对固定在点测装置中的探针进行测量，此举虽可省去拆装寻边器的作业，然而，勾表一般来说不易使用，而且测量的结果往往会因为不同操作人员操作勾表的技术纯熟度不同而有所差异，即人为操作误差对测量结果的影响很大。总之，上述两种现有监测探针针压的方法，有耗时、作业不便、存在较大的人为操作误差等缺点而有待改进。
发明内容
针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种探针针压监测方法，该方法不必将装设探针的寻边器从点测装置上拆卸下来再进行针压监测，可以迅速、方便的作业。
本发明的另一目的在于提供一种探针针压监测方法，可直接利用点测装置现有设备进行探针针压监测，以减少人为误差。为达到上述目的，本发明所提供的一种探针针压监测方法，用于监测一设置于一寻边器的探针的针压，所述寻边器包含有一架体，具有一第一电性接点；一能相对所述架体摆动的摆臂，具有一能与所述第一电性接点接触的第二电性接点，且所述摆臂的一端部能拆卸地固设有所述探针；一可调预力施加器，提供一强迫所述第二电性接点抵接所述第一电性接点的预力；所述探针针压监测方法包含有以下步骤a)在不同预力条件下，分别使所述探针在接触一力量量测器的一量测面后，沿一垂直所述量测面的方向相对所述量测面进给以压抵所述力量量测器，且进给的动作至少持续到所述摆臂相对所述架体摆动使所述第二电性接点脱离所述第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为参考临界点，以取得在不同预力条件下，探针进给位移量对应探针所承受的力量的位移-力量数据；b)在探针进行点测作业之后，使探针接触一量测件的一量测面，而后，使所述量测件沿垂直其量测面的方向相对所述探针进给以压抵所述探针，且进给的动作至少持续到所述第二电性接点离开所述第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为监测临界点，由此监测临界点的位移量以及所述位移-力量数据，以取得所述探针在所述监测临界点时所承受的力量。上述本发明的技术方案中，在步骤b)中，以所述监测临界点的位移量与所述位移-力量数据中各个参考临界点的位移量做比较，并以所述位移-力量数据中，最接近所述监测临界点位移量的参考临界点位移量所对应的探针受力，作为所述探针在所述监测临界点时所承受的力量。在步骤b)中，以所述监测临界点的位移量与所述位移-力量数据中各个参考临界点的位移量做比较，并以所述位移-力量数据中，最接近且分别小于及大于所述监测临界点位移量的二参考临界点位移量所对应的二探针受力的平均值，作为所述探针在所述监测临界点时所承受的力量。利用步骤a)中在各个不同预力条件下的位移-力量数据以及线性回归方法，取得一参考临界点位移-力量特性直线，所述特性直线满足以下方程式F = k^+ko其中F为探针所承受的力量；Ii1 为斜率；X为位移量；kQ 为一常数；由此，在步骤b)中，利用所述监测临界点位移量以及上述方程式，能取得所述探针在所述监测临界点时所承受的力量。
所述可调预力施加器为利用磁性吸力或磁性斥力来提供所述预力。所述可调预力施加器为利用弹簧回复力来提供所述预力。在步骤a)中所使用的力量量测器为电子磅秤。步骤b)中的量测件为一可导电块，且在步骤b)中是通过所述探针与所述可导电块是否电性导通来判定所述量测件是否与所述探针接触。所述可导电块固设于一能沿垂直所述量测件的量测面方向位移的运动平台上。步骤b)中的量测件为一位于一待测晶圆上的导电接点。
由此，在点测实际进行点测作业之前，利用步骤a)中所述的程序，可建立探针包含临界点的受力与进给位移量之间的特性数据，且在点测机进行点测作业时，可随时利用步骤b)所述的程序，得到探针在监测临界点所受的力，也就是探针在实际点测作业时所受的针压，如此一来，使用者可进一步在监测到针压偏离预定值时，直接调整可调预力施加器所施加的预力，使针压可以重新调校至预定值，以利进行后续点测作业。换言之，利用本发明所提供的探针针压监测方法，可避免习用方法需将寻边器从点测机拆卸下并配合电子磅秤来进行针压量测的不便，或者避免习用使用勾表量测针压容易因个人操作因素而产生测量结果再现性不佳的缺点。在此必须特别说明的是，上述取得探针“位移-力量数据”的步骤，也就是步骤a)，可以在寻边器搭载于点测装置之后，在该点测装置上来完成。然而，此步骤的完成并不以前述方法为限，也就是可以在寻边器尚未搭载于点测装置之前，在该点测装置之外，先利用其它机构，例如三轴运动平台、Z轴运动平台等来完成。在上述方法中，通过监测临界点的位移量以及该位移-力量数据来得出探针针压有很多可行方式，例如，可以以该监测临界点的位移量与该位移-力量数据中各个参考临界点的位移量做比较，并以该位移-力量数据中，最接近该监测临界点位移量的参考临界点位移量所对应的探针受力，作为该探针针压。此种方式在步骤a)中所建立的位移-力量数据具有高分辨率时，可得到精确的探针针压。或者，可以以该位移-力量数据中，两个最接近且分别小于及大于该监测临界点位移量的参考临界点位移量，所分别对应的二个探针受力的平均值，作为该探针针压。本发明还提供了一种更为简易的探针针压监测方法，用于监测一设置于一寻边器的探针的针压，所述寻边器包含有一架体，具有一第一电性接点；一能相对所述架体摆动的摆臂，具有一能与所述第一电性接点接触的第二电性接点，且所述摆臂的一端部能拆卸地固设有所述探针；以及一可调预力施加器，提供一强迫所述第二电性接点抵接所述第一电性接点的预力；所述探针针压监测方法包含有以下步骤a)在一预定的预力下，使所述探针在接触一力量量测器的一量测面后，沿一垂直所述量测面的方向进给以压抵所述力量量测器，且进给的动作至少持续到所述摆臂相对所述架体摆动使所述第二电性接点脱离所述第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为参考临界点山)利用所述参考临界点之前，各个探针进给位移量所对应的所述力量量测器所量得的探针承受力量的数据，计算出所述探针的位移-力量特性方程式如下F = kj+k。,其中F为探针所承受的力量，Ii1为斜率，X为位移量，k0为一常数；c)在探针进行点测作业之后，使探针接触一量测件的一量测面，而后，使所述量测件沿垂直其量测面的方向进给以压抵所述探针，且进给的动作至少持续到所述第二电性接点离开所述第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为监测临界点；d)将所述监测临界点的位移量代入步骤b)所示的方程式中，以取得所述探针在所述监测临界点时所承受的力量。在上述方法中，步骤c)中的量测件为一可导电块，且在步骤c)中为通过所述探针与所述可导电块是否电性导通来判定所述量测件是 否与所述探针接触。所述可导电块固设于一能沿垂直所述量测件的量测面方向位移的运动平台上。步骤c)中的量测件为一位于一待测晶圆上的导电接点。
图I是一示意图，显示本发明一较佳实施例所提供的探针针压监测方法中，探针压抵一电子磅秤且寻边器的二电性接点保持在电性接触的状态；图2是一示意图，显示探针压抵一电子磅秤且寻边器的摆臂相对架体摆动致使二接点分离的状态；图3是一位移-力量关系图，显示在三种不同预力条件下，探针所受力量与进给位移量之间的关系；图4是一示意图，显示探针接触一量测件且寻边器的二电性接点保持在电性接触的状态；图5是一示意图，显示量测件压抵探针且寻边器的摆臂相对架体摆动使二接点分离的状态；图6是一位移-力量关系图，显示在三种不同预力条件下的各个参考临界点，探针所受力量与进给位移量之间的关系；图7是一位移-力量关系图，显示在一特定预力条件下，探针所受力量与进给位移量之间的关系；图8是一示意图，显示可实施本发明所提供的探针针压监测方法的另一种寻边器的形态。
具体实施例方式现举以下实施例并结合附图对本发明的结构、特征及功效进行详细说明。申请人:首先在此说明，在以下将要介绍的实施例中，相同的参考号码，表示相同或类似的组件或结构特征。本发明一较佳实施例所提供的探针针压监测方法，主要运用于一搭载有寻边器(edge sensor)的点测装置(prober)中，使点测装置在进行点测作业时，运用本发明所提供的方法，可在不需要拆卸寻边器的前提下，随时进行探针针压的监测。如图I、图2所示，为一种可使用本发明的探针针压监测方法的寻边器10，其包含有一架体12、一摆臂14以及一可调预力施加器16。架体12底部的一端设有一第一电性接点18，摆臂14的中段通过一弹性片20 (例如弹簧钢片)连接于架体12底部的另一端，由此，摆臂14可以以弹性片20为支点相对架体12偏摆。其次，摆臂14的一端通过一夹具22而可拆卸地固定有一探针24，在本实施例中，探针24具有一特定的弯曲角度，然而，适用于本发明所提供的方法的探针的型态并不以此为限，如图8所示的直线形探针24也可适用。此外，摆臂14的另一端设有一与第一电性接点18对应的第二电性接点26，而且，取决于摆臂14的偏摆与否，第二电性接点26可与第一电性接点18接触而彼此电性导通(如图I所示)，或者二电性接点可相互脱离而彼此形成断路(如图2所示)。可调预力施加器16，在本实施例中为采用二个相对应的磁性件28、30，二磁性件28、30为磁性相吸并可通过调整彼此间的距离来调整其吸引力大小，如此一来，可调预力施加器16提供一个作用于摆臂14与架体12之间的作用力(以下称为预力)，在探针未受力(针压为零)的状态下，此预力将强迫第二电性接点26紧抵第一电性接点18 ;其次，在探针24进行点测作业而受力时，一旦探针24接触到并持续进给压抵待测晶粒的接点至前述预力被克服的程度时，摆臂14将相对架体12摆动使二电性接点18、26分离，因此，只要点测装置在侦测到二电性接点18、26断开时的关键点停止探针24进给，并保持在此状态，即可确保探针24在进行点测作业时，已经确实接触并将一特定压抵力量(以下简称「实际点测针压」)施加在待测晶粒的接点上，并且，通过可调预力施加器设定预力大小，便可相对调整实际点测针压的大小，以符合各种不同点测条件的需求。 在此需特别说明的是，适用于本发明所提供的探针针压监测方法的寻边器，并不限于图I及图2中所揭示的形态，只要是具有摆臂与架体弹性连接并利用设定预力大小来相对决定实际点测针压的大小以及利用电性接点导通与否来判断是否达到前述“实际点测针压”的各种寻边器均可适用，如图8所揭示的另一种现有寻边器也可适用。其次，取决于摆臂上的施力点(即探针)、支点(即弹性片)以及抗力点(即预力)彼此间的相对位置关系，作用于该架体与该摆臂之间的预力可以是推力或拉力，而且此推力或拉力可由磁性吸引力(如图I所示磁性件28、30)、磁性斥力或者弹簧的弹性回复力量(如图8所示的压缩弹簧的回复力量)来提供。而本发明一较佳实施例所提供的探针针压监测方法，主要是先利用诸如电子磅秤之类的力量量测器来建立探针受压时的位移-力量资料，此建立“位移-力量资料”的步骤可以直接在点测装置上进行，也可在点测装置之外利用其它机构进行。而后，在点测装置进行点测作业至一定时间需要监测探针针压时，先利用一固定在运动平台上、可随着该运动平台垂直位移的量测件接触探针之后，利用该运动平台逐步垂直进给使该量测件逐步压抵该探针，直到寻边器的二电性接点跳脱的临界点出现为止，由此，利用该临界点所对应的量测件垂直位移量以及先前步骤所建立的位移-力量数据，相互比对或通过特定数学运算，即可得出该探针在该临界点时的受力，即该点测装置实际进行点测作业时，探针的“实际点测针压”。进一步来说，本发明第一较佳实施例所提供的探针针压监测方法主要包含以下步骤a)在不同预力条件下，分别使探针在接触一力量量测器的一量测面后，沿一垂直该量测面的方向相对该量测面进给以压抵该力量量测器，且进给的动作至少持续到该摆臂相对该架体摆动使该摆臂的第二电性接点脱离该架体的第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为参考临界点，以取得在不同预力条件下，探针进给位移量对应探针所承受的力量的位移-力量数据；b)在探针进行点测作业之后，先使探针接触一量测件的一量测面，而后，使该量测件沿垂直其量测面的方向相对该探针进给以压抵该探针，且进给的动作至少持续到该第二电性接点离开该第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为监测临界点，通过此监测临界点的位移量以及该位移-力量数据，取得该探针在该监测临界点时所承受的力量，也就是前面所定义的“实际点测针压”。下面将配合图I至图5，详细说明上述各个步骤的内容以及细部特点。首先，在探针24固定在寻边器10的夹具22且寻边器10装设于一可沿垂直方向(Z轴方向)进给位移的点测装置主轴头(图中未示)之后，在点测装置尚未实际进行半导体晶粒点测作业之前，先利用寻边器10的可调预力施加器16对摆臂14施加一特定预力，而后，使探针24接触一诸如电子磅秤或压 电传感器(piezoelectric sensor)之类的力量量测器32的量测面34。其中，力量量测器32固定在一用于固定待点测晶圆的运动平台的表面36上，该运动平台可沿水平方向(X轴及Y轴方向)以及垂直方向(Z轴方向)相对探针24进给位移，而判断探针24是否接触力量量测器32的量测面34的方法，可利用该点测装置侦测探针24是否与量测面34电性导通来确认。之后，使探针24沿着垂直量测面34的方向(Z轴方向)逐步相对量测面34进给以压抵力量量测器32(如图I所示)，其中，进给的方式可借由主轴或该运动平台沿Z轴方向位移来达到，且进给的动作持续到摆臂14相对架体12摆动使第二电性接点26脱离第一电性接点18的临界点出现之后(如图2所示)。而为便于后续容易说明起见，此临界点随后将称为“参考临界点”。其次，在前述进给的过程中，可通过该点测装置来记录每一 Z轴进给位移量对应的力量量测器32所量得的探针承受力量(针压)，由此，可以得到在前述特定预力条件下，探针进给位移量对应探针所承受的力量的位移-力量数据。而后，利用可调预力施加器16对摆臂14施加不同的预力并重复上述程序，即可得到在不同预力条件下，位移量对应针压的位移-力量数据，而完成步骤a)。在此需特别说明的是，上述建立探针“位移-力量数据”的步骤，是将寻边器直接装设在点测装置上来完成，然而，前述步骤也可在寻边器尚未装设于点测装置之前，在点测装置之外，先利用其它机构，例如三轴运动平台、Z轴运动平台等配合夹头来完成，而后再将寻边器装设在点测装置上进行点测作业及针压的监测。如图3所示，显示的是利用三种不同预力条件下的位移-力量数据所绘出的位移-力量特性曲线。基本上，在探针24接触力量量测器32的量测面34之后，主轴或运动平台沿Z轴方向的进给位移，将造成探针24的弹性变形(如图I所示)。在摆臂14的第二电性接点26跳脱架体12的第一电性接点18的临界点发生之前，Z轴进给位移量造成的针压，系与位移量成正比，且仅与探针的弹性变形有关。而在临界点发生之后，针压除了与位移量成正比外，将同时与探针24的弹性变形以及弹性片20的弹性变形有关连性，因此，图3所示的每一特定预力条件下的位移-力量特性曲线都可以很明显地看出有二段不同的斜率，而二段不同斜率的转折点C1 C3即为第二电性接点26跳脱第一电性接点18的临界点。在上述步骤a)完成之后，可按实际的点测作业需求，利用预力施加器16的预力设定，设定所需的探针“实际点测针压”，之后即可进行点测作业。而在点测作业进行中，若要监测探针24的针压，可先控制点测装置暂停点测作业，如图4所示，使探针24与一固定在运动平台表面36上并由一可导电块所构成的量测件38的量测面40接触。判断探针24是否接触量测件38的量测面40的方法，同样可利用该点测装置侦测探针24是否与量测面40电性导通来确认。而后，使量测件38沿垂直其量测面40的方向(Z轴方向)逐步相对探针24进给以压抵探针24，其中，进给的方式可由主轴或该运动平台沿Z轴方向位移来达到，且进给的动作至少持续到摆臂14相对架体12摆动使第二电性接点26脱离第一电性接点18的临界点出现(如图5所示)。为便于后续容易说明起见，此临界点后面称为“监测临界点”。其次，在前述进给的过程中，可由该点测装置来记录在该“监测临界点”时，Z轴的进给位移量，如此一来，通过此“监测临界点”的位移量配合步骤a)所得到的位移-力量数据，即可得到探针24在该“监测临界点”时所承受的力量，也就是探针当下的“实际点测针压”。在此同时，点测装置可将此探针当下的“实际点测针压”与原先设定的“实际点测针压”做比较，若差异在容许范围内，则可继续进行点测作业，若差异太大，则可重新调整预力施加器16所施加的预力，并通过上述监测程序，反复调整预力直到探针当下的针压回复到设定值的容许范围内，即可进行后续点测作业。在上述步骤中，通过该“监测临界点”的位移量以及该位移-力量数据相互比对而 得出探针针压，有很多可行方式，例如，可以以该“监测临界点”的位移量与该位移-力量数据中各个“参考临界点”的位移量做比较，并以该位移-力量数据中，最接近该“监测临界点”位移量的“参考临界点”位移量所对应的探针受力，作为该探针针压，以图3所示的位移-力量数据为例，假设“监测临界点”的位移量最接近参考临界点C1，则以C1所对应的针压值作为探针当下监测的“实际点测针压”。此种方式对于在步骤a)中所建立的位移-力量数据具有高分辨率时，即每单位Z轴进给量以及每单位预力施加量的值较小时，仍可得到精确的监测针压。或者，可以以该位移-力量数据中，两个最接近且分别小于及大于该“监测临界点”位移量的“参考临界点位移量”，所分别对应的二个探针受力的平均值，作为该探针针压，即，假设“监测临界点”的位移量为位于参考临界点C1与C2之间，则以C1与C2所分别对应的针压值的平均值，作为探针当下监测的“实际点测针压”。再如图6所示,也可利用线性回归方法,先计算出线性适配(linear fitting)各个参考临界点C1 C3的位移-力量特性直线方程式，如下所示F = k^X+ko其中F为探针所承受的力量，也就是针压屯为以线性回归方法计算得出的斜率；X为位移量Atl为以线性回归方法计算得出的常数。再在步骤b)将该“监测临界点”的位移量代入前述方程式中，即可求得该探针针压。由此方式，在步骤a)中仅需建立少数几个预力条件下的位移-力量数据即可，可以节省时间。实际上，如图3所示，探针受力与位移量呈现良好的正比关系，而且在不同预力下的位移-力量特性适配直线的斜率差异不大，因此可仅以一组特定预力条件下的位移-力量数据，进行探针针压监测，其方法如下。首先以如图I及图2中所示的相同方式，得到在一预定的预力条件下的位移-力量数据，例如图3所示的预力I的位移-力量数据。其次，利用参考临界点C1之前的位移-力量数据，以线性回归法计算出该探针在该参考临界点C1之前的位移-力量特性适配直线(如图7所示)，该直线满足以下方程式
F = k^+ko其中F为针压屯为以线性回归方法计算得出的斜率；X为位移量^为以线性回归方法计算得出的常数。而后，利用如图4及图5中所示的相同方式，取得“监测临界点”的位移量。最后，将该“监测临界点”的位移量代入前述方程式中，即可以一较为简易的方法求得该探针针压。综上所述，本发明所提供的探针针压监测方法，可以直接实施于现行的点测装置中，通过点测装置现有的运动平台及数字输出/入接口配合电子磅秤32以及可导电块38，即可完成探针“位移-力量数据”的建立，并在点测作业中随时监测探针24的针压，整体针 压监测作业可以说是十分省时与方便，而且可避免现有方法需将寻边器从点测装置拆卸下才能测量针压的缺点，更可避免现有使用勾表进行针压测量所带来的测量结果再现性不佳的缺点。然而，必须说明的是，建立探针“位移-力量数据”的步骤，也可在点测装置之外先行完成，并不限于必须在点测装置中完成。此外，量测件38的目的在于提供监测探针针压时的一接触基础面，因此不限于以固定在运动平台上的导电块的方式来实现前述目的，例如，可以直接在待测晶圆上设置一个量测针压用的导电接点的方式来作为该量测件，如此，整个探针侦测作业可更紧密地与点测作业结合，以节省探针针压监测程序所需的时间。最后，必须再次说明，本发明说明书及附图中所揭示的用于实施本发明的探针针压监测方法的寻边器，仅为举例说明，并不是实施前述方法的唯一方式，更不能用来限制本发明的专利保护范围。
权利要求
1.一种探针针压监测方法，用于监测一设置于一寻边器的探针的针压，所述寻边器包含有一架体，具有一第一电性接点；一能相对所述架体摆动的摆臂，具有一能与所述第一电性接点接触的第二电性接点，且所述摆臂的一端部能拆卸地固设有所述探针；一可调预力施加器，提供一强迫所述第二电性接点抵接所述第一电性接点的预力；所述探针针压监测方法包含有以下步骤 a)在不同预力条件下，分别使所述探针在接触一力量量测器的一量测面后，沿一垂直所述量测面的方向相对所述量测面进给以压抵所述力量量测器，且进给的动作至少持续到所述摆臂相对所述架体摆动使所述第二电性接点脱离所述第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为参考临界点，以取得在不同预力条件下，探针进给位移量对应探针所承受的力量的位移-力量数据； b)在探针进行点测作业之后，使探针接触一量测件的一量测面，而后，使所述量测件沿垂直其量测面的方向相对所述探针进给以压抵所述探针，且进给的动作至少持续到所述第二电性接点离开所述第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为监测临界点，由此监测临界点的位移量以及所述位移-力量数据，以取得所述探针在所述监测临界点时所承受的力量。
2.如权利要求I所述的探针针压监测方法，其特征在于在步骤b)中，以所述监测临界点的位移量与所述位移-力量数据中各个参考临界点的位移量做比较，并以所述位移-力量数据中，最接近所述监测临界点位移量的参考临界点位移量所对应的探针受力，作为所述探针在所述监测临界点时所承受的力量。
3.如权利要求I所述的探针针压监测方法，其特征在于在步骤b)中，以所述监测临界点的位移量与所述位移-力量数据中各个参考临界点的位移量做比较，并以所述位移-力量数据中，最接近且分别小于及大于所述监测临界点位移量的二参考临界点位移量所对应的二探针受力的平均值，作为所述探针在所述监测临界点时所承受的力量。
4.如权利要求I所述的探针针压监测方法，其特征在于利用步骤a)中在各个不同预力条件下的位移-力量数据以及线性回归方法，取得一参考临界点位移-力量特性直线，所述特性直线满足以下方程式F = kxX+k0 其中F为探针所承受的力量； ki为斜率； X为位移量； k0为一常数； 由此，在步骤b)中，利用所述监测临界点位移量以及上述方程式，能取得所述探针在所述监测临界点时所承受的力量。
5.如权利要求I至4其中任一项所述的探针针压监测方法，其特征在于所述可调预力施加器为利用磁性吸力或磁性斥力来提供所述预力。
6.如权利要求I至4其中任一项所述的探针针压监测方法，其特征在于所述可调预力施加器为利用弹簧回复力来提供所述预力。
7.如权利要求I至4其中任一项所述的探针针压监测方法，其特征在于在步骤a)中所使用的力量量测器为电子磅秤。
8.如权利要求I至4其中任一项所述的探针针压监测方法，其特征在于步骤b)中的量测件为一可导电块，且在步骤b)中是通过所述探针与所述可导电块是否电性导通来判定所述量测件是否与所述探针接触。
9.如权利要求8所述的探针针压监测方法，其特征在于所述可导电块固设于一能沿垂直所述量测件的量测面方向位移的运动平台上。
10.如权利要求I至4其中任一项所述的探针针压监测方法，其特征在于步骤b)中的量测件为一位于一待测晶圆上的导电接点。
11.一种探针针压监测方法，用于监测一设置于一寻边器的探针的针压，所述寻边器包含有一架体，具有一第一电性接点；一能相对所述架体摆动的摆臂，具有一能与所述第一电性接点接触的第二电性接点，且所述摆臂的一端部能拆卸地固设有所述探针；以及一可调预力施加器，提供一强迫所述第二电性接点抵接所述第一电性接点的预力；所述探针针压监测方法包含有以下步骤 a)在一预定的预力下，使所述探针在接触一力量量测器的一量测面后，沿一垂直所述量测面的方向进给以压抵所述力量量测器，且进给的动作至少持续到所述摆臂相对所述架体摆动使所述第二电性接点脱离所述第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为参考临界点； b)利用所述参考临界点之前，各个探针进给位移量所对应的所述力量量测器所量得的探针承受力量的数据，计算出所述探针的位移-力量特性方程式如下 F = IqX+ko,其中 F为探针所承受的力量，ki为斜率，X为位移量，k0为一常数； c)在探针进行点测作业之后，使探针接触一量测件的一量测面，而后，使所述量测件沿垂直其量测面的方向进给以压抵所述探针，且进给的动作至少持续到所述第二电性接点离开所述第一电性接点的临界点出现，此临界点定义为监测临界点； d)将所述监测临界点的位移量代入步骤b)所示的方程式中，以取得所述探针在所述监测临界点时所承受的力量。
12.如权利要求11所述的探针针压监测方法，其特征在于步骤c)中的量测件为一可导电块，且在步骤c)中为通过所述探针与所述可导电块是否电性导通来判定所述量测件是否与所述探针接触。
13.如权利要求12所述的探针针压监测方法，其特征在于所述可导电块固设于一能沿垂直所述量测件的量测面方向位移的运动平台上。
14.如权利要求11所述的探针针压监测方法，其特征在于步骤c)中的量测件为一位于一待测晶圆上的导电接点。
全文摘要
本发明涉及一种探针针压监测方法，用于监测一设置于一寻边器的探针的针压，该监测方法先利用电子磅秤建立探针受压时的位移-力量数据，并在监测探针针压时，利用一可垂直位移的量测件压抵该探针，直到该寻边器的电性接点跳脱的临界点出现，由此，利用该临界点所对应的位移量以及前述建立的位移-力量数据，即可得出该探针于该临界点时的受力，即该探针实际进行点测作业时的针压。
文档编号G01L1/00GK102721487SQ20111007984
公开日2012年10月10日 申请日期2011年3月31日 优先权日2011年3月31日
发明者刘永钦, 徐育埙, 洪嘉宏, 范维如 申请人:旺矽科技股份有限公司