专利名称：基于Etalon的激光波长/频率的测量方法、波长计及使用方法
技术领域：
本发明涉及激光波长的测量技术领域，具体为一种基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法、波长计及使用方法。
背景技术：
随着光纤通信和精密计量等领域的高速发展，激光波长(频率)作为一种重要的参数，其测量技术的研究得到广泛关注。快速、精确地测量激光波长(频率)是决定相关领域发展进度的重要因素之一。现有的光波长的测量技术和波长计扫描速度、测量精度都难以满足要求，且难以 用于测量大功率范围内的激光波长。波长计测量速度慢、结构复杂、体型大、成本高，妨碍其在通信等行业的应用。Etalon是一种光学仪器，具有两个平行的反射表面，由于光束在两表面多次反射而形成光干涉，这种干涉产生的光传输效率(T)是光的波长/频率的周期函数，可用艾里函数来表示，如式I和式2所示。
_5] T=l + F^\5,2VF = J^f(1)
0 Ajml Cos^,、8 =- (2)
A式中R = r2, r为振幅反射系数，并且n为折射率，I为Etalon反射面间距，即两表面的间距，\为入射的激光波长，Q为入射角度。传输函数式(I)是周期函数，波峰与波峰间的频率间隔为Av = ~-(3)
Inl cos汐此值被定义为自由频谱范围，为了能更形象表明周期性，以下统称为频率周期。通过测量传输效率T，可以使用函数(I)和(2)计算激光光束的波长\，但是此公式是周期函数，也就是说，同一传输效率对应多个波长/频率，此时若没有其他判定条件将无法确认它的实际输入的激光波长。故难以采用测量Etalon传输效率的方法直接测定输入激光的波长。
发明内容
本发明的目的是公开一种基于Etalon的激光波长/频率的测量方法。本发明的另一目的是设计根据本发明测量方法设计的基于Etalon的波长计及使用方法。本发明设计的基于Etalon的激光波长/频率的测量方法为选用具有两个平行的反射表面的Etalon，其主要参数为振幅反射系数r、折射率n、表面间距I和入射角度0，振幅反射系数r保持不变，n、I和0中的I个或2个参数保持固定、而改变另外2个或I个参数，得到具有N种不同的参数组的Etalon, N为4 6的整数,在测量频率范围内，使用标准可调谐激光器扫描上述N种参数组的Etalon，测定不同频率激光在不同的参数组Etalon上的传输效率，得到N条不同传输效率的频率响应曲线，同时建立相应的传输效率数据校准表，再用上述的N种参数组的Etalon测定输入的待测激光的传输效率，得到待测激光的N组传输效率数据值，通过与上述传输效率数据校准表的对比，即可计算得到相应的待测激光的波长。所述激光为连续或脉冲激光。对于空气间隙的Etalon，可固定折射率n和入射角度0，改变其表面间距I。对于气体/液体填充腔体的Etalon，可以固定其表面间距I为某个特定值，通过热、压力或者电子技术控制Etalon的折射率n为不同值。 对于固体etalon，具有固定的折射率n和表面间距1，输入激光的入射角度0可以采用机械装置或电子装置动态调整。本方法对传输效率的测量精度至少达到0. 0005。因为Etalon的传输效率对激光的频率/波长具有周期性，所以本方法的关键是分辨出某个传输效率值对应的是哪个周期的频率。单个Etalon的周期性是存在的，而N种不同状态的Etalon，频率周期不同，那么它们组成的系统基本避免了传输效率数组存在周期性的问题，从而满足了每组传输效率数值唯一对应一个波长的条件。基于Etalon的激光波长/频率的测量方法的具体步骤如下I、确定Etalon测定系统选用N种不同参数组的Etalon，所述参数组中振幅反射系数r保持不变，折射率n、表面间距I和入射角度0中的I个或2个参数保持固定、另外2个或I个参数改变。选取用一个或几个Etalon，控制折射率n、表面间距I和入射角度0中的I个或2个参数保持固定、改变另外2个或I个参数得到N种不同参数组状态的Etalon ；或者取用N个Etalon，振幅反射系数r相同，而折射率n、表面间距I和入射角度0中的I个或2个参数相同、另外2个或I个参数取不同的值，构成不同参数组的N种Etalon。要使N种不同状态的Etalon组成的测定系统所对应的每个波长的传输效率数值组是唯一的，即要使得在频率f+P* A Vmin(f是测频范围内第一个周期内的各频率值，P = 0，1,2,……P_，P_根据测量范围的上限而定；AVnlin是N种频率周期中的最小值)间的各传输效率具有可分辨的差异性，N种参数状态的Etalon中总有I个或2个的传输效率数值对该范围内的某个频率具有较高的分辨能力，从而据此准确地计算所测波长。传输效率曲线在波峰波谷附近数值变化较不明显，此处的频率难以区分。利用不同状态的Etalon的不同传输效率曲线对分辨能力进行互补。那么，必须保证N种不同Etalon状态中每种状态的Etalon在它分辨能力差时有另外一种状态的Etalon可以对其进行补偿。频率周期相近的两条传输效率曲线作为相互补偿的主要组合，以步长Af 扫描得到的N种不同状态Etalon的N条传输效率曲线，相互补偿的两条传输效率曲线相邻的波峰间距为其中一条传输效率曲线频率周期的20% 30%，以达到分辨能力互补的效果，24% 26%为最佳。在四种Etalon状态的情况下，分成两组，同组中两种状态的Etalon的两条传输效率曲线相邻的波峰间距为其中一条传输效率曲线频率周期的20% 30%，分辨能力进行互补。II、建立传输效率的频率响应曲线并生成传输效率数据校准表采用标准可调谐激光器在整个测试频率范围内、以一定的步长Af扫描步骤I中的测定系统，从而获得N种不同状态的Etalon不同频率激光的传输效率，并据此生成整个测试频率范围内的对应不同参数组A:、A2、……An的传输效率数据校准表。根据测量精度选择扫描步长Af ，其取值为0. 2GHz ( A f 彡IGHz，步长越小，精度越闻。III、测量某个连续或脉冲激光输入上述Etalon测定系统，精确测量该连续或脉冲激光的N个传输效率数值A1'A2'……AN’，测量精度至少达到0.0005 ；
IV、精确确定所测激光的波长将步骤III所测得的传输效率数值组与步骤II的传输效率数据校准表对应数据进行比较，即可以计算所测激光波长。此步主要细分为以下3个步骤IV-i、将步骤III所测得的传输效率数值组中对应某个Etalon的值与传输效率数据校准表对应同一状态Etalon的传输数据进行比较，在一定的误差范围内得到多个频率值。误差范围由测试精度和相邻频率最大传输效率差值AA决定，本方法的误差范围为 ±0. 0005。IV-ii、将步骤IV-i得到的各频率值对应的另一状态Etalon的校准表数据与该状态Etalon的测量数据进行比较，保留二者差值为±0. 0005对应的频率值，即将步骤IV_i得到的频率值数量降低。IV-iii、将步骤IV-ii得到的各频率值对应的其它状态Etalon的校准表数据分别与对应的测量数据进行比较，由于各频率传输效率组的差异性和唯一性，得到最接近的频率值，再用插值法计算得到准确的频率值。插值法在传输效率测量精度低的情况下可以明显提高频率的测量精度。根据上述本发明的测量方法设计的基于Etalon的波长计包括光路部分、电路和计算机，光路部分包括分光计、准直器以及N个不同状态的Etalon，各Etalon的振幅反射系数r相同，折射率n、表面间距I和入射角度0中的2个参数相同、而另外I个参数选择N个不同的值，构成N种不同状态的Etalon。使得各Etalon的传输效率的频率响应曲线互不相同，即由不同的波长/频率的入射激光得到N组不同的传输效率，从而测量待测激光的传输效率值后，通过查对传输效率数据校准表可以唯一确定一个正确的波长/频率。输入的连续或脉冲激光接入分光计，分为多路光束，N路光束分别经各准直器后进入各Etalon，各Etalon的输出光路上各有光电二极管。另一路光束为参考光，直接进入与之对应的光电二极管，光电二极管连接放大采集电路，放大采集电路连接计算机，计算机接有显示屏。上述基于Etalon的波长计的使用方法如下光电二极管将接收的光信号转换为电信号经放大采集电路送入计算机。计算机计算Etalon的传输效率并存储传输效率数据校准表。放大采集电路实现数据采集及电信号的放大，为计算机处理提供信号。计算机控制波长计的运行、处理数据和显示测量结果。计算机将待测激光所得的各电信号转换为各Etalon的传输效率，与存储数据比较计算，即得到输入的连续或脉冲激光的波长值，同时将其送到显示屏直接显示。通过Etalon的各光束的光电二极管的电信号电压值与参考光的光电二极管的电信号电压值的比值为光束通过各Etalon的传输效率值。波长计装配完成后，采用标准可调谐激光器在测试范围内，以步长Af进行扫描，0. 2GHz ^ Af ^ 1GHz，测量不同频率激光的不同状态的Etalon的传输效率，得到N组传输效率值，从而生成整个测试频率范围内的对应不同状态的Etalon的传输效率数据校准表，并存储于计算机内。上述基于Etalon的波长计，也可只采用一个或几个Etalon装配参数调节件,使该Etalon的折射率n、表面间距I和入射角度0中的2个参数保持恒定，调整参数调节件使另外I个参数选择N个不同的值，得到N种不同状态的Etalon。本发明基于Etalon的连续或脉冲激光的波长/频率的测量方法的优点为可以 实现高精度、高速地测量C+L波段的激光波长，测量速度高达IOOKHz ;精度高，可实现优于0. 5GHz的精度，根据本法可制作结构简单、成本低且精度高的波长计。本发明基于Etalon的波长计及使用方法的优点为1、性能优越，精度高，适用于光器件的研发、生产以及通信领域；2、与现有光波长计相比，保证高精度和高分辨率的同时，扫描速度更有非常大的提高；3、体型小、结构简单、且成本相对较低，具有较高的性价比。
图I为Etalon模型示意图；图2为本基于Etalon的连续或脉冲激光的波长/频率的测量方法实施例I中4种不同反射表面间距的Etalon传输效率与频率间的关系曲线图；图3为由图2得到的4种不同反射表面间距的Etalon在频率起点为191245GHz，增量为50GHz时传输效率与频率间的关系曲线图；图4为本基于Etalon的连续或脉冲激光的波长/频率的测量方法实施例2中4种不同反射表面间距/折射率的Etalon传输效率与频率间的关系曲线图；图5为由图4得到的4种不同反射表面间距/折射率的Etalon在频率起点为191231GHz，增量为50GHz时传输效率与频率间的关系曲线图；图6为本基于Etalon的波长计实施例的结构示意图；图7为本基于Etalon的波长计实施例中4个入射角度不同的Etalon传输效率与频率间的关系曲线图；图8为本基于Etalon的波长计实施例中4个入射角度不同的Etalon在起点频率为186310GHz，频率增量为50GHz时传输效率与频率间的关系曲线图。
具体实施例方式本基于Etalon的连续或脉冲激光的波长/频率的测量方法实施例I本方法的具体步骤如下I、确定Etalon测定系统
具有两个平行的反射表面的Etalon的结构模型如图I所示，图中r为振幅反射系数，n为折射率、I为反射表面间距、0为入射角度。本例选空气腔体的Etalon, n = I, 0 = 0, F = 4,取 I1 = 3mm、I2 = 3. 01mm、I3 =3. 015mm、I4 = 3. 016mmo本例测频范围为191200GHz 197000GHz，在此范围内标准可调谐激光器以步长IGHz扫描，测量不同频率激光对应不同的表面间距的Etalon传输效率，得到4条传输效率的频率响应曲线，如图2所示，图中横坐标为频率，单位GHz，纵坐标为传输效率。图2的传输效率曲线 Ai、A2、A3、A4 的频率周期分别为 50GHz、49. 834GHz、49. 751GHz、以及 49. 735GHz。将A1和A2作为一组，A3和A4作为另一组。传输效率曲线K、A2相邻波峰的间距为12GHz，为A1频率周期的24% ;传输效率曲线A3、A4的相邻波峰的间距为14GHz，为A3频率周期的28%。II、建立传输效率的频率响应曲线并生成传输效率数据校准表 根据步骤I中得到的扫描数据，生成步长为IGHz的4个不同Etalon的传输效率数据校准表，其中部分数据如表I所示。同时，以191245GHz为起点、50GHz为频率增量绘制整个测试频率范围内ApA2、A3、A4的传输效率的频率响应曲线，如图3所示。表I实施例I的4种Etalon部分传输效率数据校准表(步长=IGHz)
输入光的频率GHz AlA2A3A4
1912001.0000 0.3287 0.6485 0.2184
1912010.9845 0.3584 0.5793 0.2119
1912020.9409 0.3934 0.5180 0.2068
1912030.8768 0.4347 0.4647 0.2032
1912040.8017 0.4830 0.4190 0.2010
1912050.7236 0.5390 0.3800 0.2000
1912060.6485 0.6031 0.3470 0.2004
1912070.5797 0.6747 0.3190 0.2020
1912080.5186 0.7516 0.2955 0.2049
1912090.4655 0.8297 0.2756 0.2093
1912100.4198 0.9021 0.2589 0.2151
1912110.3809 0.9599 0.2449 0.2226
1912120.3479 0.9938 0.2333 0.2318
1912130.3199 0.9978 0.2238 0.2431
1912140.2963 0.9709 0.2161 0.2567
1912150.2764 0.9182 0.2100 0.2730
1912160.2596 0.8486 0.2055 0.2924
1912170.2456 0.7712 0.2023 0.3155
1912180.2339 0.6935 0.2005 0.3428
1912190.2243 0.6203 0.2000 0.3751
1912200.2165 0.5543 0.2008 0.4132
1912210.21040.49620.20280.4579
1912220.20580.44600.20620.5101
1912230.20250.40310.21100.5704
1912240.20060.36660.21740.6385
1912250.20000.33570.22540.7133
1912260.20060.30950.23530.7911
1912270.20250.28750.24740.8680
1912280.20580.26890.26180.9343 1912290.21040.25330.27910.9809
1912300.21650.24030.29960.9998
1912310.22430.22950.32400.9874
1912320.23390.22070.35280.9461
1912330.24560.21360.38690.8833
1912340.25960.20820.42710.8083
1912350.27640.20420.47420.7298
1912360.29630.20150.52900.6539
1912370.31990.20020.59180.5842
1912380.34790.20010.66230.5222
1912390.38090.20140.73870.4684
1912400.41980.20390.81720.4221
1912410.46550.20780.89120.3826
1912420.51860.21310.95200.3492
1912430.57970.22000.99040.3209
1912440.64850.22870.99920.2970
1912450.72360.23930.97690.2769
1912460.80170.25210.92760.2600
1912470.87690.26750.85980.2458
1912480.94090.28580.78290.2340
1912490.98450.30760.70480.2244
1912501.00000.33330.63060.2165图3可划分成四个区域①、在频率范围191200 192200GHz，曲线Al、A2和A4较平坦，即随频率增加传输效率变化较小，而A3在此范围内传输效率的变化较大，故可依靠A3分辨正确的频率值、在范围192200 194200GHz，Al和A4较平坦，而A2、A3的变化较大，可依靠A2、A3分辨、在范围194200 196200GHz，Al和A3较平坦，而A2、A4的变化较大，可依靠A2、A4分辨；；@、在范围196200 197000GHz，A4变化较大，可用以分辨不同频率。虽然在图3中曲线Al在191245+P*50GHz范围内分辨能力差，但是对于分辨其他频率仍是有用的。4条曲线是平等的，对于某些频率段，其中一两条分辨能力较差，相应地另外的曲线分辨能力较高，即不同传输效率曲线的分辨能力互补。III、测量某个连续激光输入步骤I中的Etalon系统，精确测量该连续激光(实际频率为191245GHz)的传输效率，得到 A’ i = 0. 7235，A’ 2 = 0. 2394，A’ 3 = 0. 9772，A’ 4 = 0. 2770 ；IV、精确确定所测激光的波长IV-i、将步骤III所测得的A’ = 0. 7235与步骤II的相应数据A1比较，在 ±0.0005 误差范围内，得到多个为 191205+P 祁 OGHz 和 191245+P*50GHz (P = 0，1，
2......Pmax，根据测量范围上限197000GHz，Pmax = 115)的频率。IV-ii、将步骤IV-i得到的各频率值对应的A2的校准表数据与测量数据A’ 2 =0. 2394进行比较，保留传输效率满足误差范围±0. 0005对应的频率值，即将步骤IV-i得到的频率值数量降低。IV-iii、将步骤IV-ii得到的各频率值对应的A3和A4的校准表数据分别与对应的测量数据A’ 3 = 0. 9772，A’ 4 = 0. 2770进行比较，确定P = 0，从而可以唯一确定最相近的频率值为191245GHz，再用插值计算可得频率值仍为191245GHz ;根据波长\、频率f和光速c的关系入f = c = 3 X IO8 米 / 秒得到本次所测激光波长为1568. 668nm。本基于Etalon的连续或脉冲激光的波长/频率的测量方法实施例2本方法的具体步骤如下
I、确定Etalon测量系统具有两个平行的反射表面的Etalon的结构模型如图I所示，图中r为振幅反射系数，n为折射率、I为反射表面间距、0为入射角度。本例中F = 2，采用保持入射角不变0 = 0，控制改变Etalon的折射率n和表面间距1，得到4种不同的Etalon,参数取值分别如下= I, I1 = 3mm ；n2 = I. 013, I2 =
2.97mm ；n3 = I. 01，I3 = 2. 96mm ;n4 = I. 05，I4 = 2. 85mm。本例测频范围为191200GHz 197000GHz，在整个测试范围内，标准可调谐激光器以步长0. 5GHz扫描测量不同频率对应不同参数状态的Etalon传输效率，得到4条传输效率的频率响应曲线，如图4所示，图中横坐标为频率，单位GHz，纵坐标为传输效率。图4的传输效率曲线 Ai、A2、A3、A4 的频率周期分别为 50GHz、49. 841GHz、50. 174GHz、以及 50. 125GHz。将八:和^作为一组，A3和A4作为另一组。传输效率曲线ApA2的相邻波峰的间距为12GHz，为A1频率周期的24% ;传输效率曲线A3、A4的相邻波峰的间距为15GHz，为A3频率周期的30%。II、建立传输效率的频率响应曲线并生成传输效率数据校准表根据步骤I中得到的扫描数据，生成步长为0. 5GHz的4个不同Etalon的传输效率数据校准表，其中部分数据如表2所示。同时，以191231GHz为起点、50GHz为频率增量绘制整个测试频率范围内ApA2、A3、A4的传输效率的频率响应曲线，如图5所示。表2实施例2的4种Etalon部分传输效率数据校准表(步长=0. 5GHz)
权利要求
1.基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，选用具有两个平行的反射表面的Etalon，其主要参数为振幅反射系数r、折射率n、厚度I和入射角度9，其特征在于 所述Etalon参数振幅反射系数r保持不变，n、I和0中的I个或2个参数保持固定、而改变另外2个或I个参数，得到具有N种不同的参数组的Etalon，N为4 6的整数，在测量频率范围内，使用标准可调谐激光器以一定步长Af 扫描上述N种Etalon，测量不同频率激光在不同的参数组Etalon上的传输效率，得到N条不同传输效率的频率响应曲线，同时建立相应的传输效率数据校准表，再用上述的N种参数组的Etalon测定待测的输入激光的传输效率，得到待测激光的N组传输效率数据值，通过与上述传输效率数据校准表的对t匕，计算得到相应的待测输入激光的波长。
2.根据权利要求I所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于具体步骤如下 I、确定Etalon测定系统 选用N种不同参数组的Etalon，所述参数组中振幅反射系数r保持不变，折射率n、表面间距I和入射角度0中的I个或2个参数保持固定、另外2个或I个参数改变； II、建立传输效率的频率响应曲线并生成传输效率数据校准表 采用步骤I中的测定系统，在整个测试频率范围内、使用标准可调谐激光器以步长Af进行扫描，0.2GHz彡Af彡1GHz，获得N种不同状态的Etalon不同频率激光的传输效率，并据此生成整个测试频率范围内的对应不同参数组的传输效率数据校准表； III、测量 某个连续或脉冲激光输入上述Etalon测定系统，精确测量该连续或脉冲激光的N个传输效率数据，测量精度至少达到0. 0005 ； IV、精确确定所测激光的波长 将步骤III所测得的传输效率数据与步骤II的传输效率数据校准表对应数据进行比较，即可以计算所测激光波长。
3.根据权利要求2所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于 所述步骤I中取用一个或几个Etalon，控制折射率n、表面间距I和入射角度0中的I个或2个参数保持固定、改变另外2个或I个参数得到N种不同参数组状态的Etalon ； 或者，所述步骤I中取用N个Etalon，振幅反射系数r相同，而折射率n、表面间距I和入射角度9中的I个或2个参数相同、另外2个或I个参数取不同的值，构成不同参数组的 N 种 Etalon。
4.根据权利要求I至3中任一项所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于 所述Etalon参数的改变对于空气间隙的Etalon，固定折射率n和入射角度0，改变其表面间距I ; 和/或对于气体/液体填充腔体的Etalon,固定其表面间距I为某个特定值，通过热、压力或者电子技术控制Etalon的折射率n为不同值； 和/或对于固体etalon，具有固定的折射率n和表面间距1，机械装置或电子装置动态调整输入激光的入射角度9。
5.根据权利要求I至3中任一项所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于 所述使用标准可调谐激光器以△ f步长扫描N种不同状态Etalon所得到的N条传输效率曲线中频率周期相近的两条传输效率曲线作为相互补偿的主要组合，相互补偿的两条传输效率曲线相邻的波峰间距为其中一条传输效率曲线频率周期的20% 30%。
6.根据权利要求5所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于 所述相互补偿的两条传输效率曲线相邻波峰的间距为其中一条传输效率曲线频率周期的24% 26%。
7.根据权利要求2中所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于 其中步骤IV具体细分为如下步骤 IV-i、将步骤III所测得的传输效率数值组中对应某个Etalon的值与传输效率数据校准表对应同一状态Etalon的传输数据进行比较，在传输效率差值满足一定误差范围时得到多个频率值； IV-ii、将步骤IV-i得到的各频率值对应的另一状态Etalon的校准表数据与该状态Etalon的测量数据进行比较，保留传输效率满足误差范围对应的频率值； IV-iii、将步骤IV-ii得到的各频率值对应的其它状态Etalon的校准表数据分别与对应的测量数据进行比较，得到最接近的频率值，再用插值法计算得到准确的频率值。
8.根据权利要求7中所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法，其特征在于 所述误差范围为±0. 0005。
9.根据权利要求I所述的基于Etalon的激光的波长/频率的测量方法设计的基于Etalon的波长计,其特征在于 包括光路部分、电路和计算机，光路部分包括分光计、准直器以及N个不同状态的Etalon,各Etalon的振幅反射系数r相同，N个Etalon的折射率n、表面间距I和入射角度9中的2个参数相同、而另外I个参数选择N个不同的值，构成N种不同状态的Etalon ;输入的连续或脉冲激光接入分光计，分为多路光束，N路光束分别经各准直器后进入各Etalon，各Etalon的输出光路上各有光电二极管；另一路光束为参考光，直接进入与之对应的光电二极管，光电二极管连接放大采集电路，放大采集电路连接计算机，计算机接有显示屏。
10.根据权利要求9所述的基于Etalon的波长计的使用方法，其特征在于 所述光电二极管将接收的光信号转换为电信号经放大采集电路送入计算机，计算机计算Etalon的传输效率并存储传输效率数据校准表，放大采集电路实现数据采集及电信号的放大，为计算机处理提供信号；计算机控制波长计的运行、处理数据和显示测量结果；计算机将待测激光所得的各电信号转换为各Etalon的传输效率，与存储数据比较计算，得到输入的连续或脉冲激光的波长值； 通过Etalon的各光束的光电二极管的电信号电压值与参考光的光电二极管的电信号电压值的比值为光束通过各Etalon的传输效率值； 波长计装配完成后，在测试范围内，使用标准可调谐激光器以步长Af 进行扫描，·0.2GHz彡A f彡1GHz，测量不同频率激光的不同状态的Etalon的传输效率，从而生成整个测试频率范围内的对应不同状态的Etalon的传输效率数据校准表，并存储于计算机内。
全文摘要
本发明为基于Etalon的激光波长/频率的测量方法、波长计及使用方法。本测量方法为Etalon折射率n、表面间距l和入射角度θ中的1个或2个参数固定、改变另外2个或1个参数，得到N种不同的Etalon，使用标准激光器扫描得到N组不同传输效率数据，并以此建立校准表。测定待测激光对应N种Etalon的传输效率值，与数据校准表进行比较，计算得到待测激光波长。本波长计将输入激光进行分光，N路光束准直后各经N种Etalon进入PD，参考光直接进入PD，各PD再接入计算机。其使用方法为，装配后使用标准激光器扫描生成传输效率数据校准表并存储，计算机比较计算待测激光传输效率后直接显示结果。本发明可以实现高精度、高速测量C+L波段激光波长，其波长计结构简单、成本低。
文档编号G01J9/00GK102778298SQ20111012107
公开日2012年11月14日 申请日期2011年5月11日 优先权日2011年5月11日
发明者李严, 赵克 申请人:桂林优西科学仪器有限责任公司