专利名称：管形溅镀靶材检测机构的制作方法
技术领域：
本发明是关于一溅镀靶材检测机构，尤指一种专用于旋转式管形溅镀靶材的检测机构。
背景技术：
在半导体元件等产品的制程中，为使基材表面形成一特定材料的膜层，经常藉由溅镀装置产生离子化的气体(电浆)冲击溅镀靶材，使溅镀靶材释放出特定的粒子附着于基材表面上而形成所期望的膜层。为避免溅镀靶材中的缺陷影响溅镀制程的品质，所述溅镀靶材通常须预先利用溅镀靶材检测机构进行溅镀靶材内部缺陷检测、焊合缺陷检测等检测，从中筛选出不良的溅镀靶材。由于溅镀靶材包含有平面形靶材、圆管形靶材或异形靶材等多种形式，基于各形式靶材的形状差异，溅镀靶材检测机构各设计有专用的机构来进行检测的用途。目前溅镀靶材非破坏性检测技术中，超声波检测机构是目前被广泛使用的一种。由于超声波检测机构必须使用水等作超声波的耦合液，于管形溅镀靶材进行超声波检测时，皆是将管形溅镀靶材放入水槽中浸水再进行超声波检测。但是圆管形溅镀靶材经过此浸水式超声波检测后，该圆管形溅镀靶材因完全浸水必须再经过烘干的步骤，故因制程步骤多，而致管形溅镀靶材的检测作业费时费工。而且此浸水式的超声波检测机构因将溅镀靶材直接浸入水中，对于不能浸水的溅镀靶材即无法适用的问题。此外，现有超声波检测机构设计中，已知有日本公开昭62-198755号的细管内超声波探伤装置，此细管内超声波探伤装置应用于加压水型原子炉的蒸气发生器传热细管的非破坏性检测用途，该细管内超声波探伤装置是以一由驱动机构带动的超声波检测器于蒸气发生器传热细管等细管内部移动及旋转，并于细管内部完全灌入水作为耦合液，使超声波检测器以超声波检测手段对细管管壁是否有裂痕进行检测。前述细管内超声波探伤装置是为加压水型原子炉的蒸气发生器传热细管的非破坏性检测而设计，且该细管内超声波探伤装置是使用驱动机构带动的超声波检测器于细管内部移动及旋转，此装置构造复杂，并须于细管内部完全灌入水作为超声波检测的耦合液，不适用于管形溅镀靶材的检测作业。
发明内容
本发明解决的技术问题是提供一种，解决现有浸水式超声波检测机构须将管形溅镀靶材浸水进行检测，于检测后将管形溅镀靶材再予以烘干，无法适用于不能浸水的溅镀靶材的问题。本发明的技术解决方案是:提供一种管形溅镀靶材检测机构，其包含:一载具，其包含一基座以及二具有开口端的防水套管，二所述防水套管是以其开口端相对的设置于基座上，用以相对夹持管形溅镀靶材的内衬管，二所述防水套管中的至少一防水套管设有一注液口与一排液口，所述注液口高于排液口，使耦合液能够经由所述注液口注入该管形溅镀靶材的内衬管内部的下段达预定液位高度，于超声波检测后，耦合液自所述排液口排出；一靶材旋转驱动装置，设置于基座上，用以驱动被夹持定位于二所述防水套管之间的管形溅镀靶材旋转，所述靶材旋转驱动装置包含一支以上的驱动轴以及一带动所述驱动轴旋转的驱动组件，以所述驱动轴抵接管形溅镀靶材；一检测车，其包含一车体、多个枢设于车体上的车轮以及一装设于车体底部的超声波检测器，所述检测车能够被驱动自所述防水套管内部与管形溅镀靶材的内衬管内部之间来回移动，所述超声波检测器并能伸入管形溅镀靶材的内衬管内部下段的耦合液中；以及一检测车驱动装置，设于基座上，用以驱动所述检测车于防水套管内部与管形溅镀靶材内部之间移动。所述管形溅镀靶材检测机构中，所述基座上设置一靶材托架，靶材托架用以支撑管形溅镀靶材。所述管形溅镀靶材检测机构中，二所述防水套管中的一防水套管定点组设于基座的靶材定位区，余一防水套管结合一套管驱动组件可活动的组设于基座上。所述管形溅镀靶材检测机构中，所述靶材旋转驱动装置具有二驱动轴，该二驱动轴平行枢设于基座上，用以提供管形溅镀靶材抵靠其上而能带动管形溅镀靶材旋转。所述管形溅镀靶材检测机构中，所述检测车驱动装置包含一驱动组、一移动构件以及一磁吸组件，所述驱动组设于基座上，驱动组包含有一动作部，移动构件设于动作部上,磁吸组件包含一磁吸构件以及一可被磁吸的被磁吸构件,磁吸构件与被磁吸构件分别组设于移动构件与检测车底部，使移动构件与检测车之间藉由磁力牵引作用而能连动。本发明可达成的有益效果是:所述管形溅镀靶材检测机构采取经由防水套管对管形溅镀靶材的内衬管内部下段注入少量的水等耦合液，另驱动检测车于内衬管内部移动，检测车底部超声波检测器伸入耦合液进行检测，如此使管形溅镀靶材于内衬管外周面的靶材于检测过程中完全不与水接触，故能有效避免管形溅镀靶材的内衬管外周面的靶材接触水而导致氧化的问题，对于无法浸水的靶材特别适用。其次，本发明于实施过程中，仅特定部位注入少量的水等耦合液，并于检测后立即排出，使靶材不接触水而能省略管形溅镀靶材烘干的步骤，提高管形溅镀靶材的检测作业效率。
图1是本发明管形溅镀靶材检测机构的一较佳实施例于固定管形溅镀靶材前的俯视平面不意图；图2是图1所示管形溅镀靶材检测机构较佳实施例的前侧视平面示意图；图3是图1所示管形溅镀靶材检测机构较佳实施例的左侧视平面示意图；图4是图1所示管形溅镀靶材检测机构较佳实施例的左侧视平面示意图；图5是图1所示管形溅镀靶材检测机构较佳实施例于夹持固定管形溅镀靶材后的俯视平面不意图；图6是图1所示管形溅镀靶材检测机构较佳实施例中的检测车被驱动自防水套管进入管形溅镀靶材进行检测前视平面示意图；图7是图1所示管形溅镀靶材检测机构较佳实施例于旋转管形溅镀靶材的实施状态示意图。主要元件标号说明:1载具 10基座101靶材定位区11防水套管 111注液口112排液口12靶材托架 13滑轨14滑块15套管驱动组件 2靶材旋转驱动装置20驱动轴21驱动组件 3检测车30车体31车轮 32超声波检测器4检测车驱动装置40驱动组 401动作部41移动构件42磁吸组件 421磁吸构件422被磁吸构件5管形溅镀靶材 50靶材51内衬管6 水
具体实施例方式以下配合图式及本发明的较佳实施例，进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段。如图1至图4所示，是揭示本发明管形溅镀靶材检测机构的一较佳实施例，由该较佳实施例中可以见及本发明的管形溅镀靶材检测机构主要是包含一载具1、一靶材旋转驱动装置2、一检测车3以及一检测车驱动装置4，其中:所述载具I包含一基座10以及二防水套管11，所述基座10上定义有一靶材定位区101，基座10于靶材定位区101还可设置靶材托架12，靶材托架12用以支撑管形溅镀靶材5，并使管形溅镀靶材5可于靶材托架12上旋转。防水套管11的一端为闭合端，防水套管11的另一端为开口端，二所述防水套管11的任一或二设置一注液口 111与一排液口 112，注液口 111在上，排液口 112在下，注液口111与排液口 112皆连通防水套管11内部空间，二所述防水套管11是设置于基座上，且二所述防水套管11的开口端相对夹持管形溅镀靶材5，防水套管11内部空间能与管形溅镀靶材5内部空间连通，注液口 111用以外接可开关的注液管，排液口 112用以外接可开关的排液管。二所述防水套管11皆可活动地设置于基座10的靶材定位区101，或者，所述防水套管11中的任一防水套管11定点组设于基座10的靶材定位区101，另一防水套管11则可活动地设置于基座10的靶材定位区101上。前述中，可活动的防水套管11可结合手动调整构造设置于基座10上，使防水套管11能够手动调整其位置，如基座10上设置平行于靶材定位区101轴向的滑轨13，防水套管11侧边设置滑块14，滑块14抵接于滑轨13上，使防水套管11可于基座10上位移，另可利用固定构件加以固定；或者，防水套管11可结合一套管驱动组件15组设于基座10，所述套管驱动组件15可为马达结合螺杆、马达结合齿轮与齿条，或如图1所示的气压缸等驱动构件的设计，藉由驱动组件21带动可活动的防水套管11于基座10上位移，进而使二防水套管11能够相对夹持管形溅镀靶材5，使管形溅镀靶材5可于该二防水套管11之间旋转，以及释放管形溅镀靶材5。所述靶材旋转驱动装置2是设置于基座10上，用以驱动被夹持定位于二所述防水套管11间的管形溅镀靶材5旋转，所述靶材旋转驱动装置2包含一支以上的驱动轴20以及一带动驱动轴20旋转的驱动组件21,驱动组件21包含有一马达以及一轮系传动组,轮系传动组连接于驱动轴与马达的心轴，使马达可经由轮系传动组带动驱动轴20旋转，于本较佳实施例中，如图1至图3所示，所述靶材旋转驱动装置2具有二支驱动轴20平行枢设于基座10的靶材定位区101，以二驱动轴20提供管形溅镀靶材5抵靠其上，用以带动管形溅镀靶材5旋转。所述检测车3是可自防水套管11内部与管形溅镀靶材5内部之间来回移动的检测装置，所述检测车3包含一车体30、多个车轮31与一超声波检测器32，多个车轮31枢设于车体30上，并抵靠于管形溅镀靶材5的内衬管51内壁面，所述超声波检测器32是设于车体30底部，并以超声波检测手段对管形溅镀靶材5进行非破坏性检测。所述检测车驱动装置4是用以驱动检测车3于防水套管11内部与管形溅镀靶材5内部之间移动的驱动机构，如图2及图6所示，于本较佳实施例中，所述检测车驱动装置4为一磁吸式驱动装置，所述检测车驱动装置4包含一驱动组40、一移动构件41以及一磁吸组件42，所述驱动组40可为马达结合螺杆、马达结合齿轮与齿条或其他等效的驱动机构，驱动组40设于基座上，驱动组40包含有一动作部401，移动构件41设于动作部401上，磁吸组件42包含一磁吸构件421以及一可为导磁性或具有磁性的被磁吸构件422，自磁吸构件421与被磁吸构件422 二者中择一组设于移动构件上，另一个则组设于检测车3底部，如磁吸构件421设于移动构件41上，被磁吸构件422则设于检测车3底部，反之亦可，如此，使移动构件41与检测车3之间藉由磁力牵引作用而能连动，当驱动组40带动移动构件位移的同时，即能利用移动构件41上的磁吸构件421自管形溅镀靶材5外部磁吸管形溅镀靶材5内部的检测车3底部的被磁吸构件422，使检测车3能随同移动构件41 一起位移。当该管形溅镀靶材检测机构应用于管形溅镀靶材5进行超声波检测时，如图1及图2所示，是令管形溅镀靶材5安装于二防水套管11之间，如图5所示，管形溅镀靶材5抵接靶材旋转驱动装置2的驱动轴20而能被驱动旋转，其次自防水套管11的注液口 111注入预定量的水6等耦合液，使水6进入管形溅镀靶材5的内衬管51内部下段处，使管形溅镀靶材5的内衬管51内部的液位高度恰使检测车3的超声波检测器32足以伸入水6中，以水6作为超声波检测用的耦合液，如图6所示，接续以检测车驱动装置4驱动检测车3自防水套管11中移动进入管形溅镀靶材5的内衬管51内部，并于管形溅镀靶材5移动的过程中，由检测车3底部的超声波检测器32通过水6经由内衬管51对其外周面的靶材50进行超声波检测，以判断管形溅镀靶材5是否有缺陷，如图7所示，并搭配靶材旋转驱动装置2带动管形溅镀靶材5依序旋转一角度，使检测车3底部的超声波检测器32得以完全对管形溅镀靶材5的内衬管51外周面的靶材50进行全面超声波检测。于此超声波检测过程中，可令内衬管51外周面的靶材50不与水接触，使其可以适用于检测无法浸水的靶材。于管形溅镀靶材5完成超声波检测后，经由防水套管11的排液口 112使管形溅镀靶材5的内衬管51内部的水排出，再自二防水套管11之间取出管形溅镀靶材5，即能再进行下一管形溅镀靶材5的超声波检测作业。本发明以此管形溅镀靶材检测机构设计，其是采取于管形溅镀靶材的内衬管内部下段注入少量的水等耦合液，使管形溅镀靶材于内衬管外周面的靶材于检测过程中完全不与水接触，故能有效避免靶材接触水而导致氧化的问题，对于无法浸水的靶材特别适用，而且本发明于实施过程中，仅特定部位注入少量的水等耦合液，并于检测后立即排出，使靶材不接触水而能省略管形溅镀靶材烘干的步骤，提高管形溅镀靶材的检测作业效率。以上所述仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明做任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案的范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的保护范围内。
权利要求
1.一种管形溅镀靶材检测机构，其特征在于，其包含: 一载具，其包含一基座以及二具有开口端的防水套管，二所述防水套管是以其开口端相对的设置于基座上，用以相对夹持管形溅镀靶材的内衬管，二所述防水套管中的至少一防水套管设有一注液口与一排液口，所述注液口高于排液口，使耦合液能够经由所述注液口注入该管形溅镀靶材的内衬管内部的下段达预定液位高度，于超声波检测后，耦合液自所述排液口排出； 一靶材旋转驱动装置，设置于基座上，用以驱动被夹持定位于二所述防水套管之间的管形溅镀靶材旋转，所述靶材旋转驱动装置包含一支以上的驱动轴以及一带动所述驱动轴旋转的驱动组件，以所述驱动轴抵接管形溅镀靶材； 一检测车，其包含一车体、多个枢设于车体上的车轮以及一装设于车体底部的超声波检测器，所述检测车能够被驱动自所述防水套管内部与管形溅镀靶材的内衬管内部之间来回移动，所述超声波检测器并能伸入管形溅镀靶材的内衬管内部下段的耦合液中；以及 一检测车驱动装置，设于基座上，用以驱动所述检测车于防水套管内部与管形溅镀靶材内部之间移动。
2.根据权利要求1所述的管形溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述基座上设置一靶材托架，靶材托架用以支撑管形溅镀靶材。
3.根据权利要求1所述的管形溅镀靶材检测机构，其特征在于，二所述防水套管中的一防水套管定点组设于所述基座的靶材定位区，另一所述防水套管结合一套管驱动组件并能够活动地组设于基座上。
4.根据权利要求2所述的管形溅镀靶材检测机构，其特征在于，二所述防水套管中的一防水套管定点组设于所述基座的靶材定位区，另一所述防水套管结合一套管驱动组件并能够活动地组设于基座上。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的管形溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述靶材旋转驱动装置具有二驱动轴，二所述驱动轴平行枢设于该基座上，用以提供该管形溅镀靶材抵靠其上而能带动该管形溅镀靶材旋转。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的管形溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述检测车驱动装置包含一驱动组、一移动构件以及一磁吸组件，所述驱动组设于该基座上，所述驱动组包含有一动作部，该移动构件设于所述动作部上，该磁吸组件包含一磁吸构件以及一能够被磁吸的被磁吸构件，所述磁吸构件与被磁吸构件分别组设于所述移动构件与检测车底部，使所述移动构件与检测车之间藉由磁力牵引作用而能连动。
7.根据权利要求5所述的管形溅镀靶材检测机构，其特征在于，所述检测车驱动装置包含一驱动组、一移动构件以及一磁吸组件，所述驱动组设于该基座上，所述驱动组包含有一动作部，该移动构件设于所述动作部上，该磁吸组件包含一磁吸构件以及一能够被磁吸的被磁吸构件，所述磁吸构件与被磁吸构件分别组设于所述移动构件与检测车的底部，使所述移动构件与检测车之间藉由磁力牵引作用而能连动。
全文摘要
本发明是关于一种管形溅镀靶材检测机构，其主要是以一载具的基座上所设置的二防水套管相对夹持管形溅镀靶材，且能够自防水套管上的注液口对管形溅镀靶材的内衬管内部注入耦合液，使耦合液于内衬管内部的下段达预定液位高度，基座上设有靶材旋转驱动装置，用以驱动管形溅镀靶材旋转，并设有一由检测车驱动装置驱动的检测车自防水套管内部与管形溅镀靶材的内衬管内部之间来回移动，检测车底部的超声波检测器可伸入内衬管内部下段的耦合液中对管形溅镀靶材进行超声波检测，藉此，避免管形溅镀靶材设于内衬管外周面的靶材于检测过程中与水接触而导致氧化的问题，使其可适用于无法浸水的靶材。
文档编号G01N29/275GK103185743SQ20111044650
公开日2013年7月3日 申请日期2011年12月28日 优先权日2011年12月28日
发明者李传祥, 李永春, 周信君, 马胜义, 钟政贤 申请人:光洋应用材料科技股份有限公司