专利名称：基于重反射技术的调频连续波干涉仪的制作方法
技术领域：
本发明涉及基于重反射技术的调频连续波干涉仪，属于光学领域。
背景技术：
基于调频连续波(FMCW)干涉测量技术的光路如
图1，激光由可调谐激光器发出，经PBS (偏振分束器)准直后被分为两路:一路为参考光经反射进入探测器ro，令一路为测量光，经孔径后照射到目标的角锥棱镜出，经反射进入探测器ro。测量光与参考光在探测器ro上干涉，形成拍频信号，拍频信号为电信号。测量时，对输出激光频率进行线性啁啾调制，调制曲线如图2所示。由于测量光相对于参考光有时间延迟，则它们干涉形成的拍频信号中值频率如图3所示。探测器ro获得的电信号i(t)可以表示为:
权利要求
1.于重反射技术的调频连续波干涉仪，其特征在于，它包括调频激光器(I)、准直透镜(2)、分光棱镜(3)、第一角锥棱镜(4)、第二角锥棱镜(5)、第三角锥棱镜￠)、聚焦透镜(7)和点探测器⑶， 第二角锥棱镜(5)设置在待测量目标处； 调频激光器(I)输出啁啾调制的激光束，该激光束经准直透镜(2)准直后输出准直平行光束，所述准直平行光束入射至分光棱镜(3)，经分光棱镜(3)反射的光束入射至第一角锥棱镜(4)，经第一角锥棱镜(4)反射的光束返回入射至分光棱镜(3)，并从分光棱镜(3)透射出去形成参考光束，该参考光束经聚焦透镜(7)汇聚在点探测器(8)的光敏面上； 经分光棱镜(3)透射的光束入射至第二角锥棱镜(5);第二角锥棱镜(5)反射后形成的向上偏移光束入射至第三角锥棱镜<；6)，经第三角锥棱镜<；6)、第二角锥棱镜(5)和分光棱镜(3)依次反射后形成测量光束，该测量光束经聚焦透镜(7)汇聚在点探测器(8)的光敏面上； 所述参考光束和测量光束在点探测器(8)上进行干涉形成拍频信号，进而获得待测量目标的距离。
2.据权利要求1所述的基于重反射技术的调频连续波干涉仪，其特征在于，准直透镜(2)的光轴轴线与分光棱镜(3)的光轴轴线重合。
3.据权利要求1所述的基于重反射技术的调频连续波干涉仪，其特征在于，第一角锥棱镜(4)和聚焦透镜(7)的光轴轴线与分光棱镜(3)的反射光光轴轴线重合。
4.据权利要求1所 述的基于重反射技术的调频连续波干涉仪，其特征在于，第三角锥棱镜￠)与分光棱镜(3)的距离和第一角锥棱镜(4)与分光棱镜(3)的距离相等。
全文摘要
基于重反射技术的调频连续波干涉仪，属于光学领域。本发明为解决现有采用线性调频激光干涉技术的干涉仪不能达到很高的精度问题。它的调频激光器输出的激光束经准直透镜准直后输出准直平行光束，并入射至分光棱镜，经分光棱镜反射的光束入射至第一角锥棱镜，再返回入射至分光棱镜，再透射出去形成参考光束，该参考光束经聚焦透镜汇聚在点探测器的光敏面上；经分光棱镜透射的光束入射至第二角锥棱镜；第二角锥棱镜反射后形成的向上偏移光束入射至第三角锥棱镜，经第三角锥棱镜、第二角锥棱镜和分光棱镜依次反射后形成测量光束，该测量光束经聚焦透镜汇聚在点探测器的光敏面上。本发明作为一种干涉仪。
文档编号G01S17/36GK103091681SQ20131005097
公开日2013年5月8日 申请日期2013年2月16日 优先权日2013年2月16日
发明者甘雨, 陈凤东, 刘国栋, 刘炳国, 庄志涛, 路程 申请人:哈尔滨工业大学