用于对被测物进行电测试的检测头的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种用于对被测物（17）、特别是晶片进行电测试的检测头（1），其具有至少两个通过至少一个隔离件（5）彼此间隔设置的导向板（2，3，4），这些导向板具有沿其表面分散设置的导向孔（9，10，11），测试触针（12）可移动地导入这些导向孔中，以接触被测物（17）。隔离件（5）由多个沿导向板（2，3，4）的表面分散设置并固定在导向板（2，3，4）上的点支撑件（6）组成。
【专利说明】用于对被测物进行电测试的检测头
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于对被测物、特别是晶片进行电测试的检测头，其具有至少两个通过至少一个隔离件彼此间隔设置的导向板，该导向板具有在其表面上分散设置的导向孔，用于接触被测物的测试触针被可移动地导入导向孔中。
【背景技术】
[0002]这类检测头公知地用于测试电气和电子电路，特别用于测试晶片。为了进行电测试，例如借助于升降装置使被测物升高并使其压迫测试触针的端部，从而使检测头的测试触针与被测物的相应的电接触面相接触。测试触针的另一端部在接触被测物的过程中向着接触间距扩大装置的接触面行进，这种接触间隔扩大装置用于扩大接触间距。在此应该指出的是:晶片的接触面位于最紧密的空间中，因此特别是被设计为弯曲金属线的测试触针彼此之间只具有最小程度的接触间距。利用接触间距扩大装置可以将接触间距扩大为，能够通过连接导线连接测试装置，该测试装置在电测试过程中接通测试路径，以测试被测物的电气性能。测试触针受到导向板的支撑，在此，彼此间隔开地设置至少两个导向板，并且它们具有测试触针从中穿过的导向孔。导向板由非导电材料制成，例如陶瓷。测试触针由导电性极好的材料制成，其同时具有一定的弹性，以便测试触针在接触过程中能够轻微地侧向弯曲。为了使至少两个导向板彼此相对地定位并保持间距，设置了隔离件，该隔离件由多个沿板的整个长度延伸且彼此间隔相邻设置的横支撑件构成。这些横支撑件占据相对较多的地方，这些地方不能作为测试面，因为在那里不能设置测试触针。另外的缺点在于，由于温度的影响而无法始终保证接触精度，因为会发生某种类型的双金属效应，它们可能会导致扭曲，即，测试触针不准确地或完全没有被置放于被测物和/或接触间距扩大装置的待接触的接触面上，其结果产生错误的测量。温度影响特别是出现在下述情况中:为了在某一温度范围内测试被测物的功能而在电测试期间将被测物置于不同的测试温度下。该温度范围可以从两位数的负温度至三位数的正温度。
【发明内容】
[0003]因此，本发明的目的在于提出一种前述类型的检测头，其即使在不同的温度下也能保持高精度的接触，此外，该检测头还具有扩大了的测试面。
[0004]根据本发明，通过利用沿导向板的表面分散设置并固定在导向板上的多个点支撑件所构成的隔离件实现该目的。在此将“点支撑件”理解为间隔元件，其在各个导向板的表面上只占据相对较小的横截面。因此，例如沿导向板的表面分散设置成列的多个间隔元件的总横截面明显小于延伸经过相应的相同区域的公知的横支撑件的横截面。位于在本发明中所设置的两个间隔元件之间的中间空间可用于容纳测试触针，即作为活跃的测试面。术语“点支撑件”不表示所构成的隔离件非常紧密相邻地支撑着两个导向板，而是说这两个导向板彼此之间可以具有预设的间隔，在此，各个点支撑件具有相对较小的表面，但却具有可选的相应较大的长度。沿导向板的表面分散设置并固定在导向板上的点支撑件为有关组件提供了非常刚性的连接，其结果是避免或基本避免了导向板的弯曲。这种弯曲例如出现在测试触针具有非常大的密度并且相对于轴向弹簧呈拱形前进的情况下，由此会使测试触针在接触过程中在导向孔中产生摩擦力，该摩擦力会导致至少一个导向板出现所提到的翘曲。相对于现有技术的条带形的横支撑件，由于基于本发明提供了一种更硬的联合体，因此解决了所述的至少一个导向板的弯曲问题，因为在沿表面分散设置的点支撑件的基础上，这种布置的刚性是非常高的。
[0005]在本发明的一种扩展方案中，将其中一个导向板设为第一导向板,并将另一导向板设为第二导向板，其中，第二导向板是接近被测物的导向板，而第一导向板是远离被测物的导向板。因此，第二导向板沿朝向被测物或测试产品的方向取向。第一导向板沿朝向接触间距扩大装置或测试装置的方向取向。
[0006]在本发明的一种扩展方案中，邻近第一导向板设置另一第三导向板，在此，各个测试触针分别对应第一导向板中的第一导向孔，第二导向板中的第二导向孔和第三导向板中的第三导向孔，其中，第二导向孔和第三导向孔彼此中心对齐，第一导向孔相对于第二导向孔和第三导向孔的中心对齐错开，或者所有三个导向孔彼此相互错位。在第一个选择方案中，上述第一导向孔的错位会迫使各个测试触针成弧形，这在接触被测物的过程中会带来轴向弹性效应。此外，当插入各个测试触针时在被测物的测试面上会出现所谓的刮擦(Scrub),即，测试触针端部垂直于测试触针的纵向延伸在接触面上产生一小块刮伤，由此将改善电接触值。例如由此将透过接触表面上的氧化物层。替代地也可以使导向板具有未中心对齐的导向孔，即，所有的导向孔都彼此错位。然后将测试触针相应弯曲地导入。根据本发明的另一种实施方式，还可以使第二导向孔和第三导向孔之间存在最小的错位。然后可以使第一导向孔与其中一个导向孔，即与第二导向孔或与第三导向孔中心对齐，或使第一导向孔既不与第二导向孔中心对齐，也不与第三导向孔中心对齐(如同所提及的那样)。
[0007]根据本发明的一种扩展方案，将点支撑件设计为支撑柱，特别是抗压和抗拉的支撑柱。因此这种支撑柱可以是销形部件，其沿纵向延伸方向设置在导向板之间，以构成隔离件。基于其抗压性和抗拉性，支撑柱与导向板一起构成一种抗弯曲的刚性结构。
[0008]特别是每个点支撑件都具有一纵向延伸方向和多个相对于该纵向延伸方向横向的、特别是垂直的并在360°的角度范围内分布的径向方向。
[0009]优选实现这种设置:使各个点支撑件在至少一个径向方向上的机械强度小于在其他径向方向上的机械强度。由此将点支撑件设计成在360°的角度范围内在径向方向上具有不同的机械强度，在此，在其中至少一个径向方向上的机械强度小于在其他径向方向上的机械强度。因此在该至少一个径向方向上存在一定的“柔软性”。在实践当中，该径向方向可以对应于偏移180 °的另一径向方向，该另一径向方向同样具有较小的机械强度。优选将术语“径向方向”理解为径向方向角度范围，因为点支撑件的机械强度在不同的径向方向上不会突然变化，而是连续地变化。
[0010]根据本发明的一种扩展方案，为了得到较低的机械强度，各个点支撑件具有至少一个横截面衰弱区。因此在一定的径向方向角度范围内可以得到较高的机械强度，即，该至少一个横截面衰弱区在那里不起作用。在横截面衰弱区起作用的角度范围内，各个点支撑件具有较低的机械强度，由此使点支撑件能够产生轻微的弯曲。
[0011]特别是可以使各个点支撑件在其外周的彼此相对的一侧上分别具有横截面衰弱区。由此在特定的角度范围内近乎形成各个点支撑件的腰部，从而实现相应的根据角度取向的机械强度的降低。
[0012]根据本发明的一种扩展方案，各个点支撑件在纵向延伸方向上具有第一端部区和与其相连的中间区以及与该中间区相连的第二端部区，并且中间区具有至少一个横截面衰弱区。因此当产生相应的力时，在纵向延伸方向上在中间区的范围内可以出现相应点支撑件的轻度弯曲。根据本发明的一种扩展方案，各个点支撑件在至少一个横截面衰弱区的范围内具有至少一个缺口。因此在该区域中，即在横截面衰弱区所在的中间区中，可以设置至少一个缺口，这有助于在广泛角度范围内的强度降低。
[0013]优选在设置至少一个缺口时，在各个点支撑件的端部区之间设置至少两个支承臂。这意味着在这两个支承臂所在的平面中具有较高的抗弯刚度。因此，在与两个支承臂所在平面成90°且两个支承臂位于其两侧的平面中具有较低的抗弯刚度，故而在此可以给出所提到的较小的机械强度。尽管存在至少一个横截面衰弱区和/或至少一个特别是用于构成支承臂的缺口，但是基于所提到的点支撑件沿其纵向延伸方向的抗压和抗拉强度仍然可以获得较高的稳定性，因此不会造成导向板的弯曲。
[0014]优选实现这种设置:使支承臂相互平行或基本上相互平行地伸展，并使支承臂平行于或基本上平行于各个点支撑件的纵向延伸方向。
[0015]根据本发明的一种扩展方案，两个端部区具有用于支承在导向板上的端面。因此在导向板之间将各个点支撑件设置为，设置在其两个端部区上的各个端面与导向板相接触并因而支承导向板。
[0016]根据本发明的一种扩展方案，在至少一个端面上设置扭转止动装置元件，其与隶属于扭转止动装置的配对元件一起作用在对应的导向板上。由此使各个点支撑件获得固定的、通过扭转止动装置加以保护的转动角度取向，从而使得关于导向板的表面使具有较低机械强度的径向方向处于预设、固定的位置。以这种方式将多个点支撑件设置在所希望的转动角度位置上。根据需要可以将这些点支撑件定位为，使它们的具有较低机械强度的作用方向是不同或相同的方向，和/或例如使具有不同或相同作用方向的点支撑件组具有较低的机械强度。
[0017]为使两个导向板通过隔离件彼此固定，特别提出为点支撑件的端面设置安装孔，尤其是螺纹孔，透过导向板的固定元件、特别是螺纹元件以其杆的端部插入安装孔中。优选将固定元件设计为螺纹元件，将其螺纹杆拧入配备有内螺纹的安装孔中并以这种方式保持导向板。
[0018]此外，优选扭转止动装置的元件是至少一个与对应的安装孔径向间隔开的凸出部，并且配对元件是位于导向板中的凹部。该凸出部卡合在导向板的凹部中，从而实现各个所属的点支撑件的扭转止动装置。
[0019]根据本发明的一种扩展方案，配属于端面的固定元件以其杆部穿过两个导向板，在此，在这两个导向板之间设置间隔件，特别是被杆贯穿的间隔套筒，该间隔件支承在导向板上。因此，两个导向板被设置在点支撑件的一侧并通过间隔件彼此隔开。在点支撑件的另一侧设置另一导向板。这三个导向板构成所提到的第一、第二和第三导向板。第三导向板是位于外侧并受到间隔套筒支承的导向板，第二导向板是受到远离间隔套筒的端面支承的导向板。第一导向板位于上述两个导向板之间，其一侧支承在点支撑件的端面上，另一侧支承在间隔套筒的端部上。
[0020]在根据本发明的一种扩展方案中，将点支撑件关于导向板的表面转动定向地设置为，使较低机械强度的作用方向指向或近似指向各个导向板的中心。这种布置特别是在包括温度加载的被测物测试中具有优势，因为由于对被测物的加热或冷却，接近被测物的导向板与至少一个其他远离被测物的导向板相比会受到更强烈的加热或冷却，其结果是:关于导向板的平面会产生较小的移动，以平衡温度差异。这种移动是由于材料的热膨胀系数而产生的。由于点支撑件基于具有较低机械强度的作用方向而在某个方向上“更软地”构成，并且该作用方向指向或近似指向导向板的中心，因此不断地发生从中心向外的移动，从而不会使移动值累计过大。在两个导向板彼此相对移动的过程中，点支撑件处于相对轻度弯曲的形状，在此，由于具有较低机械强度的作用方向的中心取向，这种轻度弯曲近乎旋转对称地发生在导向板的表面上。优选点支撑件矩阵形地和/或线形地沿导向板的表面分散设置。
[0021]最后，在本发明的一种优选的扩展方案中提出一种检测头，其中，为了构成用于容纳导向销的中心定位装置(Mittenzentriervorrichtung)设置至少三个长孔凹槽,在此,长孔凹槽的纵向延伸方向指向或近似指向各个导向板的中心对齐。如果在温度加载过程中例如发生检测头膨胀，中心定位装置将确保这种膨胀从中间、即从中心向外进行。三个长孔凹槽可以例如相对于彼此偏移120°地设置，但是也可以是其它角度的设置。
[0022]本发明还涉及一种具有上述检测头的测试装置，在此配置有至少三个优选静止设置的导向销，这些导向销沿各个长孔凹槽的纵向延伸方向可滑动地插入至少三个长孔凹槽中。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]在附图中根据实施例对本发明做了说明，其中:
[0024]图1示出了用于对被测物进行电测试的检测头区域的示意图，
[0025]图2示出了检测头的点支撑件，
[0026]图3示出了在已装配好用于支承检测头的导向板的状态下的图2中的点支撑件，
[0027]图4以透视图示出了具有检测头的测试装置，
[0028]图5示出了导向板，
[0029]图6示出了导向板的局部区域，
[0030]图7示出了穿过检测头局部区域的透视截面图。
【具体实施方式】
[0031]图1示出了检测头I的区域，该检测头具有多个导向板2、3、4，这些导向板彼此间隔开、特别是彼此平行间隔开地设置。为此，在导向板2和3之间设置隔离件5，其由多个沿导向板2和3的表面分散设置并固定在导向板2和3上的点支撑件6组成。此外，在导向板2和4之间设置有间隔件7。现在实现这种布置:导向板2构成第一导向板2,导向板3构成第二导向板3，导向板4构成第三导向板4。间隔件7同样定位在沿导向板2和4的表面分布的布置中，在此，优选使间隔件7沿轴向方向看(箭头8)与点支撑件6中心对齐。
[0032]第一导向板2具有多个导向孔9，它们构成第一导向孔；第二导向板3具有多个导向孔10，它们构成形成第二导向孔；第三导向板4具有多个导向孔11，它们构成形成第三导向孔。测试触针12可移动地穿过导向孔9至11，在此，测试触针的端部13超出第二导向板3的底面14，而其另一端部15超出第三导向板4的顶面16。现在实现这种布置:使第二导向孔10和第三导向孔11彼此中心对齐，并使第一导向孔9相对于该同心错开，因此测试触针12具有轻微的弧形形状。为清楚起见，在图1中只示出了几个测试触针12。在现实中，测试触针彼此挨得非常紧并且数量很大。这通过虚线16'表示。在本发明的未示出的实施中，替代地还可以在三个导向板中将导向孔设置为，使它们全部彼此错开。
[0033]此外在图1中还包括要进行电测试的被测物17。优选被测物17是晶片。此外在图1中还示出了接触间距扩大装置18，其与测试装置(未示出)电连接。为了对被测物17进行电测试，借助于合适的升降装置(未示出)使被测物17相对于测试触针12的端部13行进，以使被测物17的接触面与测试触针12实现接触。此外，在此将测试触针12的端部15置于接触间距扩大装置18的接触面上，从而在那里也可以发生接触。现在可以利用未示出的测试装置进行测试，在此接通电路并测试电被测物17的性能。在这种可能持续几个小时的测试过程中，大多数情况下还需要进行温度测试。这意味着被测物17将处于至少一个降低的温度下和至少一个升高的温度下，例如处于从-30°到+200°的温度范围内，以便在这种条件下测试电气性能。在整个测试期间，也就是在温度加载期间，需要确定无疑地保持对被测物17的接触和针对接触间隔扩大装置18的接触，在存在极小接触间隙的情况下，这意味着需要利用导向板2至4以及隔离件5和间隔件7对测试触针12进行相对高精度的导向和保持。
[0034]下面将就图1所示的各个组件的【具体实施方式】进行详细说明。
[0035]图2示出了点支撑件6。点支撑件6是一种间隔元件，其基本上为棍状的，也就是在其纵向延伸方向(箭头8)上的尺寸要比横向方向上的更大，因此只具有相对较小的横截面19。将点支撑件6设计为抗压和抗拉的支撑柱20，即，支撑柱20在纵向延伸方向(箭头8)上可以无变形地承受拉力和压力。点支撑件6在纵向延伸方向上具有第一端部区21，紧随其后的是中间区22和与该中间区相接的第二端部区23。为了进行定位，在图2中给出了纵向延伸方向24，其沿与所提及的轴向方向(箭头8)相同的方向伸展。多个在360°角度范围内分布的径向方向25相对于该纵向延伸方向横向延伸，特别是垂直地延伸，在图2中示出了其中几个径向方向25。现在实现这种布置:点支撑件6在特定的径向方向、即径向方向25'上的机械强度低于在其他径向方向上的机械强度。因此，如果在径向方向25'上对点支撑件6加载，会使其有轻微弧度的弯曲。在相应的加载过程中，在其他径向方向25上不会发生这种弯曲。这种较低的机械强度，即一定的“柔软度”可以通过下述方式有意识地获得:使点支撑件6在其外周的彼此相对的侧面上分别具有横截面衰弱区26 (也可参见图7)。各个横截面衰弱区26由位于中间区22中的开边凹槽27构成。在两个凹槽27之间相应地只保留有窄的、条带形的材料区域28。各个凹槽27在其两个端部上通过弧形29流出。这两个与横截面19相符的端部区21和23的轮廓被设计为近似于体育场形状的，特别是圆形的并具有设置在彼此相对一侧的扁圆形30。在中间区22、即横截面衰弱区26的区域中，缺口 31穿过点支撑件6，该缺口具有体育场形的横截面并有助于横截面衰弱区26的材料弱化。基于缺口 31而在中间区22中设置两个彼此平行伸展的支承臂32。这两个支承臂32平行于纵向延伸方向24伸展。两个端部区21和23分别具有端面33和34，用于支承在对应的导向板2和3上。在端面33上设置扭转止动装置36的元件35，该元件35根据点支撑件6是如何安装的而与导向板2或3中之一共同作用。将元件35设计为位于安装孔38两侧的凸出部37，在此，安装孔38沿轴向方向，即纵向延伸方向24延伸。相应的安装孔39从端面34开始延伸。安装孔38穿过第一端部区21并通入缺口 31中；安装孔39穿过端部区23并同样通入缺口 31中。两个安装孔38和39分别具有内螺纹40、41。凸出部37相对于对应的安装孔38径向设置并具有非旋转对称的结构。扭转止动装置36的元件35的这种不对称结构相对于其上具有较低的机械强度的径向方向25’具有固定的角度关系(ffinkeIzuordnung) ο
[0036]图3示出了处于已安装状态中的点支撑件6，即，将点支撑件6设置在第一导向板2和第二导向板3之间，使端面34支承在导向板2的底面42上，而端面33支承在导向板3的顶面43上。为导向板2配置通孔44，其与安装孔39中心对齐。为导向板3配置阶梯孔45，其贯穿导向板3并与安装孔38中心对齐。阶梯孔45具有大直径部分46和小直径部分47。在图6中可以清楚地看到小直径部分47，其在彼此相对的侧面上过渡到构成凹部48的凹槽中。该凹部48构成针对元件35的配对元件49,并与元件35 —起构成扭转止动装置36。在本文中从图3可以看出，凸出部37嵌接在凹部48中。这意味着，点支撑件6相对于导向板3被角度取向地固定，即不能转动。为了使导向板3和点支撑件6彼此固定，设置了构造为螺纹元件50的固定元件51。螺纹元件50具有头部52和配置有螺纹的杆部53。现在实现这样的设置:将杆部53的螺纹拧入安装孔38的内螺纹40中，在此，头部52下沉进入阶梯孔45的大直径部分46中。因此，通过拧紧螺纹元件50可以在导向板3和点支撑件6之间实现固定连接。在点支撑件6的相对的端部上同样设置有被构造为螺纹元件54的固定元件51，其具有头部55和配置有螺纹的杆部56。导向板4配备有阶梯孔57，该阶梯孔贯穿导向板4并具有大直径部分58和小直径部分59。此外,在导向板2和导向板4之间设置间隔套筒60形式的间隔件7，使间隔套筒60的端面61紧贴在导向板4的底面62上，并使间隔套筒60的另一端面63接触到导向板2的顶面64。通过将螺纹元件54拧入安装孔39的内螺纹41中，可以使导向板4、间隔件7、导向板2和点支撑件6彼此轴向固定地夹紧。在这里，螺纹元件54的头部55下沉地附在大直径部分58中，而螺纹元件54的杆部56穿过阶梯孔57的小直径部分59、间隔套筒60的内孔65并嵌接在通孔44中。
[0037]如图4所示，导向板2至导向板4通过多个点支撑件6彼此连接。在此，在该实施例中还使用了相应数量的间隔元件7。优选点支撑件6(以及间隔元件7)沿对应的导向板2至4的表面均匀地分散设置。在图4中以矩阵形式实现了点支撑件6的这种分散设置。基于其内聚力将提供一种非常坚硬、抗弯曲的单元。在本发明的另一种未示出的实施例中，也可以如同所提到的那样将点支撑件设置成线形的，以便产生一定的长壁效应(Strebwirkung)。在此优选可以将多个线形配置彼此间隔开地设置。
[0038]图5示出了导向板3的俯视图，其中没有示出其它的导向板，也没有示出点支撑件
6。很明显，与元件35 —起组成扭转止动装置36的配对元件49关于导向板3的表面定向设置，使径向方向25,在所安装的点支撑件6中指向导向板3的中心66，S卩，各个点支撑件6的较低机械强度的作用方向都指向朝向中心66的方向。在中心66中同样有点支撑件6,其如同位于那里的阶梯孔45中那样同样被转动方向地取向。优选这种转动取向如同在至少一个邻近的阶梯孔45中那样取向。替代地，这种在中心66中的取向也可以是任意的。[0039]为了构造测试装置67，在设计为正方形的导向板2至4的每个侧面的中间设置开边的长孔凹槽68，其沿朝向中心66的方向延伸。在长孔凹槽68中可滑动地插入静止设置的导向销69。因此总的来说提供了一种用于检测头I的中心定位装置70，其例如基于所加载的温度只从中间，也就是从中心66开始向外均匀膨胀，在此，中心66保持位置不变。
[0040]如图1所示，如果被测物17在其电测试过程中被施以不同的温度，则会导致各个导向板2至4被不同程度地加热或不同程度地冷却。例如，接近被测物的导向板3受到的加热要比另一位于远处的导向板2强烈。由于将点支撑件6角度定向地设置为，使低机械强度的作用方向对准中心66，因此这种不同的温度加载将通过点支撑件6的轻微弯曲而表现出来，但是这种弯曲基于低机械强度所对准的作用方向是从中心66开始分别径向向外发生的，因此总体说来在导向板2至4的表面的区域内将只发生最小程度的移动。此外，在本文中所提到的中心定位装置70同样负责始终对准中间、即中心66的位置变动。因此总体上各个测试触针12只会由于不同的温度加载而发生最小程度的位移或者不发生位移，也就是说，其与被测物17或接触间距扩大装置18的接触不会受到负面影响。在图4中清楚地看到:在各个点支撑件6之间拥有非常大的导向板2至4的自由表面，用于在那里将测试触针12置于相应的导向孔9至11 (为清楚起见在图2至图7中未示出)中。由此，只通过检测头I的一次下沉到被测物17上就能够实现极大数量的测试电流回路。
[0041]图7以透视截面图示出了如图4所示的布置。在此很明显的是，导向板3和4可以被设计为多层的，在所示出的实施例中是三层的。[0042]根据本发明，防止了以上所述的导向板2至4的弯曲。借助于沿导向板2至4的表面分散设置的点支撑件6可以实现非常坚硬的结合，因此，例如测试触针12在导向孔9至11中的摩擦不会引起导向板2至4的扭曲。由此在(笛卡尔坐标系)的Z方向上将保护导向板2和3不发生所述的弯曲。为了平衡特别是由温度不同所带来的沿(笛卡尔坐标系)的X方向和Y方向、即在导向板2至4的平面中的移动，使各个点支撑件6在径向方向25^上“更软地”实现。这种衰弱总是对准导向板2至4的中心66。为此，优选检测头I具有中心定位装置70，以使检测头I总是从中心66开始向外扩张。优选被构造为支撑柱20的点支撑件6的直径约为3_。基于这种在平面分离设置的点支撑件6，可以防止在现有技术中所熟知的意外的双金属效应以及由此而来的导向板2至4的弯曲。此外，各个点支撑件6仅占据了非常少的空间，因此将有较大的面积用于设置测试触针12。基于各个扭转止动装置36的形状配合连接，各个点支撑件将相对于导向板2至4的相应表面转动定向地设置，在此，各个点支撑件始终以其弱化的轮廓指向中心66。即使在对被测物17进行测试期间出现例如从-40°至+180°的温度循环，也不需要担心导向板2至4会产生的这种较大的、会影响所提到的刮擦和/或可能在特别是由陶瓷制成的导向板中产生裂纹的弯曲。
[0043]在如图1至图7所示出的实施例中，螺纹元件54的头部55朝着导向板4的表面(顶面16)下沉。但是也可以考虑利用相应的垫圈使头部55高出表面之外，由此可以使头部55并因此使检测头I支承在相邻的组件上，例如支承在上述接触间距扩大装置18上。这将实现一种刚性的、关于构件的位置可重复的结构。
【权利要求】
1.一种用于对被测物，特别是晶片进行电测试的检测头，其具有至少两个通过至少一个隔离件彼此间隔设置的导向板，该导向板具有沿其表面分散设置的导向孔，在这些导向孔中可移动地引导测试触针以接触被测物，其特征在于，所述隔离件(5)由多个沿导向板(2，3，4)的表面分散设置并固定在所述导向板(2，3，4)上的点支撑件(6)构成。
2.如权利要求1所述的检测头，其特征在于，所述导向板(2)中一个是第一导向板(2)，另一导向板(3)是第二导向板(3)，其中，所述第二导向板(3)是接近被测物的导向板(3)，而所述第一导向板(2)是远离被测物的导向板(2)。
3.如权利要求1或2所述的检测头，其特征在于，设有另一第三导向板(4)，其邻近所述第一导向板(2)设置，其中，各个测试触针(12)对应于所述第一导向板(2)中的第一导向孔(9)、所述第二导向板(3)中的第二导向孔(10)和所述第三导向板(4)中的第三导向孔(11)，其中，所述第二导向孔(10)和第三导向孔(11)彼此中心对齐，所述第一导向孔(9)相对于所述第二导向孔(10)和第三导向孔(11)的中心对齐错开，或者所有三个导向孔(9，10，11)彼此相互错开。
4.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，将所述点支撑件(6)构造为支撑柱(20 )，特别是抗压和抗拉的支撑柱(20 )。
5.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，每个所述点支撑件(6)都具有一纵向延伸方向(24)和相对于该纵向延伸方向横向的、特别是垂直的多个在360°的角度范围内分布的径向方向(25)。
6.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，每个所述点支撑件(6)在至少一个径向方向(25')上的机械强度小于在其他径向方向上的机械强度。
7.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，为了获得较低的机械强度，每个所述点支撑件(6 )都具有至少一个横截面衰弱区(26 )。
8.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，每个所述点支撑件(6)在其外周的彼此相对的侧面上分别具有横截面衰弱区(26)。
9.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，每个所述点支撑件(6)在纵向延伸方向(24)上具有第一端部区(21)，与该第一端部区相连的中间区(22)和与该中间区相连的第二端部区(23)，并且所述中间区(22)具有至少一个横截面衰弱区(26)。
10.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，每个所述点支撑件(6)在所述横截面衰弱区(26 )的范围内具有至少一个缺口( 31)。
11.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，所述缺口(31)的深度延伸在与所述径向方向(25)相同或基本相同的径向方向(25')上，该与所述径向方向(25)相同或基本相同的径向方向(25')由于至少一个所述横截面衰弱区(26)而具有较低的机械强度。
12.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，通过所述至少一个缺口(31)在相应的所述点支撑件(6)的两个端部区(21，23)之间构成至少两个支承臂(32)。
13.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，所述支承臂(32)相互平行地或基本上相互平行地伸展，并且所述支承臂(32)平行于或基本上平行于各个所述点支撑件(6)的纵向延伸方向(24)。
14.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，所述两个端部区(21，23)具有端面(33，34 )，用以支承在所述导向板(2，3，4 )上。
15.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，在相应的所述点支撑件(6)的至少一个所述端面(33，34)上设置扭转止动装置(36)的元件(35)，其与隶属于该扭转止动装置(36)的配对元件(49) 一起作用在对应的导向板(2，3，4)上。
16.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，在相应的所述点支撑件(6)的端面(33，34)上设置安装孔(38，39)，尤其是螺纹孔，穿过所述导向板(2，3，4)的固定元件(51)、特别是螺纹元件(53，54)以其杆部(53，56)的端部插入这些安装孔中。
17.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，所述扭转止动装置(36)的元件(35)是至少一个与对应的所述安装孔(38，39)径向间隔开的凸出部(37)，并且所述配对元件(49)是所述导向板(2，3，4)中的凹部(48)。
18.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，所述配属于所述端面(33，34)之一的固定元件(51)以其杆部(53，56)穿过所述导向板(2，3，4)中的两个，其中，在这两个导向板(2, 3,4)之间设有间隔件(7),特别是被所述杆部(53, 56)贯穿的间隔套筒(60),这些间隔件支承在所述导向板(2，3，4 )上。
19.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，所述点支撑件(6)在所述导向板(2，3，4)的表面上转动定向地设置为:使较低机械强度的作用方向指向或近似指向相应的导向板(2，3，4)的中心(66)。
20.如前面任一项权利要求所述的检测头，其特征在于，为了构成用于容纳导向销(69)的中心定位装置(70)，设置至少三个长孔凹槽(68)，其中，所述长孔凹槽(68)的纵向延伸方向指向或近似指向相·应的导向板(2，3，4)的中心(66)。
21.一种具有如前面权利要求中任一项所述的检测头的测试装置，其特征在于，具有至少三个优选静止设置的导向销(69)，这些导向销(69)沿相应的长孔凹槽(68)的纵向延伸方向可滑动地插入至少三个所述长孔凹槽(68)中。
【文档编号】G01R31/28GK103592473SQ201310359355
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年8月16日 优先权日:2012年8月16日
【发明者】斯蒂芬·特罗茨, 贡特尔·伯姆, 阿希姆·韦兰德 申请人:精炼金属股份有限公司