晶圆允收测试曲线自动输出系统的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种晶圆允收测试曲线自动输出系统，包括：算法数据库，所述算法数据库中存储有曲线算法，所述曲线算法用于生成曲线文件；图表绘制模块，所述图表绘制模块将曲线文件导入并生成测试曲线；显示模块，所述显示模块接收所述测试曲线并进行显示输出。本发明的晶圆允收测试曲线自动输出系统能够自动对曲线文件进行导入，从而生成测试曲线，减少了绘制曲线所用的时间。
【专利说明】晶圆允收测试曲线自动输出系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体测试中的信息输出系统，尤其涉及一种晶圆允收测试曲线自动输出系统。
【背景技术】
[0002]晶圆允收测试(Wafer Acceptance Test，简称:WAT)是在半导体晶圆在完成所有制程工艺后，针对晶圆上的各种测试结构所进行的电性测试。
[0003]在晶圆允收测试中，通常需要收集半导体器件的很多电性能测试数据，通过对这些数据进行分析之后可以发现半导体制程工艺中的问题，以帮助制程工艺进行调整。
[0004]但是，由于对一个器件在晶圆允收测试中所进行测试的数据非常多，为了对这些数据进行更好地分析，通常会将这些数据中相同类别的数据进行绘制，以形成电性能曲线，这样，当对所有数据都进行完绘制之后，就能够直观地得到每个电性能的曲线图，将这些曲线图在一个坐标轴中呈现，就能够直观地进行比较，利于后续的电性能分析。
[0005]目前，将从晶圆允收测试中得到的数据转化为电性能曲线的方法是通过将这些数据手动导入到制表模块中，以形成如表格I所示的表格，然后通过制表系统中的曲线绘制单元来将表格中的数据转化为曲线图像进行输出，如图1所示。
[0006]表格1:
[0007]
【权利要求】
1.一种晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，包括: 算法数据库，所述算法数据库中存储有曲线算法，所述曲线算法用于生成曲线文件； 图表绘制模块，所述图表绘制模块将曲线文件导入并生成测试曲线； 显示模块，所述显示模块接收所述测试曲线并进行显示输出。
2.如权利要求1所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，所述曲线算法包括一般曲线算法和特殊曲线算法； 所述一般曲线算法用于生成曲线文件； 所述特殊曲线算法用于在每个曲线文件中增加以下信息:测试所用探针卡、测试所用机台、测试开始时间、测试所用程式、测试点的详细坐标和片数。
3.如权利要求1所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，所述图表绘制模块中设置有批量处理单元，所述批量处理单元自动导入一个或多个曲线文件，并对该曲线文件进行处理以绘制测试曲线图。
4.如权利要求3所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，当所述批量处理单元自动导入一个曲线文件时，对该曲线文件进行处理，并绘制单个器件的测试曲线。
5.如权利要求3所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，当所述批量处理单元自动导入多个曲线文件时，对该曲线文件进行处理，并绘制所有的测试曲线。
6.如权利要求4所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，所述单个器件的测试曲线中包括以下信息: 器件的源极电流、漏极电流、栅极电流、基准电流。
7.如权利要求5所述的晶圆允收测试曲线自动输出系统，其特征在于，所述多个器件的测试曲线中包括以下信息: 器件的静态漏电流、VDD引脚电流、接地电流、待机电流、位线电流。
【文档编号】G01R31/26GK103605065SQ201310506630
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年10月23日 优先权日:2013年10月23日
【发明者】李雨凡, 莫保章, 沈茜 申请人:上海华力微电子有限公司