专利名称：光栅位移测量装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光栅位移测量装置，属于位移测量仪器。
背景技术：
光栅作为精密测量的一种工具，已在精密仪器、坐标测量机、高精度精密加工等领域得到了广泛的应用。对于大量程、高精度的位置、位移检测系统，目前世界上普遍采用双频激光法和光栅测量技术。从精度上说，双频激光测量法优于光栅测量；但双频激光测量装置成本高，技术复杂，对使用的环境要求比较苛刻。而光栅测量在大多数场合下都能满足高精度的要求，加上它可靠性好、量程大、结构简单、成本相对较低、对环境要求不严、抗干扰性好等一系列优点，因而在精密测量和机床工业中得到广泛的应用。光栅测量要求光栅尺和读数头分别安装与一对相对平行移动的部件上，在机床工业中，光栅测量装置体积较大，光栅尺安装于导轨旁的基座上，读数头安装于沿导轨移动的部件上，移动部件可承载一定重量的其它部件，导轨和基座的相对位置是不能变动的；在精密测量中，光栅位移测量装置往往设计成一体化形式，体积小，光栅尺安装与移动部件上，读数头安装于固定部件上，移动部件不能承载重物。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种能够承载一定重量、体积小的光栅位移测量装置技术解决方案本实用新型包括光栅传感器、花键导轨，花键导轨沿轴向开有通槽，光栅传感器由金属光栅尺、光栅读数头组成，金属光栅尺粘贴于通槽上，光栅读数头固定于花键导轨滑动套上。本实用新型金属光栅尺粘贴于通槽内，光栅读数头固定于花键导轨的滑动套上，滑动套沿花键导轨移动的距离可由光栅传感器准确测得。由于花键导轨具有一定的抗弯曲强度，所以滑动套上可以安装其它功能部件，实现对特定位置测量或控制操作，满足了体积小又能承载一定重量的光栅测量需求。
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
本实用新型包括光栅传感器、花键导轨2，花键导轨2沿轴向开条形槽，光栅传感器由金属光栅尺1、光栅读数头3组成，金属光栅尺I粘贴于条形槽上，光栅读数头3固定于花键导轨滑动套4上。工作时，滑动套4沿花键导轨2移动，读数头3读取金属光栅尺I的位置信号，实现准确测量。
权利要求1.光栅位移测量装置，其特征是，包括光栅传感器、花键导轨，花键导轨沿轴向开通槽，光栅传感器由金属光栅尺、光栅读数头组成，金属光栅尺粘贴于通槽上，光栅读数头固定于花键导轨 滑动套上。
专利摘要本实用新型涉及光栅位移测量装置，属于位移测量仪器。本实用新型包括光栅传感器、花键导轨，花键导轨沿轴向开有通槽，光栅传感器由金属光栅尺、光栅读数头组成，金属光栅尺粘贴于通槽上，光栅读数头固定于花键导轨滑动套上。本实用新型滑动套沿花键导轨移动的距离可由光栅传感器准确测得。由于花键导轨具有一定的抗弯曲强度，所以滑动套上可以安装其它功能部件，实现对特定位置测量或控制操作。
文档编号G01B11/02GK203163691SQ20132009214
公开日2013年8月28日 申请日期2013年2月28日 优先权日2013年2月28日
发明者任绍卿, 张荔萍, 王卫东 申请人:内蒙古北方重工业集团有限公司