一种石英晶体晶片的测试的制造方法
【专利摘要】本发明涉及到晶片领域，是一种石英晶体晶片的测试机。其特征是X轴水平轴安装平台装在Y轴左则导向轨道和Y轴右则导向轨道上，X轴左则导向轨道、X轴右则导向轨道、X轴伺复电机丝杆机构装在X轴水平轴安装平台上；Y轴伺复电机丝杆机构和Z轴竖直支撑台装在平台上，Z轴右侧导向轨道、Z轴左侧导向轨道装在Z轴竖直支撑台上。由于采用了本技术方案，机构简单可靠，对晶片上音叉单元测试点实现精确定位，可靠的完成晶片电气性能的测试，并进行统计分析，电脑显示画面上用不同颜色区分测试结果，形象直观，便于质量分析。
【专利说明】—种石英晶体晶片的测试机
【技术领域】
[0001]本发明涉及到晶片领域，是一种石英晶体晶片的测试机。
【背景技术】
[0002]在微型音叉晶体生产领域，对于微型音叉晶体晶片，音叉单元采用人工在显微镜下采用手摇机构进行测试，效率低，操作难度大，手工容易失误，造成晶片折断，同时测试无尘环境不易保证，使晶片受到外界污染。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是要提供一种石英晶体晶片的测试机。
[0004]本发明的技术方案是:一种石英晶体晶片的测试机，其特征是X轴水平轴安装平台装在Y轴左则导向轨道和Y轴右则导向轨道上，X轴左则导向轨道、X轴右则导向轨道、X轴伺复电机丝杆机构装在X轴水平轴安装平台上；y轴伺复电机丝杆机构和Z轴竖直支撑台装在平台上，Z轴右侧导向轨道、Z轴左侧导向轨道装在Z轴竖直支撑台上；右则测试探针位置调整机构、左则测试探针位置调整机构、左则测试探针、右则测试探针、工业摄像机装在Z轴伺复电机丝 杆机构上。
[0005]由于采用了上述技术方案，机构简单可靠，对晶片上音叉单元测试点实现精确定位，可靠的完成晶片电气性能的测试，并进行统计分析，电脑显示画面上用不同颜色区分测试结果，形象直观，便于质量分析。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1是本发明的府视结构示意图。
[0007]在图中:1、Χ轴水平轴安装平台；2、Y轴左则导向轨道；3、Y轴伺复电机丝杆机构；
4、Υ轴右则导向轨道；5、水平移动安装平台；6、Χ轴左则导向轨道；7、Χ轴右则导向轨道；8、X轴伺复电机丝杆机构；9、Z轴竖直支撑台；10、Ζ轴右侧导向轨道；11、Ζ轴左侧导向轨道；12、Z轴伺复电机丝杆机构；13、右则测试探针位置调整机构；14、左则测试探针位置调整机构；15、左则测试探针；16、右则测试探针；17、工业摄像机。
【具体实施方式】
[0008]下面结合实施例对本发明作进一步的说明。
[0009]在图1中，X轴水平轴安装平台I装在Y轴左则导向轨道2和Y轴右则导向轨道4上，X轴左则导向轨道6、X轴右则导向轨道7、X轴伺复电机丝杆机构8装在X轴水平轴安装平台I上；Υ轴伺复电机丝杆机构3和Z轴竖直支撑台9装在平台上，Z轴右侧导向轨道10、Ζ轴左侧导向轨道11装在Z轴竖直支撑台9上；右则测试探针位置调整机构13、左则测试探针位置调整机构14、左则测试探针15、右则测试探针16、工业摄像机17装在Z轴伺复电机丝杆机构12上。[0010]微型音叉晶体晶片，放置在上平台上，由于晶片暴光工艺的误差，使得音叉小单元，因不同晶片位置有微小差异，为保证位置的精度，水平移动安装平台5，在开机时由Y轴伺复电机丝杆机构3，X轴伺复电机丝杆机构8移动到原点位置。Z轴伺复电机丝杆机构12也移动到原点位置。自动测试时，水平移动安装平台5作相对原点运动，使晶片的第一排第一个音叉单元，运动到测试探针测试位，工业摄像机开始对音叉单元拍照，计算出位置补正数值，X轴，Y轴电机在做移动，使测试探针精准的落到音叉单元测试区，通过测试电路，把音叉电性能参数，上传到计算机进行数据处理。按照以运行步骤对其他音叉单元进行精准测试。
【权利要求】
1.一种石英晶体晶片的测试机，其特征是X轴水平轴安装平台(I)装在Y轴左则导向轨道⑵和Y轴右则导向轨道⑷上，X轴左则导向轨道(6)、X轴右则导向轨道(7)、X轴伺复电机丝杆机构(8)装在X轴水平轴安装平台(I)上；Y轴伺复电机丝杆机构(3)和Z轴竖直支撑台(9)装在平台上，Z轴右侧导向轨道(10)、Z轴左侧导向轨道(11)装在Z轴竖直支撑台(9)上；右则测试探针位置调整机构(13)、左则测试探针位置调整机构(14)、左则测试探针(15)、右则测试探针(16)、工业摄像机(17)装在Z轴伺复电机丝杆机构(12)上。
【文档编号】G01R31/00GK103869186SQ201410077568
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2014年3月5日 优先权日:2014年3月5日
【发明者】王斌, 陆青林 申请人:随州泰华电子科技有限公司