一种多功能电参数测试设备的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种多功能电参数测试设备，包括主控单元，复数按钮，电源单元，电机驱动单元，电流测试单元，电压测试单元及复数马达，所述复数按钮，电源单元，电机驱动单元连接主控单元，所述马达连接所述电机驱动单元，所述电流测试单元及电压测试单元连接所述马达及主控单元，所述按钮向所述主控单元发送控制信号，同时由电机驱动单元驱动马达工作，所述电流测试单元及电压测试单元测试马达转动时的电流量及电压量，同时反馈至主控单元。本发明所揭示的多功能电参数测试设备，整体结构简单实用，且大大降低了测试设备成本及后期维护费用。
【专利说明】一种多功能电参数测试设备
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种半导体制造设备的辅助调试设备，尤其涉及一种测试马达不同电 压下电流的多功能电参数测试设备。
【背景技术】
[0002] 在半导体制造设备中，为了更好的控制各个电机的运转，都会对半导体设备上的 各个电机进行电压及电流测试，以更好的了解设备的运转，传统的测试采用台式电脑连接 通用控制机从而驱动设备上各个电机，对电机的各种控制信号由电脑发出，由控制器对电 机进行测量，将测量参数反馈到电脑显示，这种方式虽然可以对设备进行有效测量，但该测 试设备结构复杂，且设备成本及后期维修成本高。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种简单实用的多功能电参数测试 设备。
[0004] 为实现上述目的，本发明提出如下技术方案：一种多功能电参数测试设备，包括主 控单元，复数按钮，电源单元，电机驱动单元，电流测试单元，电压测试单元及复数马达，所 述复数按钮，电源单元，电机驱动单元连接主控单元，所述马达连接所述电机驱动单元，所 述电流测试单元及电压测试单元连接所述马达及主控单元，所述按钮向所述主控单元发送 控制信号，同时由电机驱动单元驱动马达工作，所述电流测试单元及电压测试单元测试马 达转动时的电流量及电压量，同时反馈至主控单元。
[0005] 所述主控单元采用八位单片机。
[0006] 所述电流测试单元为电流表。
[0007] 所述电压测试单元为电压表。
[0008] 所述电源单元供电电压为5V或24V。
[0009] 还包括与所述主控单元连接的显示屏，用于显示所述电流测试单元测试的电流值 及电压测试单元测试的电压值。
[0010] 与现有技术相比，本发明所揭示的一种多功能电参数测试设备，通过单片机控制 马达驱动器，同时采用电流表及电压表测试电参数，再通过显示屏显示测试数据，整体结构 简单实用，且大大降低了测试设备成本及后期维护费用。
【专利附图】
【附图说明】
[0011] 图1是本发明多功能电参数测试设备的模块示意图。
【具体实施方式】
[0012] 下面将结合本发明的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。
[0013] 如图1所示，本发明所揭示的一种多功能电参数测试设备，主要用于测试半导体 制造设备的电参数，具体包括主控单元，复数按钮，电源单元，显示屏，电机驱动单元，电流 测试单元，电压测试单元及复数马达，所述按钮，电源单元，显示屏，电机驱动单元连接主控 单元，所述马达连接所述电机驱动单元，所述电流测试单元及电压测试单元连接所述马达 及主控单元。
[0014] 所述主控单元采用8位单片机，用于接收处理所述按钮发送的控制信息，同时发 送控制信号至电机驱动单元，以驱动马达运转，同时接收电压测试单元及电流测试单元反 馈的电压量及电流量，并通过显示屏进行显示。
[0015] 所述按钮用于发送控制信号，且一个按钮对应控制一个马达。
[0016] 所述电源单元用于给整个测试设备供电，供电电压为DC5V或24V。
[0017] 所述电机驱动单元用于根据主控单元发送的控制信号控制各个马达。
[0018] 所述电流测试单元为电流表，用于测试马达运行时的电流量，并反馈至主控单元。
[0019] 所述电压测试单元为电压表，用于测试马达运行时的电压值，并反馈至主控单元。
[0020] 本发明的技术内容及技术特征已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基 于本发明的教示及揭示而作种种不背离本发明精神的替换及修饰，因此，本发明保护范围 应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本发明的替换及修饰，并为本专利申 请权利要求所涵盖。
【权利要求】
1. 一种多功能电参数测试设备，其特征在于：包括主控单元，复数按钮，电源单元，电 机驱动单元，电流测试单元，电压测试单元及复数马达，所述复数按钮，电源单元，电机驱动 单元连接主控单元，所述马达连接所述电机驱动单元，所述电流测试单元及电压测试单元 连接所述马达及主控单元，所述按钮向所述主控单元发送控制信号，同时由电机驱动单元 驱动马达工作，所述电流测试单元及电压测试单元测试马达转动时的电流量及电压量，同 时反馈至主控单元。
2. 根据权利要求1所述的多功能电参数测试设备，其特征在于：所述主控单元采用八 位单片机。
3. 根据权利要求1所述的多功能电参数测试设备，其特征在于：所述电流测试单元为 电流表。
4. 根据权利要求1所述的多功能电参数测试设备，其特征在于：所述电压测试单元为 电压表。
5. 根据权利要求1所述的多功能电参数测试设备，其特征在于：所述电源单元供电电 压为5V或24V。
6. 根据权利要求1所述的多功能电参数测试设备，其特征在于：还包括与所述主控单 元连接的显示屏，用于显示所述电流测试单元测试的电流值及电压测试单元测试的电压 值。
【文档编号】G01R31/34GK104101835SQ201410327525
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年7月10日 优先权日:2014年7月10日
【发明者】刘亚军, 张友进 申请人:精技电子（南通）有限公司