参考边定向仪的制作方法
【专利摘要】参考边定向仪，包括机台、高压变压器、闪烁探测器、X射线发生器、光闸、联接板、导向柱、卷扬机构。导向柱、卷扬机构布设在机台的上盖板上，卷扬机构包括减速机、连接输入轴上的手轮、连接输出轴上的卷扬轮。两根导向柱之间安装有工作台。联接板上设置有X射线发生器、光闸、顶针及闪烁探测器，联接板通过滑动副装在二根导向柱上。二个导向柱的上端上梁、联接板均固有导向轮，导向轮上绕置有钢丝绳，其一端连接卷扬轮，其另一端连接在上梁上，X射线发生器产生X射线，经工作台上的蓝宝石晶棒材料反射后被闪烁探测器接收，使蓝宝石晶棒柱面的参考边（A向）加工及蓝宝石晶棒粘结定向。本实用新型自动化程度高、使用方便、测试精度高。
【专利说明】参考边定向仪
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及X射线检测装置，用于蓝宝石晶棒材料的X射线参考边柱面定向， 特别是涉及蓝宝石大直径晶体参考边测量粘料用定向仪。
【背景技术】
[0002] 生长出来的蓝宝石晶棒在加工出各种规格晶片前，先要将晶棒柱面加工出参考边 (A向），并按测定角度值将晶棒粘结在料板上，进行蓝宝石晶棒粘接，相配套的蓝宝石晶棒 柱面参考边定向仪，用来进行蓝宝石晶棒柱面的参考边(A向)加工，进行蓝宝石晶棒粘结定 向，晶棒柱面参考边粘结定向精度的高低，直接影响晶体切片质量好坏和经济效益。传统的 蓝宝石晶棒柱面参考边(A向)粘结定向采用通用型的X射线定向仪，精度不能保证，其原因 在于晶棒面的X射线反射能力非常弱，其测角精度只能在±45" - ±1'之间，利用精度仅 为±15"，更难以保证蓝宝石晶棒柱面的参考边(A向）的粘结定向精度，粘结后精度通常 也只能达到土P左右，严重影响了蓝宝石晶棒的切片精度，导致蓝宝石晶体切片制品的不 合格品比例很大，满足不了生产蓝宝石晶体切片制品精度日益提高的需要。 实用新型内容
[0003] 本实用新型要解决的技术问题是，提供一种专用于蓝宝石晶棒材料的X射线参考 边柱面定向，以及蓝宝石大直径晶体参考边测量粘料用，自动化程度高、使用方便、测试精 度高的蓝宝石晶棒材料的X射线参考边定向仪。
[0004] 采用的技术方案是：
[0005] 参考边定向仪，包括机台、设在机台下面的高压变压器、固定在机台顶端的上盖 板、固定在上盖板上的防护罩、闪烁探测器、X射线发生器、光闸、联接板、控制箱、工作台、导 向柱、卷扬机构。所述的导向柱、卷扬机构及控制箱布设在位于防护罩内的上盖板上，卷扬 机构包括减速机、连接在减速机输入轴上的手轮、连接在减速机输出轴上的卷扬轮。导向柱 为两根，两根导向柱与上盖板固定，两根导向柱之间安装有工作台。所述联接板上设置有X 射线发生器、光闸、顶针及闪烁探测器，联接板通过滑动副装设在二根导向柱上。二个导向 柱的上端固定有上梁，上梁上固定有第一导向轮和第二导向轮，联接板上固定有第三导向 轮，第一、第二、第三导向轮上绕置有钢丝绳，钢丝绳的一端连接减速机输出轴上的卷扬轮， 其另一端连接在上梁上。旋转手轮带动卷扬轮，通过钢丝绳、第一导向轮、第二导向轮、第三 导向轮，实现联接板沿两根导向柱升降。待定向的蓝宝石晶棒及夹具放置在两根导向柱间 工作台上，高压变压器产生的高压使X射线发生器产生X射线，经蓝宝石晶棒材料反射后的 X射线反射光线被闪烁探测器接收，通过控制箱上的微安表确定晶体峰值，进行蓝宝石晶棒 柱面参考边（A向）定向，便于进一步进行蓝宝石晶棒柱面的参考边（A向）加工及蓝宝石晶 棒粘结定向。
[0006] 本实用新型与现有技术相比具有以下优点：
[0007] 1、结构简单、使用方便、定向测量精度高，解决了原定向仪定向精度不高的问题。
[0008] 2、采用射线管与高压电缆一体化技术，解决了高压电缆与射线管接触不良，或接 点焊连，或高压电缆易击穿等老式定向仪长期存在的问题。
[0009] 3、专用于蓝宝石晶棒材料的X射线参考边柱面定向，特别适用于蓝宝石大直径晶 体参考边测量粘料用定向仪，定向蓝宝石晶棒直径最大可达12吋（300_)。
[0010] 4、本仪器电气控制装置为设定X光管电流大小，通过电器部分信号放大器将闪烁 探测器接收的微弱X射线进行信号放大，利用微安表显示晶体峰值，提高了晶体的测量定 向精度。
【专利附图】
【附图说明】
[0011] 图1是本实用新型的结构示意图。
[0012] 图2是图1的左视图。
【具体实施方式】
[0013] 参考边定向仪，包括机台2、设在机台下面的高压变压器1、固定在机台顶端的上 盖板3、固定在上盖板上的防护罩17、闪烁探测器4、X射线发生器5、光闸6、联接板7、控制 箱11、工作台15、导向柱18、卷扬机构。所述的导向柱18、卷扬机构及控制箱11布设在位 于防护罩17内的上盖板3上，卷扬机构包括减速机14、连接在减速机输入轴上的手轮13、 连接在减速机输出轴上的卷扬轮12。导向柱18为两根，两根导向柱与上盖板3固定，两根 导向柱18之间安装有工作台15。所述联接板7上设置有X射线发生器5、光闸6、顶针16 及闪烁探测器4,联接板7通过滑动副装设在二根导向柱18上。二个导向柱18的上端固 定有上梁8,上梁8上固定有第一导向轮10和第二导向轮19,联接板7上固定有第三导向 轮20,第一、第二、第三导向轮上绕置有钢丝绳9,钢丝绳9的一端连接减速机14输出轴上 的卷扬轮12,其另一端连接在上梁8上。旋转手轮13带动卷扬轮12,通过钢丝绳9、第一导 向轮10、第二导向轮19、第三导向轮20,实现联接板7沿两根导向柱18升降。待定向的蓝 宝石晶棒及夹具放置在两根导向柱间工作台15上，高压变压器1产生的高压使X射线发生 器5产生X射线，经蓝宝石晶棒材料反射后的X射线反射光线被闪烁探测器4接收，通过控 制箱11上的微安表确定晶体峰值，进行蓝宝石晶棒柱面参考边(A向）定向，便于进一步进 行蓝宝石晶棒柱面的参考边(A向）加工及蓝宝石晶棒粘结定向，构成参考边定向仪。
【权利要求】
1.参考边定向仪，包括机台（2)、设在机台下面的高压变压器（1)、固定在机台顶端的 上盖板（3)、固定在上盖板上的防护罩（17)、闪烁探测器（4)、X射线发生器（5)、光闸（6)、 联接板（7)、控制箱（11)、工作台（15)、导向柱（18)、卷扬机构，其特征在于所述的导向柱 (18)、卷扬机构及控制箱（11)布设在位于防护罩（17)内的上盖板（3)上，卷扬机构包括 减速机（14)、连接在减速机输入轴上的手轮（13)、连接在减速机输出轴上的卷扬轮（12); 导向柱（18)为两根，两根导向柱与上盖板⑶固定，两根导向柱（18)之间安装有工作台 (15)，联接板（7)上设置有X射线发生器（5)、光闸（6)、顶针（16)及闪烁探测器（4)，联接 板（7)通过滑动副装设在二根导向柱（18)上，二个导向柱（18)的上端固定有上梁（8)， 上梁（8)上固定有第一导向轮（10)和第二导向轮（19)，联接板（7)上固定有第三导向轮 (20)，第一、第二、第三导向轮上绕置有钢丝绳（9)，钢丝绳（9)的一端连接减速机（14)输出 轴上的卷扬轮（12)，其另一端连接在上梁（8)上；旋转手轮（13)带动卷扬轮（12)，通过钢 丝绳（9)、第一导向轮（10)、第二导向轮（19)、第三导向轮（20)，实现联接板（7)沿两根导 向柱（18)升降，待定向的蓝宝石晶棒及夹具放置在两根导向柱间工作台（15)上，高压变压 器（1)产生的高压使X射线发生器（5)产生X射线，经蓝宝石晶棒材料反射后的X射线反 射光线被闪烁探测器（4)接收，通过控制箱（11)上的微安表确定晶体峰值，进行蓝宝石晶 棒柱面参考边A向定向，便于进一步进行监宝石晶棒柱面的参考边A向加工及监宝石晶棒 粘结定向。
【文档编号】G01N23/20GK203838085SQ201420188176
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年4月18日 优先权日:2014年4月18日
【发明者】甄伟, 赵松彬 申请人:丹东新东方晶体仪器有限公司