一种波纹管实际寿命检测工装的制作方法

本发明涉及一种检测装置，尤其是一种波纹管实际寿命检测工装，属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域。

背景技术：

波纹管式机械密封的应用范围很广，从低温到高温，从中性介质到腐蚀性介质，从低速到高速，从普通到苛刻的工作条件都可选用。所有这些可通过变更波纹管的几何形状(如内外径、波片厚度和波数等)与材料弹性模量，改变波纹管的弹率。根据介质的腐蚀性能，选用不同的波纹管材料等。

在现有的半导体镀膜设备中，波纹管处于一个关键的部位，且环境温度较高，内部处于真空状态。同时，波纹管始终处于上下运动状态，且内部还有腐蚀介质存在。使用过程中，因为外力或高温的作用，会导致波纹管变形或破裂。波纹管的寿命期限是个很关键的指标，它直接影响机台的正常运行。

技术实现要素：

针对上述现有技术的不足，本发明提供了一种一种波纹管实际寿命检测工装。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种波纹管实际寿命检测工装，包括上盖板(4)、腔体(42)、加热器组件及过渡法 兰(36)。上盖板(4)设置在腔体(42)的上端。加热器组件及过渡法兰(36)固定在腔体(42)的下端。加热盘组件包括安装基座(14)、气缸(21)、万向活节(22)、直线滑轨(15)、滑块(16)、加热盘连接件(30)、波纹管(34)和加热盘(3)。厂务端的泵管路连接到过渡法兰(36)的下端法兰(35)上。直线滑轨(15)固定在安装基座(14)上。滑块(16)在直线滑轨(15)上滑动。气缸(21)固定在安装基座(14)的下端。气缸(21)与加热盘连接件(30)连接在一起。加热盘连接件(30)的侧面与滑块(16)固定连接。加热盘(3)上端插入到腔体(42)内，下端与加热盘连接件(30)连接。波纹管(34)上端固定在腔体(42)上，下端固定在加热盘连接件(30)上。加热盘(3)穿过波纹管(34)。

优选的，所述上盖板(4)与腔体(42)之间有胶圈密封。

优选的，安装基座(14)上设有加强筋(17)。

优选的，在加热盘连接件(30)上设有水道(29)。

本发明结构简单，通过模拟机台的实际使用情况，来测试波纹管真正的使用寿命是否符合设备的需求。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是图1的A-A剖视图。

图3是本发明去掉上盖板后的俯视图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方 案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-图3所示：一种波纹管实际寿命检测工装，由上盖板4、腔体42、加热器组件及过渡法兰36组成。加热盘组件包括安装基座14、气缸21、万向活节22、直线滑轨15、滑块16、加热盘连接件30、波纹管34、加热器3几部分。过渡法兰36使用时，通过在上端法兰37上的胶圈安装槽38内放置胶圈，实现过渡法兰36上端法兰面39与腔体下表面12的密封。厂务端的泵管路会连接到过渡法兰36的下端法兰35上。其中，上盖板4与腔体42之间有胶圈密封，上盖板下表面7要求一定的加工精度，保证密封性。加热盘组件的安装基座14基本为T型机加结构，其正面18有多个螺纹孔，用于直线滑轨15的固定安装，滑轨上面安装有两个滑块16。背面有两个加强筋17，用于加强作用，防止其自身的形变。上端面13为固定面，带有两个定位销及四个通孔，用于与腔体下表面12之间的定位固定。下端板19上中心上设有一大的通孔和四个小的通孔，气缸21的安装固定在下端板的下表面20上。气缸21通过万向活节22与加热盘连接件30连接在一起。加热盘连接件30也为T型机加结构，其基准立面上设有定位销及安装固定孔，用于与直线滑轨15上面的两个滑块16的连接固定。该立面的下端部23，设有用于与万向活节22连接的螺纹孔24。其垂直水平基准面26上设有加热盘安装固定孔、加热盘 TC及电源线出线孔以及加热盘密封胶圈安装槽27。加热盘3通过下部的立柱端面28上设有螺纹孔，用于加热盘3与加热盘连接件30之间的安装固定。当加热盘安装固定到该水平基准面25上后，通过安装在其上面的加热盘密封胶圈来实现二者之间的密封。同时，考虑加热盘密封胶圈的使用寿命，该加热盘连接件30上设有水道29。整个水路通过管路与厂务端冷却水源联通，实现热盘连接件30处的冷却，即实现对加热盘密封胶圈密封性的保证。该波纹管34的结构及尺寸，同现有设备上的波纹管保持完全一致，均由上法兰41、下法兰32及焊接波纹管33组成。上法兰41及下法兰32上带有胶圈安装槽31及螺栓安装固定孔，用于实现跟两端连接件的密封连接，即分别跟腔体42及加热盘连接件30的密封连接。工作时，气缸21带动加热盘连接件30上下运动，连接固定在加热盘连接件30上的加热盘3会同时跟着一起上下运动。运动过程中，波纹管34固定在加热盘连接件30的这端也将随着一起上下运动，从而波纹管34随着加热盘3的上下运动，自身也处于一个压缩、伸展交替循环的状态。在下降的过程中，加热盘3的下表面2不会与腔室的下表面11接触。

在开启加热盘3之前，需要将腔室5内抽真空。将抽真空组件与厂务泵组连接，实现腔室5内的真空度要求。腔体42根据安装及组件的功能设有腔室5，腔室5的外径9大于加热盘的直径。还有加热盘安装孔10、真空抽气孔40、上盖板安装孔44以及加热盘安装基座安装孔、波纹管固定安装孔等，其上表面1还设有与上盖板密封用的胶圈槽6。另外，侧面偏上部还设有上盖板用的限位开关46安装槽 45及安装孔。侧部靠近上表面1处，还对称设有两个大凹槽8。大凹槽8与腔体42及上盖板4的最外表面43有一定的深度，保证有足够的操作空间用于上盖板4的开启。作为简易工装，上盖板4上没有安装把手，其开启是通过大凹槽8作为操作空间，直接把持上盖板4来实现上盖板4的开启、安放和位置调整。测试过程中，需要将上盖板4放好，保证与腔体42的密封。同时腔室内5抽真空，启动加热盘3，升温至所需温度。启动气缸21，设定好测试程序，让整个测试工装自动进行上下往复的运动，直至波纹管34出现破裂、不可压缩等极限状态为止。记录当前状态的气缸21的运动的次数，即为波纹管34的实际使用寿命。