技术特征：
技术总结
本发明属于电化学传感器件制造技术领域，具体为一种低温制备二维柔性离子敏场效应晶体管的方法。本发明中，以柔性材料作为衬底，其上沉积图形化金属层作为背电极，在背电极上生长绝缘氧化层，在绝缘介质层上转移二维半导体薄膜，作为器件的导电沟道；在二维半导体薄膜上形成图形化金属层作为该器件的源、漏区；在沟道区域上方沉积功能层材料。本发明利用微波退火工艺低温处理，一方面改善器件各层之间的界面特性，消除测试中由于界面缺陷造成的迟滞、漂移等现象；另一方面，借助功能层材料对微波的吸收作用，与在二维半导体薄膜界面处形成纳米结构的功能层，可应用于不同场景的传感检测。微波退火工艺具有快速，低热预算，制造周期短，成本低廉等优点。
技术研发人员：曾瑞雪;仇志军;吴东平
受保护的技术使用者：复旦大学
技术研发日：2017.06.13
技术公布日：2017.10.10