一种观察球形二氧化硅微粉颗粒内部微观形貌的方法与流程

文档序号:33952331发布日期:2023-04-26 12:39阅读:61来源:国知局

本发明术语物理检测分析领域,具体涉及一种观察球形二氧化硅微粉颗粒内部微观形貌的方法。


背景技术:

1、球形二氧化硅微粉由于具有高介电性、高耐热、高耐湿、高填充量、低膨胀、低应力、低杂质、低摩擦系数等优越性,在大规模集成电路封装,在航空、航天、精细化工、可擦写光盘,大面积电子基板、特种陶瓷及日用化妆品等高新技术领域等有广泛的应用。球形二氧化硅微粉也是优质的填充材料,在环氧树脂体系中作为填料后,可节约30%的环氧树脂,市场前景十分广阔。随着我国电子信息的快速发展,手机、电脑等越来越多的电子信息产品的产销量开始进入世界前列,带动了我国集成电路市场规模的不断扩大,球形二氧化硅微粉在大规模、超大规模集成电路的基板和封装料中成为不可缺少的优质材料。目前制备球形二氧化硅微粉的方法主要有化学气相法、化学沉淀法、高频等离子法、高温熔融喷射法和溶胶凝胶法等化学制备方法。目前科研工作者在研究熔融球形二氧化硅微粉的制备方法及其球形颗粒的表面形貌研究上投入了很大的精力,但在熔融球形二氧化硅微粉颗粒的内部的微观结构尚未见研究。研究球形二氧化硅微粉的微观结构可以总结出球形二氧化硅微粉的球形机理,可以指导球形二氧化硅微粉生产企业改进生产技术,提高产品质量。


技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种观察球形二氧化硅微粉颗粒内部微观形貌的方法,能方便快捷的观察并分析球形二氧化硅微粉颗粒内部的微观结构。

2、为解决上述问题,本发明所采用的技术方案是:一种观察球形二氧化硅微粉颗粒内部微观形貌的方法,包括以下步骤:

3、在>180℃的温度下熔化树脂。

4、进一步地,在熔化的树脂里面加入适量球形二氧化硅微粉,并搅拌均匀。

5、进一步地,将搅拌均匀的树脂、球形二氧化硅微粉混合物放入直径为10mm、高度为50mm的磨具圆筒中。

6、进一步地,将磨具圆筒放在压样机下在20mp的压力下,将树脂、球形二氧化硅微粉混合物压制成柱状。

7、进一步地,将圆柱从磨具中取出,在抛光机上用1000目的砂片抛光,并在抛光时用水冲洗。

8、进一步地,将抛光后的圆柱在120℃的烘箱内烘干。

9、进一步地,将烘干后的圆柱样品在场发射扫描电镜内观察球形二氧化硅微粉颗粒内部的微观结构。

10、本发明具有如下效果:

11、将球形二氧化硅微粉与树脂混合凝固成柱状,可以固定球形二氧化硅微粉颗粒,便于观察。

12、将柱状样品在抛光机上打磨抛光,可以部分磨掉球形二氧化硅微粉颗粒,展示出其内部,抛光时用水清洗,可以将抛光面清洗干净,便于在场发射扫面电镜下用不同倍数观察。



技术特征:

1.一种观察球形硅微粉颗粒内部微观形貌的方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述的树脂的熔化温度为>180℃,压样机的压力为20mp,抛光砂片为1000目,烘箱的温度为120℃。


技术总结
本发明公开了一种观察球形二氧化硅微粉颗粒内部微观形貌的方法,将适量球形二氧化硅微粉放入熔化的树脂里面,放入磨具圆筒中,将磨具圆筒放在压样机里将混合物压制成柱状,将柱状样品取出后在抛光机上用抛光砂片进行抛光,抛光时用水冲洗,抛光好的样品放入烘箱内烘干,将烘干后的样品在场发射扫描电镜内观察其抛光面,可以清晰的观察到球形二氧化硅微粉颗粒内部的微光结构。

技术研发人员:李建德,徐艳艳,赵秀芳,蒋丽微,张鹏,舒敏娣,丰丹丹,张誉文,许帆,高丽荣,胡静
受保护的技术使用者:国家硅材料深加工产品质量监督检验中心东海研究院
技术研发日:
技术公布日:2024/1/11
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