聚四氟乙烯膜在气体传感器中的应用、气体传感器用金属管帽、二氧化氮传感器

文档序号:28500604发布日期:2022-01-15 04:49阅读:404来源:国知局

1.本发明涉及气体传感器技术领域,具体涉及聚四氟乙烯膜在气体传感器中的应用、气体传感器用金属管帽、二氧化氮传感器。


背景技术:

2.氧化铟是一种半导体功能材料,由于其禁带宽度较大、电阻率较小、导电性好、热稳定性强以及易构筑微观形貌等优点被广泛用于传感器元件的材料,具体如作为传感器的气敏材料层,常用于检测环境中有毒有害气体。然而,现有的氧化铟半导体材料作为气敏传感材料的二氧化氮传感器在检测过程中存在受环境湿度影响特别明显,稳定性较差。


技术实现要素:

3.有鉴于此,本发明的目的在于提供聚四氟乙烯膜在气体传感器中的应用、气体传感器用金属管帽、二氧化氮传感器。本发明提供的封装有聚四氟乙烯膜后的二氧化氮传感器在相对湿度为20~90%下抗湿性能和稳定性优异。
4.为了实现上述发明目的,本发明提供以下技术方案:
5.本发明提供了聚四氟乙烯膜在气体传感器中的应用。
6.优选的,所述气体传感器包括二氧化氮传感器。
7.本发明提供了一种气体传感器用金属管帽,包括金属卡圈21、金属网罩22和位于所述金属网罩外壁的聚四氟乙烯膜23;所述金属卡圈21固定所述金属网罩22的边缘。
8.优选的,所述聚四氟乙烯膜23的厚度为20~60μm。
9.本发明提供了一种二氧化氮传感器,包括金属管帽和传感基座,所述金属管帽为上述技术方案所述的气体传感器用金属管帽2,所述传感基座1固定所述金属管帽2的边缘;
10.所述传感基座1包括传感主体11,所述传感主体11包括绝缘管112,环绕在所述绝缘管112外表面的第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132,覆盖所述绝缘管112、第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132的气敏材料层111,以及穿过所述绝缘管112内腔的合金加热线圈114;
11.所述气敏材料层111的材质为花状氧化铟。
12.优选的,所述气敏材料层111的厚度为0.3~1mm。
13.优选的,所述第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132连接有贵金属导线14。
14.优选的,所述传感基座1还包括与所述传感主体11电连接的胶木管座12和贯穿所述胶木管座12的六根金属插针13;
15.所述六根金属插针13中的两根金属插针与所述合金加热线圈114的两端电连接,另外两根金属插针与所述第一环形贵金属电极1131电连接,剩余两根金属插针与所述第二环形贵金属电极1132电连接。
16.优选的,所述花状氧化铟的制备方法,包括以下步骤:
17.将水溶性铟盐、沉淀剂、表面活性剂和水混合,进行水热反应,得到前驱体;
18.将所述前驱体进行煅烧,得到花状氧化铟。
19.优选的,所述表面活性剂为有机酸盐类表面活性剂;
20.所述水溶性铟盐、沉淀剂和表面活性剂的摩尔比为1:6~10:2~4;
21.所述水热反应的温度为100~140℃,时间为8~12h;
22.所述煅烧的温度为300~500℃,时间为2~3h。
23.本发明提供了聚四氟乙烯膜在气体传感器中的应用。本发明在传统气体传感器的金属管帽的外表面覆盖聚四氟乙烯膜,在相对湿度为20~90%下气体传感器的抗湿性能和稳定性优异。本发明首次将聚四氟乙烯膜用于气体传感器的组成部分,为提高对湿度较敏感的半导体金属氧化物传感器得抗湿性能提供了新思路。
24.本发明提供了一种气体传感器用金属管帽,包括金属卡圈21、金属网罩22和位于所述金属网罩外壁的聚四氟乙烯膜23;所述金属卡圈21固定所述金属网罩22的边缘。本发明在传统的气体氮传感器上设置聚四氟乙烯膜,并以金属网罩作为聚四氟乙烯膜的支撑部位,能够将可塑性差的聚四氟乙烯膜很好地封装在气体传感器的金属管帽表面,使得气体传感器能够阻挡水蒸气与气敏材料层接触,显著提高了对湿度敏感的气体传感器的抗湿性能和稳定性。
25.本发明提供了一种二氧化氮传感器,包括金属管帽和传感基座,所述金属管帽为上述技术方案所述的气体传感器用金属管帽2,所述传感基座1固定所述金属管帽2的边缘;所述传感基座1包括传感主体11,所述传感主体11包括绝缘管112,环绕在所述绝缘管外表面的第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132,覆盖所述绝缘管112、第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132的气敏材料层111,以及穿过所述绝缘管112内腔的合金加热线圈114;所述气敏材料层111的材质为花状氧化铟。现有技术中公开的二氧化氮传感器的稳定性差主要是因为高湿度使得水分子优先吸附在o
2-吸附位点上,减少了吸附氧的量和改变吸附物种,导致在材料表面吸附过多水分子引起中毒,明显降低电阻和传感器响应。本发明以花状氧化铟作为气敏材料层,当传感器材料暴露于no2时,no2吸附到半导体材料表面形成no
2-,并从导带夺取电子,导致材料的电阻会增大从而实现对二氧化氮气体的传感性能。而且在传统的二氧化氮传感器上设置聚四氟乙烯膜,并以金属网罩作为聚四氟乙烯膜的支撑部位,能够将可塑性差的聚四氟乙烯膜很好地封装在气体传感器的金属管帽表面,使得二氧化氮传感器能够阻挡水蒸气与气敏材料层接触,显著提高了二氧化氮传感器的抗湿性能和稳定性。
附图说明
26.图1为气体传感器用金属管帽示意图,其中,21为金属卡圈,22为金属网罩,23为聚四氟乙烯膜;
27.图2为二氧化氮传感器的结构示意图;
28.图3为二氧化氮传感器的结构示意图;
29.图2~图3中,1为传感基座,11为传感主体,111为气敏材料层,112为绝缘管,1131为第一环形贵金属电极,1132为第二环形贵金属电极,114为合金加热线圈,12为胶木管座,
13为金属插针,131为第一金属插针,132为第二金属插针,133为第三金属插针,134为第四金属插针,135为第五金属插针,136为第六金属插针,14为贵金属导线;2为气体传感器用金属管帽,21为金属卡圈,22为金属网罩,23为聚四氟乙烯膜;
30.图4为实施例1制备的花状氧化铟的sem图;
31.图5为聚四氟乙烯膜的sem图;
32.图6为聚四氟乙烯膜的接触角图;
33.图7为实施例1和对比例1制备的二氧化氮传感器对二氧化氮气体的不同温度下的气敏性能测试结果;
34.图8为实施例1和对比例1制备的二氧化氮传感器在不同湿度下对二氧化氮气体的气敏性能测试结果;
35.图9为实施例1和对比例1制备的二氧化氮传感器对不同浓度得二氧化氮气体的气敏性能测试结果;
36.图10为实施例1制备的二氧化氮传感器对二氧化氮气体的稳定性测试结果;
37.图11为实施例1和对比例1制备的二氧化氮传感器对不同气体的选择性检测结果。
具体实施方式
38.本发明提供了聚四氟乙烯膜在气体传感器中的应用。在本发明中,所述气体传感器优选包括二氧化氮传感器。
39.下面结合图1对气体传感器用金属管帽进行详细说明。
40.本发明提供了一种气体传感器用金属管帽,包括金属卡圈21、金属网罩22和位于所述金属网罩外壁的聚四氟乙烯膜23;所述金属卡圈21固定所述金属网罩22的边缘。本发明对于所述金属卡圈21的材质没有特殊限定,采用本领域技术人员熟知的金属单质或金属合金即可,具体如不锈钢、铁或铝合金。本发明对于所述金属网罩22的材质没有特殊限定,采用本领域技术人员熟知的金属单质或金属合金即可,具体如不锈钢、铁或铝合金。在本发明中,所述聚四氟乙烯膜23的厚度优选为20~60μm,更优选为20~40μm;本发明对于聚四氟乙烯膜的来源没有特殊限定,采用本领域技术人员熟知的市售聚四氟乙烯膜即可;在本发明的实施例中,所述聚四氟乙烯膜优选购买于迈博瑞生物膜技术有限公司。
41.下面结合图2~3对二氧化氮传感器进行详细说明。
42.本发明提供了一种二氧化氮传感器,包括金属管帽和传感基座,所述金属管帽为上述技术方案所述的气体传感器用金属管帽2;所述传感基座1固定所述金属管帽2的边缘;
43.所述传感基座1包括传感主体11,所述传感主体11包括绝缘管112,环绕在所述绝缘管112外表面的第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132,覆盖所述绝缘管112、第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132的气敏材料层111,以及穿过所述绝缘管112内腔的合金加热线圈114;
44.所述气敏材料层111的材质为花状氧化铟。
45.在本发明中,所述传感主体11包括绝缘管112。在本发明中,所述绝缘管112的材质优选包括陶瓷、氧化硅或玻璃;所述绝缘管的内径优选为0.5~1.5mm,更优选为0.8~1mm;所述绝缘管的外径优选为1~1.5mm,更优选为1.2~1.4mm;所述绝缘管的长度优选为2.5~4.5mm,更优选为3~4mm。
46.在本发明中,所述传感主体11包括环绕在所述绝缘管112外表面的第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132。在本发明中,所述第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132的宽度独立地优选为0.4~0.7mm,更优选为0.4~0.6mm;所述第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132的间距优选为1.5~2mm,更优选为1.7~1.9mm;所述第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132的材质独立地优选包括金、钯或铂,更优选为金。
47.在本发明中,所述第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132优选连接有贵金属导线14;所述贵金属导线14的材质优选包括铂、钯或金;所述贵金属导线14的长度优选为4~7mm,更优选为4~6mm。
48.在本发明中,所述传感主体11包括覆盖所述绝缘管112、第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132的气敏材料层111。在本发明中,所述气敏材料层的厚度优选为0.3~1mm,更优选为0.4~0.7mm。
49.在本发明中,所述花状氧化铟的制备方法,优选包括以下步骤:
50.将水溶性铟盐、沉淀剂、表面活性剂和水混合,进行水热反应,得到前驱体;
51.将所述前驱体进行煅烧,得到花状氧化铟。
52.在本发明中,若无特殊说明,所有的原料组分均为本领域技术人员熟知的市售商品。
53.本发明将水溶性铟盐、沉淀剂、表面活性剂和水混合,进行水热反应,得到前驱体。
54.在本发明中,所述水溶性铟盐优选包括氯化铟(incl3·
4h2o)和/或硝酸铟(in(no3)3·
4h2o)。在本发明中,所述沉淀剂优选包括尿素、六亚甲基四胺(c6h
12
n4)和丁二胺(c4h
12
n2)中的一种或几种。在本发明中,所述表面活性剂优选包括十二烷基硫酸钠和/或柠檬酸三钠。在本发明中,所述水溶性铟盐、沉淀剂和表面活性剂的摩尔比优选为1:6~10:2~4,更优选为1:8~10:2.5~3.5,进一步优选为1:10:3。在本发明中,所述水溶性铟盐的物质的量和水的体积之比优选为1mmol:40~60ml,更优选为1mmol:45~55ml,进一步优选为1mmol:50ml。在本发明中,所述混合的方式优选为搅拌混合,本发明对于所述搅拌混合的速度没有特殊限定,能够将原料混合均匀即可;所述混合的温度优选为室温。
55.在本发明中,所述水热反应的温度优选为100~140℃,更优选为110~130℃,进一步优选为120℃;所述水热反应的时间优选为8~12h,更优选为9~11h,进一步优选为10h;所述水热反应优选在反应釜中进行。在本发明中,所述水热反应过程中发生的反应如式(1)~(2)所示,沉淀剂的作用是调节溶液酸碱平衡,使溶液保持中性或者弱碱性,反应掉h
+
,有利于式(1)反应正向进行:
56.in
3+
+3h2o

in(oh)3+3h
+
ꢀꢀꢀ
式(1)
57.in(oh)3→
inooh+h2o
ꢀꢀꢀ
式(2)。
58.所述水热反应后,本发明优选还包括后处理,所述后处理包括:将所述水热反应得到的反应液冷却至室温,第一固液分离,将所得固体产物依次进行水洗、醇洗、第二固液分离和干燥,得到前驱体。本发明对于所述冷却的方式没有特殊限定,采用本领域技术人员熟知的冷却方式即可,具体如自然冷却。本发明对于所述第一固液分离和第二固液分离的方式没有特殊限定,采用本领域技术人员熟知的固液分离方式即可,具体如离心分离;所述离心分离的速度优选为6000~9500rpm,更优选为7000~8000rpm;所述离心分离的时间优选
为5~15min,更优选为10min。在本发明中,所述水洗的次数优选为2~4次,更优选为3次。在本发明中,所述醇洗用醇优选包括乙醇或甲醇;所述醇洗的次数优选为2~4次,更优选为3次。在本发明中,所述干燥的温度优选为60~80℃,更优选70℃,所述干燥的时间优选为6~12h,更优选为8~10h。
59.得到前驱体后,本发明将所述前驱体进行煅烧,得到花状氧化铟。
60.在本发明中,所述煅烧的温度为300~500℃,更优选为350~450℃,进一步优选为400℃;由室温升温至所述煅烧的温度的升温速率优选为2~10℃/min,更优选为5℃/min;以温度升温至所述煅烧的温度开始计时,所述煅烧的时间优选为2~3h,更优选为2.2~2.8h,进一步优选为2.5h;所述煅烧的气氛优选为空气。在本发明中,所述煅烧过程中发生的反应如式(3)所示:
61.2inooh

in2o3+h2o
ꢀꢀꢀ
式(3)。
62.所述煅烧后,本发明优选还包括将所述煅烧得到的反产物冷却至室温,得到花状氧化铟。本发明对于所述冷却的方式没有特殊限定,采用本领域技术人员熟知的冷却方式即可,具体如自然冷却。
63.在本发明中,所述传感主体11包括穿过所述绝缘管112内腔的合金加热线圈114。在本发明中,所述合金加热线圈优选包括镍镉(nicr)加热线圈或铁镍铝加热线圈;所述合金加热线圈的匝数优选为40~50匝,更优选为40~45匝。
64.在本发明中,所述传感基座1优选还包括与所述传感主体11电连接的胶木管座12和贯穿所述胶木管座12的六根金属插针13;所述六根金属插针中的两根金属插针与所述合金加热线圈114的两端电连接,另外两根金属插针与所述第一环形贵金属电极1131电连接,剩余两根金属插针与所述第二环形贵金属电极1132电连接。在本发明中,所述电连接优选通过贵金属导线14连接,所述贵金属导线连接优选为利用电焊将贵金属导线进行焊接;所述贵金属导线的材质优选包括铂、钯或金。在本发明的实施例中,所述6根金属插针13编号为第一金属插针131、第二金属插针132、第三金属插针133、第四金属插针134、第五金属插针135和第六金属插针136;在本发明的实施例中,所述第一金属插针131和第二金属插针132优选与所述合金加热线圈114的两端电连接;所述第三金属插针133和第四金属插针134与所述第一环形贵金属电极1131电连接;所述第五金属插针135和第六金属插针136优选与所述第二环形贵金属电极1132电连接。
65.本发明提供了上述技术方案所述二氧化氮传感器的制备方法,优选包括以下步骤:
66.将花状氧化铟与稀释剂混合,将得到的浆料涂覆在绝缘管的外表面后老化,得到传感主体;所述绝缘管112的外表面环绕有第一环形贵金属电极1131和第二环形贵金属电极1132,合金加热线圈114穿过所述绝缘管112的内腔内;
67.将所述传感主体与上述技术方案所述的气体传感器用金属管帽封闭,得到二氧化氮传感器。
68.本发明将花状氧化铟与稀释剂混合,将得到的浆料涂覆在绝缘管的外表面后老化,得到传感主体。在本发明中,所述稀释剂优选包括醇和/或水,所述醇优选包括乙醇、甲醇、丙醇和异丙醇中得一种或几种;所述水优选为蒸馏水和/或去离子水。在本发明中,所述混合的方式优选为研磨,本发明对于所述研磨的方式没有特殊限定,能够将花状氧化铟均
匀分散于稀释剂中即可。在本发明中,所述浆料的固含量优选为0.02~0.04wt%,更优选为0.0211~0.0338wt%,进一步优选为0.0253~0.03wt%。本发明对于所述涂覆的方式没有特殊限定,采用本领域技术人员熟知的涂覆方式即可。所述涂覆后,本发明优选还包括将所述涂覆得到的气敏材料进行干燥,所述干燥的方式优选为晾干。在本发明中,所述老化的温度优选为100~300℃,更优选为150~250℃,进一步优选为200℃;所述老化的时间优选为12~36h,更优选为15~30h,进一步优选为20~25h;所述老化优选在马弗炉中进行;本发明在上述条件下进行老化能够提高二氧化氮传感器的稳定性以及使用寿命。
69.得到传感主体后,本发明将所述传感主体与上述技术方案所述的气体传感器用金属管帽封闭,得到二氧化氮传感器。在本发明中,所述封闭优选利用封端剂进行,所述封端剂优选包括硅橡胶、环氧树脂胶和聚氨酯胶中的一种或几种。
70.所述封闭后,本发明优选还包括将所述传感主体与传感基座电连接,得到二氧化氮传感器。在本发明中,所述电连接优选为利用电焊将六根金属插针中的两根与合金加热线圈的两端焊接,另外两根与第一环形贵金属电极1131焊接,剩余两根与第二环形贵金属电极1132焊接。
71.本发明优选在二氧化氮传感器中插入测试板后再进行二氧化氮气敏性测试,所述测试板插入电阻式传感器测试仪的电路卡槽中,选择负载电阻卡插入相应的电路卡槽中,然后对二氧化氮传感器的气敏性能进行测试;所述电阻式传感器测试仪优选为中国河南郑州炜盛电子有限公司设计生产的ws-30a型电阻式传感器测试仪。
72.在本发明中,所述二氧化氮传感器的工作原理优选为:利用no2与花状氧化铟表面接触时产生的电导率等物性的变化来检测no2气体。当传感器器件被加热到稳定状态下,no2在材料表面吸附,并从氧化铟的导带获取电子而形成负离子吸附。由于花状氧化铟是典型的n型半导体材料,当氧化性气体no2吸附到n型半导体上载流子减少,从而使电阻增大。定义响应值为rg/ra,rg为传感器在二氧化氮气体中的电阻,ra为传感器在空气中的电阻。
73.下面将结合本发明中的实施例,对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
74.实施例1
75.将1mmol氯化铟(incl3·
4h2o)、10mmol尿素和2mmol的十二烷基硫酸钠(sds)置于60ml蒸馏水中在室温条件下混合1h,转移至100ml反应釜中,在120℃条件下水热反应10h,冷却至室温,离心分离,将所得固体产物去离子水洗涤3次,无水乙醇洗涤3次,在9000rpm条件下离心分离10min,将固体产物在60℃真空干燥箱中干燥6h,得到前驱体。将所述前驱体置于管式炉中,以5℃/min的升温速率升温至400℃后在空气气氛下保温煅烧2h,自然冷却至室温,得到花状氧化铟。
76.将聚四氟乙烯膜23(购买于迈博瑞生物膜技术有限公司生产,厚度为20μm)剪裁后紧贴覆盖于金属网罩22的外壁,用金属卡圈21固定金属网罩22的边缘,得到气体传感器用金属管帽2;
77.将所述花状氧化铟与0.15ml乙醇研磨均匀,将所得浆料涂覆在陶瓷管111(长度
×
直径,3mm
×
l mm)的外表面,静置晾干,将所得陶瓷管放入马弗炉中,在300℃老化,得到传
感主体11,其中,花状氧化铟层的厚度为0.5mm;所述绝缘管11的外表面环绕有第一环形金电极1131和第二环形金电极1132以及穿过所述绝缘管112内腔的nicr加热线圈114;用电焊将第一金属插针131和第二金属插针132与nicr加热线圈114的两端通过铂丝焊接,用电焊将第三金属插针133和第四金属插针134与第一环形金电极1131通过铂丝焊接;用电焊将第五金属插针135和第六金属插针136优选与所述环形金电极1132通过铂丝焊接;将用硅橡胶封端剂将气体传感器用金属管帽2和胶木管座12进行封闭,晾干,得到二氧化氮传感器(记为有膜)。
78.对比例1
79.按照实施例1的方法制备二氧化氮传感器,与实施例1的区别在于,金属网罩外壁不覆盖聚四氟乙烯膜,得到二氧化氮传感器(记为无膜)。
80.图4为实施例1制备的花状氧化铟的sem图。由图4可知,本发明制备的氧化铟具有花状结构,尺寸为5~7μm。
81.图5为聚四氟乙烯膜的sem图。由图5可知,ptfe膜表面呈现有规则的纹路且表面褶皱。
82.图6为聚四氟乙烯膜的接触角图。由图6可知,ptfe膜与水的接触角为144
°
,其表面具有疏水性。
83.测试例1
84.在实施例1和对比例1制备的二氧化氮传感器中分别插入测试板,测试板插入中国河南郑州炜盛电子有限公司设计生产的ws-30a型电阻式传感器测试仪的电路卡槽中,将负载电阻卡插入相应的电路卡槽中,测试二氧化氮传感器的气敏性。定义响应值为rg/ra,rg为传感器在二氧化氮气体中的电阻,ra为传感器在空气中的电阻,其中,负载电阻卡调节测试仪器的初始电压至4.3~4.7v,测试结果如5~8所示。
85.图7为实施例1和对比例1制备的二氧化氮传感器在不同温度下对二氧化氮气体的气敏性能测试结果,测试的工作温度范围为50~200℃,相对湿度为80%,二氧化氮浓度为1ppm。由图7可知,实施例1和对比例1制备的二氧化氮传感器的最佳工作温度相同,均为75℃;在相对湿度为80%条件下,实施例1制备的二氧化氮传感器对1ppm二氧化氮响应值为对比例1制备的二氧化氮传感器的6倍左右。
86.图8为实施例1和对比例1制备的二氧化氮传感器在不同湿度条件下对二氧化氮气体的气敏性测试结果,测试温度为75℃,相对湿度为20~90%,二氧化氮浓度为1ppm。由图8可知,随着湿度的增加,实施例1制备的二氧化氮传感器的响应值几乎不受湿度影响,而对比例1制备的二氧化氮传感器在相对湿度为30~90%范围内受湿度影响非常大。
87.图9为实施例1和对比例1制备的二氧化氮传感器对不同浓度的二氧化氮气体的气敏性能测试结果,测试温度为75℃,相对湿度为80%,二氧化氮浓度为0.5~5ppm。由图9可知,实施例1制备的二氧化氮传感器的响应值随着气体浓度的增加而增加,而对比例1制备的二氧化氮传感器则变化不大,说明对比例1制备的二氧化氮传感器受湿度影响较严重使其灵敏度降低,而实施例1制备的二氧化氮传感器不受湿度影响,随着浓度增加呈现出较好的灵敏度。
88.图10为实施例1制备的二氧化氮传感器对二氧化氮气体的稳定性测试结果,测试温度为75℃,相对湿度为80%,二氧化氮浓度为1ppm。由图10可知,在30天内,本发明制备的
二氧化氮传感器对1ppm的二氧化氮的响应值维持在180左右,没有明显下降;说明,本发明制备得二氧化氮传感器具有良好的稳定性。
89.图11为测试温度为75℃、相对湿度为20%条件下,实施例1和对比例1制备的二氧化氮传感器对1ppm二氧化氮、50ppm乙胺、50ppm氨气、50ppm乙醇、100ppm甲醛、50ppm甲醇、500ppm丙酮和50ppm异丁醇测试结果。由图11可知,传感器只对二氧化氮气体有响应,而对50ppm乙胺、50ppm氨气、50ppm乙醇、100ppm甲醛、500ppm丙酮和50ppm异丁醇均无响应。说明,本发明制备得二氧化氮传感器能够实现对二氧化氮选择性检测。
90.以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
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