一种真空镀膜在线方阻检测仪的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜检测仪器领域，具体的说，是涉及一种真空镀膜在线方阻检测仪。


背景技术：

2.柔性导电薄膜(例如ito薄膜)的电学性能可以通过方阻值进行表征，方阻值是指单位方块平面导电体的电阻，由于单位正方形导电体的方阻值与其厚度有关，因此可以通过测定方阻即可推算出该导电薄膜的厚度。
3.区别于普通电阻，目前薄膜电阻用方块电阻表示，方块电阻的测量仪器是专用的四探针电阻表。然而现有的方阻检测仪只能在薄膜制成之后再进行测量，无法做到实时在线检测。因此在薄膜不合要求时再进行“返工”，这样增加了薄膜产品的生产工序，无法做到生产时的在线调整。
4.现在需要一种能够在薄膜生产过程中对其方阻值进行在线检测的设备。


技术实现要素：

5.为了克服现有的技术的不足，本实用新型提供一种真空镀膜在线方阻检测仪。
6.本实用新型技术方案如下所述：
7.一种真空镀膜在线方阻检测仪，包括方阻仪和与所述方阻仪电连接的检测探头，其特征在于，所述检测探头与真空镀膜装置的腔体密封连接，其内部伸入所述真空镀膜装置内部，并与镀膜的膜面接触。
8.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述真空镀膜装置包括墙板，所述墙板上开设有与所述检测探头相匹配的孔洞。
9.根据上述方案的本实用新型，其特征在于，所述检测探头包括导电轴和设于所述导电轴上的四个导轮，所述导轮与所述真空镀膜装置内的膜面接触并随其滚动。
10.进一步的，所述检测探头的端部设有转换插头，所述转换插头与所述真空镀膜装置的腔体密封连接，所述转换插头与所述方阻仪的插头连接。
11.更进一步的，每个所述导轮分别通过对应的导线与所述转换插头连接，所述导线位于所述导电轴内。
12.进一步的，四个所述导轮位于同一所述导电轴上，或四个所述导轮位于不同的所述导电轴上。
13.进一步的，所述检测探头与真空镀膜装置内的过辊配合挤压，使得镀膜从所述过辊与所述导轮之间穿过。
14.进一步的，所述导轮为金属材质。
15.更进一步的，所述导轮为黄铜材质或紫铜材质。
16.根据上述方案的本实用新型，其有益效果在于，本实用新型通过将方阻仪的检测探头伸入真空镀膜装置的内部，实现了薄膜产品膜面的在线检测，解决了传统方式只能在
薄膜制备完成之后才能测量方阻的问题，通过对薄膜方阻的实时检测，可以确保薄膜制作过程中可以随时根据方阻值调整工艺参数，保证产品达到所需效果。
附图说明
17.图1为本实用新型的结构示意图。
18.在图中，1
‑
方阻仪；21
‑
导电轴；22
‑
导轮；23
‑
转换插头；3
‑
墙板。
具体实施方式
19.下面结合附图以及实施方式对本实用新型进行进一步的描述：
20.如图1所示，一种真空镀膜在线方阻检测仪，包括方阻仪1和与方阻仪1电连接的检测探头，检测探头内部伸入真空镀膜装置内部（图中左侧为真空镀膜装置内部，右侧为真空镀膜外部），并与镀膜的膜面接触，实现真空镀膜装置内膜面方阻的实时检测。本实用新型克服了传统方阻仪只能在薄膜制备完成之后才能检测的缺陷，通过对膜面方阻的在线检测，可以根据检测结果实时调整薄膜制备的工艺参数，确保产品达到想要的效果。
21.在本实用新型中，检测探头与真空镀膜装置的腔体密封连接，可以确保真空镀膜装置内部的真空环境，避免漏气。具体的，真空镀膜装置包括墙板3，墙板3上开设有与检测探头相匹配的孔洞（图中未示出，下同），检测探头经由该孔洞伸入真空镀膜装置内部。
22.检测探头的端部设有转换插头23，转换插头23设于孔洞内，并与真空镀膜装置的腔体（即墙板3）密封连接，方阻仪1位于真空镀膜装置的外侧，其插头可以与转换插头3插接。方阻仪1的插头断开后，整个真空镀膜装置整体仍旧为密封状态，使得真空镀膜装置的真空环境不会受到方阻仪1连接与否的影响。
23.在本实用新型中，检测探头包括导电轴21和设于导电轴21上的四个导轮22，四个导轮分别通过对应的导线（图中未示出，下同）与转换插头23连接。优选的，导线内置于导电轴21内，避免导线对镀膜的运行产生影响。
24.该检测探头与真空镀膜装置内的过辊（图中未示出，下同）挤压配合，且镀膜从该过辊与导轮22之间穿过，使得导轮22与真空镀膜装置内的膜面接触，并且随着过辊的转动而滚动，使得在镀膜产品向前移动的过程中，导轮22既能实现与膜面的接触，又不会影响镀膜产品的正常运转。在一个实施例中，四个导轮22均设于同一导电轴21上，该导电轴21的端部与转换插头23连接，四个导轮22的导线分别与转换插头23连接，实现数据传输。在另一个实施例中，四个导轮22位于不同的导电轴21上，四个导轮22的导线分别与转换插头23连接，实现数据传输。
25.在一个实施例中，四个导轮22等间距分布于导电轴21上；在另一个实施例中，四个导轮22可以不等间距的分布于导电轴21上。
26.优选的，导轮22为金属材质。导轮22可以选用黄铜、紫铜等导电性好的金属材料，通过控制导轮22与过辊之间的间距，减少其对镀膜的压力，使其不会对镀膜的形成产生影响。
27.在具体实现过程中，导轮22与运行中的膜面相接触，并测量镀膜数据，该检测数据通过导线传递至转换插头23，再通过转换插头23与方阻仪1的插头之间的引脚连接，将检测结果传递至方阻仪插头，并在方阻仪1中显示检测结果。方阻仪1对于数据的处理以及计算
过程可采用本领域常规算法，此处不再赘述。
28.本实用新型将检测探头伸入真空镀膜装置内部，并通过四个导轮作为四个触点对镀膜数据进行检测，实现镀膜生产过程中在线检测镀膜方阻值，使得镀膜生产过程中根据方阻值结果实时调整电镀数据，其实时性高。并且本实用新型整个检测设备安全、可靠，结构稳定，不易损坏。
29.应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
30.上面结合附图对本实用新型专利进行了示例性的描述，显然本实用新型专利的实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型专利的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进将本实用新型专利的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种真空镀膜在线方阻检测仪，包括方阻仪和与所述方阻仪电连接的检测探头，其特征在于，所述检测探头与真空镀膜装置的腔体密封连接，其内部伸入所述真空镀膜装置内部，并与镀膜的膜面接触。2.根据权利要求1所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述真空镀膜装置包括墙板，所述墙板上开设有与所述检测探头相匹配的孔洞。3.根据权利要求1所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述检测探头包括导电轴和设于所述导电轴上的四个导轮，所述导轮与所述真空镀膜装置内的膜面接触并随其滚动。4.根据权利要求3所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述检测探头的端部设有转换插头，所述转换插头与所述真空镀膜装置的腔体密封连接，所述转换插头与所述方阻仪的插头连接。5.根据权利要求4所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，每个所述导轮分别通过对应的导线与所述转换插头连接，所述导线位于所述导电轴内。6.根据权利要求3所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，四个所述导轮位于同一所述导电轴上，或四个所述导轮位于不同的所述导电轴上。7.根据权利要求3所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述检测探头与真空镀膜装置内的过辊配合挤压，使得镀膜从所述过辊与所述导轮之间穿过。8.根据权利要求3所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述导轮为金属材质。9.根据权利要求8所述的真空镀膜在线方阻检测仪，其特征在于，所述导轮为黄铜材质或紫铜材质。

技术总结
本实用新型公开了真空镀膜检测仪器领域中的一种真空镀膜在线方阻检测仪，包括方阻仪和与方阻仪电连接的检测探头，检测探头与真空镀膜装置的腔体密封连接，其内部伸入真空镀膜装置内部，并与镀膜的膜面接触。本实用新型解决了传统方式只能在薄膜制备完成之后才能测量方阻的问题，通过将方阻仪的检测探头伸入真空镀膜装置的内部，实现了薄膜产品膜面的在线检测，可以确保薄膜制作过程中可以随时根据方阻值调整工艺参数，保证产品达到所需效果。保证产品达到所需效果。保证产品达到所需效果。


技术研发人员：刘文卿 臧世伟
受保护的技术使用者：重庆金美新材料科技有限公司
技术研发日：2021.01.08
技术公布日：2021/9/10