一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台

1.本实用新型涉及一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，属于材料腐蚀产物分析设备领域。


背景技术：

2.腐蚀产物截面分析是材料腐蚀领域的重要分析手段。通过腐蚀产物截面形貌、厚度分析可以确定材料腐蚀的类型，如点腐蚀、局部腐蚀等，还可以判定材料腐蚀的程度。
3.扫描电子显微镜(简称：扫描电镜)是一种用于腐蚀产物层截面形貌和厚度分析的先进电子设备。扫描电镜和能谱仪相结合可以确定各元素在腐蚀产物层中的分布情况，有利于探究材料的腐蚀机理。
4.目前在腐蚀产物层截面分析前需要进行样品制备，一般情况下，被测样品为片状，而现有技术中，扫描电镜样品台的贴样部位为平面结构，在观察被测样品的截面时，片状的被测样品需要以竖直的状态被观察，这样的话不容易固定，所以，片状的被测样品在检测前，需要经过复杂的制样过程，即将腐蚀后的片状金属样品用环氧树脂密封，进行镶样，镶样有利于被测样品的固定；但是，镶样会影响被测样品的截面，不利于观察，所以镶样完成后，再打磨出截面，再使用导电胶将环氧树脂密封的试样黏贴在扫描电镜自带样品台上；被测样品的制备过程繁琐，工作效率慢且样品无法再进行其他检测。现有的一些专门用于截面分析的样品台结构设计复杂，加工制备繁杂。因此，提升检测效率，同时设计制备加工简便的样品台是目前急需解决的技术问题。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，所述样品台结构简单，待测样品分析无需镶样，简化了腐蚀产物层截面试样繁琐的制备过程、解决了分析效率低的问题，使用时便捷高效。
6.为实现本实用新型的目的，提供如下技术方案。
7.一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，所述样品台由样品座和基座组成；
8.其中，样品座由样品座贴样部位、样品座夹取部位以及样品座固定头组成；所述样品座夹取部位位于样品座贴样部位的下方；所述样品座固定头位于样品座夹取部位的下方。
9.所述样品座是一体化结构，即样品座使用时无需将样品座贴样部位、样品座夹取部位以及样品座固定头再进行组装。
10.所述样品座贴样部位具有4个垂直面，以用于黏贴待测试样。
11.优选，所述样品座贴样部位为长方体。
12.所述样品座夹取部位是用于夹取样品座的部位。
13.优选，所述样品座夹取部位为中间带一环形凹槽的圆柱体。
14.所述样品座固定头通过与基座台分布的固定孔配合使用，以将样品座与基座连接。
15.优选，所述样品座固定头的底端为圆锥形。
16.所述基座由基座台和基座固定头组成。
17.所述基座台上分布若干个固定孔，固定孔的设置满足基座台上所有的固定孔可以同时放置样品座。
18.优选，基座台上设置一个中心固定孔，中心固定孔外围设置若干固定孔，外围相邻固定孔间的距离相等，且外围每个固定孔与中心固定孔间距相等。
19.所述固定孔为直径相同的通孔。
20.所述基座固定头位于基座台下方。
21.所述基座固定头用于将本实用新型所述的样品台固定安装于扫描电镜样品仓内。
22.有益效果
23.本实用新型提供的用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，结构简单，由于样品座贴样部位具有垂直面，被测样品可以直接粘贴在垂直面上进行观察分析，无需通过镶样来固定被测样品，所以本实用新型的样品台在观察被测样品截面时，减少了镶样的过程，操作便捷；另外，由于样品座贴样部位具有4个垂直面，所以每个样品座可同时放置多个样品进行分析，提升了扫描电镜对腐蚀产物层截面分析的效率；本实用新型所述样品台的样品座是一体化结构，与现有技术相比，其加工制备比较简单。
附图说明
24.图1为实施例1中样品座的结构示意图。
25.图2为实施例1中基座的结构示意图。
26.图3为实施例1中样品台的结构示意图。
27.其中：1
‑
样品座贴样部位；2
‑
样品座夹取部位；3
‑
样品座固定头；4
‑
固定孔；5
‑
基座台；6
‑
基座固定头。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型的附图和具体实施例对本实用新型的的技术方案进行说明。
29.实施例1
30.如图1至图3所示，本实施例提供了一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，所述样品台由样品座和基座组成。
31.其中，样品座由样品座贴样部位1、样品座夹取部位2以及样品座固定头3 组成；所述样品座夹取部位2位于样品座贴样部位1的下方；所述样品座固定头3位于样品座夹取部位2的下方。
32.所述样品座是一体化结构，即样品座使用时无需将样品座贴样部位1、样品座夹取部位2以及样品座固定头3再进行组装。
33.所述样品座贴样部位1为长方体，该长方体的4个垂直面用于黏贴待测试样。
34.所述样品座夹取部位2为中间带一环形凹槽的圆柱体，用于夹取样品座。
35.所述样品座固定头3的底端为圆锥形，其可以与基座台5分布的固定孔4 配合使用，以将样品座与基座连接。
36.所述基座由基座台5和基座固定头6组成。
37.所述基座台5上分布若干个固定孔4，固定孔4的设置满足基座台5上所有的固定孔可以同时放置样品座。
38.所述固定孔4为直径相同的通孔。
39.固定孔4的分布方式为：在基座台5的中心处设有一个固定孔；以中心处的固定孔为圆心，在其圆周方向上设置若干固定孔；圆周方向上相邻的固定孔之间的距离相等。
40.所述基座固定头6位于基座台5下方。
41.所述基座固定头6用于将本实用新型的样品台固定安装于扫描电镜内。
42.所述样品座和基座的大小能够根据扫描电镜样品仓的大小进行调整。
43.实施例1提供的一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台使用方法：
44.用砂纸打磨出试样表面腐蚀产物的截面，制成测试样品；然后用导电胶将测试样品粘贴在样品座贴样部位1的垂直面上；将样品座插入基座台5中，再通过基座固定头6将载有测试样品的样品台固定安装于扫描电镜样品仓内。由于样品座贴样部位1的垂直面的设置，减少了试样表面腐蚀产物的镶样过程，操作便捷。
45.综上所述，以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，其特征在于：所述样品台由样品座和基座组成；样品座为一体化结构，由样品座贴样部位(1)、样品座夹取部位(2)以及样品座固定头(3)组成；所述样品座夹取部位(2)位于样品座贴样部位(1)的下方；所述样品座固定头(3)位于样品座夹取部位(2)的下方；所述样品座贴样部位(1)具有4个垂直面；所述样品座夹取部位(2)用于夹取样品座的部位；所述基座由基座台(5)和基座固定头(6)组成；所述基座台(5)上分布若干个固定孔(4)，所述样品座固定头(3)通过与固定孔(4)配合使用，将样品座与基座连接；所有的固定孔(4)可以同时放置样品座；所述固定孔(4)为直径相同的通孔；所述基座固定头(6)位于基座台(5)下方，将所述样品台固定安装于扫描电镜样品仓内。2.根据权利要求1所述的一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，其特征在于：所述样品座贴样部位(1)为长方体。3.根据权利要求1所述的一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，其特征在于：所述样品座夹取部位(2)为中间带一环形凹槽的圆柱体。4.根据权利要求1所述的一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，其特征在于：所述样品座固定头(3)的底端为圆锥形。5.根据权利要求1所述的一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，其特征在于：基座台(5)上设置一个中心固定孔(4)，中心固定孔(4)外围设置若干固定孔(4)，外围相邻固定孔(4)间的距离相等，且外围每个固定孔(4)与中心固定孔(4)间距相等。6.根据权利要求1所述的一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，其特征在于：所述样品座贴样部位(1)为长方体；所述样品座夹取部位(2)为中间带一环形凹槽的圆柱体；所述样品座固定头(3)的底端为圆锥形；基座台(5)上设置一个中心固定孔(4)，中心固定孔(4)外围设置若干固定孔(4)，外围相邻固定孔(4)间的距离相等，且外围每个固定孔(4)与中心固定孔(4)间距相等。

技术总结
本实用新型涉及一种用于分析试样表面腐蚀产物截面的扫描电镜样品台，属于材料腐蚀产物分析设备领域。所述样品台由样品座和基座组成；其中，样品座由样品座贴样部位、样品座夹取部位以及样品座固定头组成；所述样品座夹取部位位于样品座贴样部位的下方；所述样品座固定头位于样品座夹取部位的下方；所述基座由基座台和基座固定头组成；所述样品台结构简单，待测样品分析无需镶样，简化了腐蚀产物层截面试样繁琐的制备过程、解决了分析效率低的问题，使用时便捷高效。使用时便捷高效。使用时便捷高效。


技术研发人员：范群波 苑京久 余洪 朱新杰 王朵朵 陈凯 贡海超
受保护的技术使用者：北京理工大学
技术研发日：2021.01.14
技术公布日：2021/11/28