一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台的制作方法

1.本实用新型属于电镜器具领域，尤其涉及一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台。


背景技术：

2.扫描电镜是一种新型的电子光学仪器，它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。扫描电镜已广泛地应用在材料学、医学、冶金学等学科的领域。
3.目前，大多数使用的扫描电镜样品台都只能放置一种相同形状的样品进行观测，当需要同时对多个不同形状的样品进行观测时，就需要更换使用不同的样品台进行观测，导致操作过程麻烦、效率低。


技术实现要素：

4.针对现有技术中存在的只能放置一种相同形状的样品进行观测问题，本实用新型提供一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台。
5.本实用新型是通过以下技术方案来实现：
6.一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，包括底座、样品座和滑轨；样品座和滑轨平行设置在底座上；样品座靠近滑轨一侧设置有阶梯型凹槽；滑轨内滑动设置滑块，滑块上贯穿转动设置螺杆。
7.进一步，阶梯型凹槽从边部至中部水平方向厚度依次递减。
8.进一步，阶梯型凹槽包括固定块卡槽、多个竖槽和螺杆对顶面，且相互平行设置。
9.进一步，阶梯型凹槽两侧为固定块卡槽，中间为多个竖槽，底部为螺杆对顶面。
10.进一步，螺杆通过螺纹通孔与滑块转动连接。
11.进一步，螺杆靠近样品座的一端连接固定块。
12.进一步，固定块与固定块卡槽的尺寸相同。
13.进一步，滑轨为燕尾槽。
14.与现有技术相比，本实用新型具有以下有益的技术效果：
15.本实用新型公开一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，样品座固定在底座上一侧，滑轨在样品座平行设置，滑块与滑轨配合滑动且通过固定装置与样品座定位槽配合固定位置，同时样品座外侧可用于固定薄片状样品，上表面可用于固定粉末样品，其内侧与滑轨、滑块配合可用于固定不规则块状样品，可实现同时承载薄片状、粉末状、不规则块状样品，如不需固定块状样品，固定块和滑块可由滑轨中取出，不影响片状或粉末状样品的使用，提高了样品台的适用范围和效率。
16.进一步，本实用新型阶梯型凹槽，两侧为固定块卡槽，中间为多个竖槽，底部为螺杆对顶面，梯型凹槽从边部至中部水平方向厚度依次递减，形成可承载夹持多种形状和厚度的夹持空间，适用于多种结构夹持，适用性强。
17.进一步，本实用新型的滑轨为燕尾槽，当滑动时，为机械相对运动，运动精度高，稳定，进而提高本装置在使用时的精度。
附图说明
18.图1为本实用新型具体实施例中一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台的示意图。
19.图中：底座1、样品座2、滑轨3、滑块4、螺纹通孔5、螺杆6、固定块7、竖槽8、固定块卡槽9、螺杆对顶面10。
具体实施方式
20.下面结合具体的实施例对本实用新型做进一步的详细说明，所述是对本实用新型的解释而不是限定。
21.本实用新型一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，如图1所示，包括底座1、样品座2和滑轨3；具体的，底座1优选为圆柱结构，同时也可根据实际的情况进行旋转，包括但不限于方体等多种形状；样品座2和滑轨3在底座1上平行设置，形成可以相互受力的结构，可实现对内部空间物品的限位和固定；样品座2靠近滑轨3一侧设置有阶梯型凹槽，可实现在限位固定过程中，适用于不同形状和厚度的物品，使得本实用新型适用范围更广；滑轨3滑动设置滑块4，滑块4上转动连接螺杆6，具体的，螺杆6通过选转，贯穿滑块4与样品座2共同作用于被测物品表面两端，从而实现限位和固定。
22.具体的，阶梯型凹槽从边部至中部水平方向厚度依次递减，呈c字形结构，形成环形空间，可对于圆形等不易于通过两个受力点固定的被测物品，进行限位固定，进一步，阶梯型凹槽包括固定块卡槽9、多个竖槽8和螺杆对顶面10，且相互平行设置，阶梯型凹槽两侧为固定块卡槽9，中间为多个竖槽8，底部为螺杆对顶面10；
23.其外侧可用于固定薄片状样品，上表面可用于固定粉末样品，其内侧与滑轨3和滑块4配合可用于固定不规则块状样品；具体的，样品座2外侧可通过导电胶固定薄片状样品，同时样品座2上表面也可通过导电胶固定粉末状样品，从而实现同时测试多个形状样品的要求。
24.具体的，螺杆6通过螺纹通孔5与滑块4转动连接，螺杆6一端连接固定块7，通过固定块7和样品座2配合实现对被夹持件的固定和夹持；固定块7的尺寸与固定块卡槽9的尺寸适配，对于小尺寸的固定件，在固定夹持时，旋转螺杆6，带动固定块7靠近样品台2，伸入固定块卡槽9内侧，便可实现对小尺寸夹持件的固定和限位；
25.具体的，螺纹通孔5与螺杆对顶面10位置对应设置，当夹持件更小时，可旋转螺杆6拆下端部连接的固定块7，仅使用螺杆6端部，完成对夹持件的固定夹持。
26.滑轨3和滑块4为燕尾槽配合，带动螺杆6，作机械相对运动，运动精度高，稳定性强，从而提高精度和在夹持固定过程中不同的夹持需求。


技术特征：
1.一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，其特征在于，包括底座(1)、样品座(2)和滑轨(3)；所述样品座(2)和滑轨(3)平行设置在底座(1)上；所述样品座(2)靠近滑轨(3)一侧设置有阶梯型凹槽；所述滑轨(3)内滑动设置滑块(4)，滑块(4)上贯穿转动设置螺杆(6)。2.根据权利要求1所述一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，其特征在于，所述阶梯型凹槽从边部至中部水平方向厚度依次递减。3.根据权利要求1所述一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，其特征在于，所述阶梯型凹槽包括固定块卡槽(9)、多个竖槽(8)和螺杆对顶面(10)，且相互平行设置。4.根据权利要求3所述一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，其特征在于，所述阶梯型凹槽两侧为固定块卡槽(9)，中间为多个竖槽(8)，底部为螺杆对顶面(10)。5.根据权利要求1所述一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，其特征在于，所述螺杆(6)通过螺纹通孔(5)与滑块(4)转动连接。6.根据权利要求1所述一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，其特征在于，所述螺杆(6)靠近样品座(2)的一端连接固定块(7)。7.根据权利要求6所述一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，其特征在于，所述固定块(7)与固定块卡槽(9)的尺寸相同。8.根据权利要求1所述一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，其特征在于，所述滑轨(3)为燕尾槽。

技术总结
本实用新型公开一种可同时承载多形状样品的扫描电镜样品台，样品座固定在底座上一侧，滑轨在样品座平行设置，滑块与滑轨配合滑动且通过固定装置与样品座定位槽配合固定位置，同时样品座外侧可用于固定薄片状样品，上表面可用于固定粉末样品，其内侧与滑轨、滑块配合可用于固定不规则块状样品，可实现同时承载薄片状、粉末状、不规则块状样品，如不需固定块状样品，固定块和滑块可由滑轨中取出，不影响片状或粉末状样品的使用，提高了样品台的适用范围和效率。用范围和效率。用范围和效率。


技术研发人员：刘晓芳 任泳静
受保护的技术使用者：彩虹显示器件股份有限公司
技术研发日：2021.04.30
技术公布日：2022/1/7