一种石英管类法兰卷边测量装置的制作方法

本技术涉及石英管法兰面检测治具，尤其是涉及一种石英管类法兰卷边测量装置。

背景技术：

1、由于半导体行业对石英管类产品法兰密封面的要求特别高，不仅要满足图纸上平面度的要求，边缘也要求不能有卷边，这就要求能有相应的治具和方法检测出法兰边缘是否有影响产品性能的卷边。但是在测量过程中，由于石英管体积很大，采用面压纸对法兰面进行检测时还需要加压几秒，会存在面压纸施力不均匀等问题，导致测量难度大且不准确，且石英管表面精度要求高，不能对石英管表面造成损坏。

2、例如，在中国专利文献上公开的“一种密封效果好的法兰面螺栓检测装置”，其公告号cn213148244u，包括工作台，工作台的下表面设置有支撑柱，工作台的下表面设置有用来增压作用的增压部件，工作台的上表面设置有检测作用的检测部件，本实用新型通过操作人员首先将检测螺栓安装在密封测量箱内，通过启动气泵将空气从导气管导入气压仓内，通过气压仓内不断的压缩空气产生的压强，当螺栓的某处存在缺陷时由于内部的压强大于外部的压强，就会将螺栓口的丝带带动，但该技术方案用于检测法兰面的螺栓处的是否存在缺陷，但该技术方案难以用于对法兰面卷边进行检测。

技术实现思路

1、本实用新型是为了克服上述现有技术中石英管法兰面上的卷边测量困难等问题，提供一种石英管类法兰卷边测量装置，测量方便准确、不会对法兰和石英管产品造成损坏。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种石英管类法兰卷边测量装置，包括顶板，还包括用于放置法兰的定位放置结构、用于固定石英管的下压紧固装置、用于顶出面压纸的上顶结构装置和用于缓冲上顶过程的缓冲加压治具，在顶板上设置有检测口，所述下压固定装置固定在顶板上，所述定位放置结构固定在上顶结构装置上，定位放置结构设置在检测口的正下方，所述缓冲加压治具设置在定位放置结构上。

4、在该技术方案中，定位放置结构用于固定法兰、下压紧固装置用于将产品固定在顶板上，在使用时，将石英管放置在顶板上，并通过下压紧固装置将石英固定，上顶结构装置将法兰顶出到最高处进而使面压纸与石英管的法兰面完全接触，通过观测面压纸的显色来判断是否存在卷边，操作方便快捷。而其中缓冲加压治具的设置有利于在上顶过程中起到缓冲的作用，防止损坏石英管与法兰。

5、作为优选，所述下压固定装置包括支架、肘夹治具和压板组件，所述肘夹治具固定在支架上，所述压板组件滑动设置在肘夹治具上。

6、下压固定装置通过肘夹治具快速用压板组件将石英管夹紧，提高装夹效率。

7、作为优选，所述压板组件包括压紧产品的压块、用于连接压块和肘夹治具的连接块、设置压块和连接块之间的第一弹性缓冲件，在连接块上设置有滑动设置在肘夹治具上的滑柱，所述第一弹性缓冲间包括第一限位柱和套设在第一限位柱外的第一弹簧，所述第一限位柱一端固定在压板上，另一端滑动设置在连接块上。

8、第一弹性缓冲件的设置有利于在装夹时对石英管具有一定的缓冲作用，避免在装夹时划伤石英管或对石英管造成其他损坏。

9、作为优选，所述上顶结构装置包括顶杆、拉杆和用于连接顶杆和拉杆的顶起连接组件，所述顶起连接组件包括转轴、顶块支架、用于连接转轴和顶块支架的转轴杆、用于连接顶杆和顶块支架的顶杆板和顶杆限位组件，所述转轴的端部连接在拉杆上。

10、上顶结构装置通过拉动拉杆使顶起连接组件内的各个部件发生联动进而使顶杆顶出，操作便捷省力。

11、作为优选，所述顶杆限位组件包括限位板、设置在限位板内的限位套筒，所述限位套筒套设在顶杆外。

12、顶杆限位组件的设置有利于避免顶杆在顶出时发生偏移造成不便，顶杆限位组件也对顶杆起到导向作用，使顶杆竖直向上顶出。

13、作为优选，所述定位放置结构包括连接板、沿连接板的中心周向布置的支撑杆，在连接板和顶杆之间设置有连接固定装置。

14、定位放置结构主要通过支撑杆来对法兰进行支撑，支撑杆的布置根据法兰设置，保证法兰在治具上可以很好地定位且不会左右晃动。

15、作为优选，所述连接固定装置包括固定在顶杆上端的连接顶板块、用于将连接顶板块和连接板连接的连接柱，所述连接柱沿周向布置在连接顶板块上。

16、连接固定装置便于将顶杆的顶端与连接板固定，在顶杆顶出的同时将连接板顶出，从而使连接板带动法兰向上顶出。

17、作为优选，所述缓冲加压治具包括套设在支撑杆外的第二弹簧。

18、第二弹簧的设置便于在上顶过程中产生缓冲作用，防止损坏石英管与法兰。

19、作为优选，还包括用于塞入面压纸的导板，所述导板设置在顶板的下端。

20、导板的设置便于安装面压纸，方便面压纸的放入和取出，提高检测效率。

21、因此，本实用新型具有如下有益效果：测量方便准确、不会对法兰和石英管产品造成损坏；方便面压纸的放入取出，检测效率高。

技术特征：

1.一种石英管类法兰卷边测量装置，包括顶板(2)，其特征是，还包括用于放置法兰(10)的定位放置结构(5)、用于固定石英管的下压固定装置、用于顶出面压纸的上顶结构装置和用于缓冲上顶过程的缓冲加压治具，在顶板(2)上设置有检测口，所述下压固定装置(3)固定在顶板(2)上，所述定位放置结构(5)固定在上顶结构装置上，定位放置结构(5)设置在检测口的正下方，所述缓冲加压治具设置在定位放置结构(5)上。

2.根据权利要求1所述的一种石英管类法兰卷边测量装置，其特征是，所述下压固定装置(3)包括支架(301)、肘夹治具(302)和压板组件(303)，所述肘夹治具(302)固定在支架(301)上，所述压板组件(303)滑动设置在肘夹治具(302)上。

3.根据权利要求2所述的一种石英管类法兰卷边测量装置，其特征是，所述压板组件(303)包括压紧产品的压块(3031)、用于连接压块(3031)和肘夹治具(302)的连接块(3032)、设置压块(3031)和连接块(3032)之间的第一弹性缓冲件，在连接块(3032)上设置有滑动设置在肘夹治具(302)上的滑柱，所述第一弹性缓冲件包括第一限位柱和套设在第一限位柱外的第一弹簧(3033)，所述第一限位柱一端固定在压板上，另一端滑动设置在连接块(3032)上。

4.根据权利要求1所述的一种石英管类法兰卷边测量装置，其特征是，所述上顶结构装置包括顶杆(401)、拉杆(402)和用于连接顶杆(401)和拉杆(402)的顶起连接组件，所述顶起连接组件包括转轴(403)、顶块支架(404)、用于连接转轴(403)和顶块支架(404)的转轴杆(405)、用于连接顶杆(401)和顶块支架(404)的顶杆板(406)和顶杆限位组件(407)，所述转轴(403)的端部连接在拉杆(402)上。

5.根据权利要求4所述的一种石英管类法兰卷边测量装置，其特征是，所述顶杆限位组件(407)包括限位板(4071)、设置在限位板(4071)内的限位套筒(4072)，所述限位套筒(4072)套设在顶杆(401)外。

6.根据权利要求4所述的一种石英管类法兰卷边测量装置，其特征是，所述定位放置结构(5)包括连接板(501)、沿连接板(501)的中心周向布置的支撑杆，在连接板(501)和顶杆(401)之间设置有连接固定装置(7)。

7.根据权利要求6所述的一种石英管类法兰卷边测量装置，其特征是，所述连接固定装置(7)包括固定在顶杆(401)上端的连接顶板块、用于将连接顶板块(701)和连接板(501)连接的连接柱(702)，所述连接柱(702)沿周向布置在连接顶板块上。

8.根据权利要求6所述的一种石英管类法兰卷边测量装置，其特征是，所述缓冲加压治具包括套设在支撑杆外的第二弹簧(6)。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种石英管类法兰卷边测量装置，其特征是，还包括用于塞入面压纸的导板(8)，所述导板(8)设置在顶板(2)的下端。

技术总结
本技术公开了一种石英管类法兰卷边测量装置，包括顶板，还包括用于放置法兰的定位放置结构、用于固定石英管的下压紧固装置、用于顶出面压纸的上顶结构装置和用于缓冲上顶过程的缓冲加压治具，在顶板上设置有检测口，所述下压固定装置固定在顶板上，所述定位放置结构固定在上顶结构装置上，定位放置结构设置在检测口的正下方，所述缓冲加压治具设置在定位放置结构上。本技术提供一种石英管类法兰卷边测量装置，测量方便准确、不会对法兰和石英管产品造成损坏。

技术研发人员：付兴隆,陈洋洋,杨军
受保护的技术使用者：浙江富乐德石英科技有限公司
技术研发日：20210514
技术公布日：2024/1/13