压力传感器的制作方法

1.本实用新型实施例涉及压力传感器技术领域，特别涉及一种压力传感器。


背景技术：

2.压力传感器(pressure transducer)是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。
3.现有技术中压力传感器(尤其是柴油压力传感器)介质自壳体的入口进入到介质通道后容易发生液锤。


技术实现要素：

4.本实用新型实施方式的目的在于提供一种压力传感器，旨在解决现有技术中压力传感器自壳体的入口进入到介质通道后容易发生液锤的问题。
5.为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种压力传感器，包括：
6.壳体，具有入口；
7.压力敏感元件，设于所述壳体中；
8.开口式介质通道，自所述入口传送流体介质到所述压力敏感元件的感压面；以及，
9.缓冲结构，设于所述开口式介质通道内，用于对所述开口式介质通道内的流体介质缓冲。
10.优选地，所述缓冲结构包括缓冲板，所述缓冲板安装在所述入口处，所述缓冲板贯设有缓冲孔。
11.优选地，所述缓冲孔的孔径为d，0.2mm≤d≤0.5mm。
12.优选地，所述缓冲板与所述开口式介质通道铆边压合。
13.优选地，所述开口式介质通道自所述入口朝向所述压力敏感元件的方向的内径呈减小设置。
14.优选地，还包括基板，所述基板贯设有压力孔；
15.所述壳体包括容腔，所述基板密封设于所述容腔的底壁，所述压力孔与所述开口式介质通道连通，所述压力敏感元件覆盖所述压力孔。
16.优选地，所述压力孔内灌设有保护件，所述保护件覆盖在所述感压面。
17.优选地，所述保护件为保护凝胶。
18.优选地，所述基板与所述容腔的底壁通过密封圈密封设置。
19.优选地，所述压力孔自靠近所述开口式介质通道的一端至靠近所述压力敏感元件的方向呈缩小设置。
20.本实用新型通过在开口式介质通道内设置缓冲结构，对开口式介质通道内的流体介质缓冲，如此可以降低进经开口式介质通道传送到感压面的流体介质的冲击力，避免发生液锤。
附图说明
21.一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
22.图1为本实用新型实施例提供的压力传感器一实施例的立体示意图；
23.图2为图1中压力传感器的一剖视图；
24.图3为图1中缓冲结构的立体图。
25.本实用新型附图标号说明：
26.标号名称标号名称100压力传感器41缓冲板1壳体411缓冲孔11入口5基板12容腔51压力孔2压力敏感元件6保护件3开口式介质通道7密封圈4缓冲结构
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27.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
30.另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
31.本实用新型提供一种压力传感器，请参阅图1至图3，该压力传感器100包括壳体1、压力敏感元件2、开口式介质通道3以及缓冲结构4，壳体1具有入口11，压力敏感元件2设于所述壳体1中，开口式介质通道3自所述入口11传送流体介质到所述压力敏感元件2的感压面，缓冲结构4设于所述开口式介质通道3内，用于对所述开口式介质通道3内的流体介质缓冲。
32.本实用新型通过在开口式介质通道3内设置缓冲结构4，对开口式介质通道3内的流体介质(在本实施例中，流体介质可以为硅油)缓冲，如此可以降低进经开口式介质通道3
传送到感压面的流体介质的冲击力，避免发生液锤。
33.具体地，所述缓冲结构4包括缓冲板41，所述缓冲板41安装在所述入口11处，所述缓冲板41贯设有缓冲孔411。通过使流体介质经过缓冲孔411进入开口式介质通道3并传送至感压面，对流体介质进行缓冲，防止液锤。
34.请参阅图3，所述缓冲孔411的孔径为d，d过大起不到缓冲作用，d过小容易出现堵孔，在本实施例中，0.2mm≤d≤0.5mm。
35.缓冲板41的材质可以为金属，也可以为其他耐腐蚀的材质，在此不做具体限制。安装时，所述缓冲板41与所述开口式介质通道3铆边压合。为了保证安装稳固，缓冲板41与开口式介质通道3铆边压合，在通过壳体1在开口处进行铆接。
36.进一步地，为了对流体介质进一步缓冲，所述开口式介质通道3自所述入口11朝向所述压力敏感元件2的方向的内径呈减小设置，如此，可以对流体介质进行二次缓冲。
37.该压力传感器100还包括基板5，所述基板5贯设有压力孔51；所述壳体1包括容腔12，所述基板5密封设于所述容腔12的底壁，所述压力孔51与所述开口式介质通道3连通，所述压力敏感元件2覆盖所述压力孔51。
38.另外，所述压力孔51内灌设有保护件6，所述保护件6覆盖在所述感压面。在本实施例中，所述保护件6为保护凝胶。通过在压力孔51设置保护件6，可以防水汽，对压力敏感元件2起到保护作用。进一步地，所述压力孔51自靠近所述开口式介质通道3的一端至靠近所述压力敏感元件2的方向呈缩小设置。
39.基板5密封设于所述容腔12的底壁，其中，密封设置的形式可以有多种，在本实施例中，所述基板5与所述容腔12的底壁通过密封圈7密封设置，如此拆装方便。
40.以上仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。


技术特征：
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：壳体，具有入口；压力敏感元件，设于所述壳体中；开口式介质通道，自所述入口传送流体介质到所述压力敏感元件的感压面；以及，缓冲结构，设于所述开口式介质通道内，用于对所述开口式介质通道内的流体介质缓冲。2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述缓冲结构包括缓冲板，所述缓冲板安装在所述入口处，所述缓冲板贯设有缓冲孔。3.如权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，所述缓冲孔的孔径为d，0.2mm≤d≤0.5mm。4.如权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，所述缓冲板与所述开口式介质通道铆边压合。5.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述开口式介质通道自所述入口朝向所述压力敏感元件的方向的内径呈减小设置。6.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，还包括基板，所述基板贯设有压力孔；所述壳体包括容腔，所述基板密封设于所述容腔的底壁，所述压力孔与所述开口式介质通道连通，所述压力敏感元件覆盖所述压力孔。7.如权利要求6所述的压力传感器，其特征在于，所述压力孔内灌设有保护件，所述保护件覆盖在所述感压面。8.如权利要求7所述的压力传感器，其特征在于，所述保护件为保护凝胶。9.如权利要求6所述的压力传感器，其特征在于，所述基板与所述容腔的底壁通过密封圈密封设置。10.如权利要求6所述的压力传感器，其特征在于，所述压力孔自靠近所述开口式介质通道的一端至靠近所述压力敏感元件的方向呈缩小设置。

技术总结
本实用新型提供一种压力传感器，该压力传感器包括壳体、压力敏感元件、开口式介质通道以及缓冲结构，壳体具有入口，压力敏感元件设于所述壳体中，开口式介质通道自所述入口传送流体介质到所述压力敏感元件的感压面，缓冲结构设于所述开口式介质通道内，用于对所述开口式介质通道内的流体介质缓冲。式介质通道内的流体介质缓冲。式介质通道内的流体介质缓冲。


技术研发人员：王小平 曹万 李凡亮 吴登峰 李兵 施涛
受保护的技术使用者：武汉飞恩微电子有限公司
技术研发日：2021.06.29
技术公布日：2021/12/14