技术特征:
1.一种真空检漏系统(10),包括:测试室单元(12),其具有测试室进气口(20)和测试室出气口(22);气体检测单元(14),其具有气体检测进气口(32)和气体检测出气口(34);和气体控制单元(16),其将所述测试室进气口(20)和所述测试室出气口(22)连接到所述气体检测进气口(32)和所述气体检测出气口(34),所述气体控制单元(16)与所述测试室单元(12)和所述气体检测单元(14)连接,并且所述气体控制单元(16)具有独立的气体传导通路(48、52、54、56、60),用于选择性地连接所述测试室单元(12)和所述气体检测单元(14)的所述进气口(20、40)和所述出气口(22、34),其中所述气体控制单元(16)具有第三进气口(44),所述第三进气口(44)与大气相通,并且可以通过贯穿所述气体控制单元(16)的所述气体传导通路(48)与所述测试室进气口(20)连接,以便将运载气体供应到所述测试室单元(12),所述运载气体经由所述第三进气口(44)被吸入。2.一种用于真空检漏系统的气体控制单元(16),其包括测试室单元(12),所述测试室单元(12)具有测试室进气口(20)和测试室出气口(22);和气体检测单元(14),所述气体检测单元(14)具有气体检测进气口(32)和气体检测出气口(34),其中所述气体控制单元(16)被构造成将所述测试室进气口(20)和所述测试室出气口(22)连接到所述气体检测进气口(32)和所述气体检测出气口(34),出于此目的所述气体控制单元(16)可连接至所述测试室单元(12)和所述气体检测单元(14),并且所述气体控制单元(16)具有单独的气体传导通路(48、52、54、56、60),用于选择性地连接所述测试室单元(12)和所述气体检测单元(14)的所述进气口(20、40)和所述出气口(22、34),并且其中所述气体控制单元(16)具有第三进气口(44),所述第三进气口(44)与大气相通,并且可以通过贯穿所述气体控制单元(16)的所述气体传导通路(48)与所述测试室进气口(20)连接,以便将运载气体供应到所述测试室单元(12),所述运载气体经由所述第三进气口(44)被吸入。3.根据权利要求1所述的真空检漏系统(10)或根据权利要求2所述的气体控制单元(16),其特征在于,所述气体控制单元包含用于排空所述测试室单元(12)的真空泵(58),所述泵可连接至所述测试室出气口(22)。4.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16),其特征在于,所述真空检漏系统(10)由所述测试室单元(12)、所述气体检测单元(14)和所述气体控制单元(16)作为适于可拆卸地彼此连接的单独的模块模块化构成。5.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16),其特征在于,所述气体控制单元(16)包括可连接至所述测试室出气口(22)的第一进气口(36)、可连接至所述测试室进气口(20)的第一出气口(38)、可连接至所述气体检测进气口(32)的第二出气口(40),以及可连接至所述气体检测出气口(34)的第二进气口(42),所述第一进气口(36)经由延伸穿过所述气体控制单元(16)的所述气体传导通路(54)连接至所述第二出气口(40)。6.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16),其特征在于,所述第一出气口(38)和所述第二进气口(42)不经由延伸穿过所述气体控制模块(16)的气体传导通路相连。
7.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16),其特征在于,所述气体控制模块(16)具有向大气开放的第三出气口(46),所述第三进气口(44)通过延伸穿过所述气体控制单元(16)的所述气体传导通路(48、52)连接至所述第一出气口(38),并且所述第三出气口(46)通过延伸穿过所述气体控制单元(16)的所述气体传导通路(56)连接到所述第二进气口(42)。8.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16),其特征在于,连接所述第二进气口(42)和所述第三出气口(46)的所述气体传导通路(56)包括独立可控的阀(v3)和真空泵(58),并且其经由同样包括独立可控的阀(v1)的导气连接支路(60)与所述气体传导通路(54)相连,所述气体传导通路(54)连接所述第一进气口(36)和所述第二出气口(40)。9.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16),其特征在于,连接所述第一进气口(36)和所述第二出气口(40)的所述气体传导通路(54)包括独立可控的阀(v2)。10.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16),其特征在于,连接所述第三进气口(44)和所述第一出气口(38)的所述气体传导通路(50)包括独立可控阀(v4)和与其并联的节流阀(50)以及旁路支路(52),所述旁路支路(52)绕过所述阀(v4)和所述节流阀(50)并且包括也独立可控的阀(v5)。11.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16),其特征在于,所述气体传导通路(48、52、54、56、60)配置在共用阀块中。12.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16),其特征在于,所述测试室单元(12)包括被设计为刚性测试室形式或柔性薄膜室形式的测试室(18)的真空室。13.根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16),其特征在于,设置可连接到所述气体控制单元(16)的辅助泵模块,以增加所述气体控制单元(16)的泵送能力。14.一种利用根据前述权利要求中任一项所述的真空检漏系统(10)或所述气体控制单元(16)检测气体泄漏的方法,所述方法包括以下步骤:使用所述气体控制单元(16)的所述真空泵(58)经由所述气体传导通路(54、60、56)抽空所述测试室单元(12)的所述测试室(18),所述气体传导通路(54、60、56)连接所述第一进气口(36)和所述真空泵(58)以及连接所述真空泵(58)和所述第三出气口(46);阻挡连接所述第一进气口(36)与所述真空泵(58)的所述连接支路(60),打开连接所述第一进气口(36)与所述第二出气口(40)的所述气体传导通路(54),以及连接所述将第二进气口(42)与所述真空泵(58)的所述气体传导通路(56),同时打开连接所述第三进气口(44)和所述第一出气口(38)的所述气体传导通路(48),以便通过所述第三进气口(44)向所述测试室(18)供应运载气体,并将所述运载气体与可能的泄漏气体的混合物供给至所述气体检测单元(14)。15.根据前述权利要求所述的方法,其特征在于,还包括以下步骤:用经由所述第三进气口(44)从所述控制单元(16)周围的所述大气抽取的气体冲洗所述测试室单元(12)和/或所述气体检测单元(14)。
16.根据前述权利要求中任一项所述的方法,其特征在于,当使用所述气体控制单元(16)的所述真空泵(58)抽空所述测试室(18)时,连接所述第一入口(36)与所述第二出口(40)的所述气体传导通路(54)和连接所述第二入口(42)与所述第三出气口(46)的所述气体传导通路(56)均被关闭。
技术总结
本发明涉及一种真空检漏系统(10),包括:具有测试室进气口(20)和测试室出气口(22)的测试室单元(12);具有气体检测进气口(32)和气体检测出气口(34)的气体检测单元(14);和气体控制单元(16),其将测试室进气口(20)和测试室出气口(22)连接到气体检测进气口(32)和气体检测出气口(34),其与测试室单元(12)和气体检测单元(14)连接,并且具有独立的气体传导通路(48、52、54、56、60)以用于选择性地连接测试室单元(12)和气体检测单元(14)的进气口(20、40)和出气口(22、34),其中气体控制单元(16)具有与大气相通的第三进气口(44),并且第三进气口(44)可以通过贯穿气体控制单元(16)的气体传导通路(48)与测试室进气口(20)连接,以便将由第三进气口(44)吸入的运载气体供应到测试室单元(12)。单元(12)。单元(12)。
技术研发人员:丹尼尔
受保护的技术使用者:英福康有限责任公司
技术研发日:2021.07.15
技术公布日:2023/3/17