连续凸块测量高度计量法的制作方法

背景技术：

1、凸块可以形成在基层上或形成在基层上的中间元件上。

2、顶层可以制造在所述基层上。凸块的上部延伸到顶层之上。凸块的下部被顶层包围。

3、顶层可以由可光界定的聚酰亚胺(pi)和/或聚苯并恶唑(pbo)制成。

4、由pi和/或pbo制成的顶层已被广泛用作晶片级再分布层的电介质。

5、由pi和/或pbo制成的顶层对诸如可见光辐射的第一辐射是部分透明的。

6、基于可见光的三角测量可以扫描凸块和顶层以提供高度测量。

7、可能需要测量(a)凸块的顶部和(b)顶层的上表面之间的高度差。

8、由于顶层的部分透明性——基于可见光的三角测量不测量顶层的上表面的高度——而是测量顶层内的虚拟平面的高度。虚拟平面表示顶层内的虚拟反射平面。由于空气的折射率与顶层的折射率之间的差异，光线在进入顶层时会改变其传播角度。当光被基层的顶面反射时——虚拟平面表示在顶层内传播角没有变化的情况下的虚拟反射平面。

9、顶层的上表面和虚拟平面之间的距离被称为虚拟穿透深度(penetratedepth)并且是未知的——基于可见光的三角测量不提供凸块特性的可靠测量。

10、越来越需要提供一种可靠的系统和方法来估计凸块顶部和顶层的上表面之间的高度差。

技术实现思路

1、本发明提供一种系统、非暂时性计算机可读介质和一种用于估计凸块顶部和顶层的上表面之间的高度差的方法。

2、可以提供一种用于测量多个凸块的顶部与层的上表面的相应区域之间的高度差的方法，所述方法可以包括通过用第一辐射照射凸块和相应区域，执行凸块和相应区域之间的高度差的第一测量；其中，第一测量受到第一测量误差的影响，第一测量误差由第一照明虚拟穿透到层中导致；其中，每个凸块具有可邻近凸块的相应区域；对位于相应区域处的层的厚度执行第二测量；其中，至少一些第一测量与至少一些第二测量的执行并行地执行；根据第二测量确定第一测量误差；以及根据第一测量及第一测量误差确定凸块与相应区域之间的高度差。

3、第一测量误差可以表示第一辐射在相应区域内的虚拟穿透深度。

4、第一测量误差的确定可以基于第二测量和层的折射率。

5、第一辐射可以是白光。

6、层可以包括可光界定的聚酰亚胺和聚苯并恶唑中的至少一种。

7、凸块可以包括晶片的绝大多数凸块。

8、方法可以包括在执行第二测量之前或之后执行第一测量。

9、第一测量的执行可以包括执行白光三角测量。

10、第二测量的执行可以包括执行反射测量术。

11、第二测量的执行可以包括执行彩色共焦测量。

12、可以提供一种用于测量多个凸块顶部与层的上表面的相应区域之间的高度差的测量系统，所述系统可以包括一个或多个测量单元和至少一个处理单元，被配置为：通过用第一辐射照射凸块和相应区域，执行凸块和相应区域之间的高度差的第一测量；其中，第一测量受到第一测量误差的影响，第一测量误差由第一照明虚拟穿透到层中导致；其中，每个凸块具有可邻近凸块的相应区域；对位于相应区域处的层的厚度执行第二测量；其中，至少一些第一测量与至少一些第二测量的执行并行地执行；根据第二测量确定第一测量误差；以及根据第一测量及第一测量误差确定凸块与相应区域之间的高度差。

13、第一测量误差表示第一辐射在相应区域内的虚拟穿透深度。

14、第一测量误差的确定可以基于第二测量和层的折射率。

15、第一辐射可以是白光。

16、层可以包括可光界定的聚酰亚胺和聚苯并恶唑中的至少一种。

17、凸块可以包括晶片的绝大多数凸块。

18、第一测量的执行可以包括执行白光三角测量。

19、第二测量单元可以是反射计。

20、第二测量单元可以包括彩色共焦测量单元。

21、可以提供一种用于测量多个凸块顶部与层的上表面的相应区域之间的高度差的非暂时性计算机可读介质，所述非暂时性计算机可读介质可以存储指令，该指令用于：通过用第一辐射照射凸块和相应区域，执行凸块和相应区域之间的高度差的第一测量；其中，第一测量受到第一测量误差的影响，第一测量误差由第一照明虚拟穿透到层中导致；其中，每个凸块具有可邻近凸块的相应区域；对位于相应区域处的层的厚度执行第二测量；其中，至少一些第一测量与至少一些第二测量的执行并行地执行；根据第二测量确定第一测量误差；以及根据第一测量及第一测量误差确定凸块与相应区域之间的高度差。

22、第一测量误差可以表示第一辐射在相应区域内的虚拟穿透深度。

23、第一测量误差的确定可以基于第二测量和层的折射率。

24、第一辐射可以是白光。

25、层可以包括可光界定的聚酰亚胺和聚苯并恶唑中的至少一种。

26、凸块可以包括晶片的绝大多数凸块。

27、非暂时性计算机可读介质可以存储用于在执行第二测量之前或之后执行第一测量的指令。

28、第一测量的执行可以包括执行白光三角测量。

29、第二测量的执行可以包括执行反射测量术。

30、第二测量的执行可以包括执行彩色共焦测量。

技术特征：

1.一种用于测量多个凸块的顶部与层的上表面的相应区域之间的高度差的方法，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一测量误差表示所述第一辐射在相应区域内的虚拟穿透深度。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一测量误差的确定是基于所述第二测量和所述层的折射率。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一辐射是白光。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述层包括可光界定的聚酰亚胺和聚苯并恶唑中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述凸块包括晶片的绝大多数凸块。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一测量的执行包括执行白光三角测量。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二测量的执行包括执行反射测量术。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二测量的执行包括执行彩色共焦测量。

10.一种用于测量多个凸块顶部与层的上表面的相应区域之间的高度差的测量系统，所述系统包括：

11.根据权利要求10所述的测量系统，其中，所述第一测量误差表示所述第一辐射在相应区域内的虚拟穿透深度。

12.根据权利要求10所述的测量系统，其中，所述第一测量误差的确定是基于所述第二测量和所述层的折射率。

13.根据权利要求10所述的测量系统，其中，所述第一辐射是白光。

14.根据权利要求10所述的测量系统，其中，所述层包括可光界定的聚酰亚胺和聚苯并恶唑中的至少一种。

15.根据权利要求10所述的测量系统，其中，所述凸块包括晶片的绝大多数凸块。

16.根据权利要求10所述的测量系统，其中，第一测量单元是白光三角测量单元。

17.根据权利要求10所述的测量系统，其中，第二测量单元是反射计。

18.根据权利要求10所述的测量系统，其中，第二测量单元是彩色共焦测量单元。

19.一种用于测量多个凸块顶部与层的上表面的相应区域之间的高度差的非暂时性计算机可读介质，所述非暂时性计算机可读介质存储指令，所述指令用于：

技术总结
本发明公开了一种方法，该方法可以包括通过用第一辐射照射凸块和相应区域，执行所述凸块和相应区域之间的高度差的第一测量；其中，所述第一测量受到第一测量误差的影响，所述第一测量误差由第一照明虚拟穿透到层中导致；其中，每个凸块具有邻近所述凸块的相应区域；对位于所述相应区域的层的厚度执行第二测量；其中，至少一些所述第一测量与至少一些所述第二测量的执行并行地执行；根据所述第二测量确定第一测量误差；以及根据所述第一测量及所述第一测量误差确定所述凸块与相应区域之间的高度差。

技术研发人员：E·塞格夫
受保护的技术使用者：卡姆特有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12