具有质量平移运动的加速度计的制作方法

本申请涉及微机电系统(mems)加速度计。

背景技术：

1、z轴mems加速度计是感测沿着z轴的加速度的线性加速度计。一些这样的加速度计具有摇摇欲坠的结构，具有响应于装置在z方向上的加速度而围绕中心锚固件枢转的板或梁。

技术实现思路

1、一些实施例提供了一种微机电系统加速度计，包括：设置在由第一轴和垂直于第一轴的第二轴限定的平面中的基板；第一检验质量块和第二检验质量块，耦合到所述基板并且被配置为沿着垂直于所述第一轴和所述第二轴的第三轴在彼此相反的方向上平移；和至少一个杆，将所述第一检验质量块耦合到所述第二检验质量块，其中：所述mems加速度计被配置为经由检测所述第一和第二检验质量块沿着所述第三轴的平移来检测沿着所述第一轴和所述第二轴的加速度；和所述mems加速度计表现出围绕所述第一轴和所述第二轴的对称性。

2、一些实施例提供了一种微机电系统加速度计，包括：设置在由第一轴和垂直于第一轴的第二轴限定的平面中的基板；第一检验质量块，经由设置在所述mems加速度计的中心中的锚固件耦合到所述基板；和第二检验质量块，经由所述锚固件耦合到所述基板并耦合到第一检验质量块，其中：所述第一检验质量块和所述第二检验质量块被配置为响应于沿所述第三轴的加速度而沿垂直于所述第一轴和所述第二轴的第三轴平移；和所述mems加速度计表现出围绕所述第一轴和所述第二轴的对称性。

3、一些实施例提供了一种微机电系统装置，包括：设置在由第一轴和垂直于第一轴的第二轴限定的平面中的基板；耦合到所述基板的第一检验质量块；第二检验质量块，耦合到所述基板并耦合到所述第一检验质量块；第一杆和第二杆，耦合到所述第一检验质量块和所述第二检验质量块中的每一个并且彼此成直线地布置，其中：所述第一检验质量块和所述第二检验质量块被配置为响应于沿所述第三轴的加速度而沿垂直于所述第一轴和所述第二轴的第三轴平移；和所述mems加速度计表现出围绕所述第一轴和所述第二轴的对称性。

技术特征：

1.一种微机电系统(mems)加速度计，包括：

2.根据权利要求1所述的mems加速度计，其中所述至少一个杆包括耦合到所述第一检验质量块和所述第二检验质量块的第一杆以及耦合到所述第一检验质量块和所述第二检验质量块的第二杆，并且其中所述第一和第二杆彼此成直线布置。

3.根据权利要求2所述的mems加速度计，其中所述第一杆和所述第二杆与所述第一轴成直线布置。

4.根据权利要求2所述的mems加速度计，其中所述第一杆和所述第二杆中的每一个都是直的。

5.根据权利要求2所述的mems加速度计，其中当所述第一杆和所述第二杆中的每一个的外端沿着所述第三轴在与第一方向相反的第二方向上移动时，所述第一和第二杆中的每一个的内端沿着所述第三轴在所述第一方向上移动。

6.根据权利要求1所述的mems加速度计，其中所述第二检验质量块设置在所述第一检验质量块内。

7.根据权利要求1所述的mems加速度计，其中所述第一和第二检验质量块经由与所述第一轴或所述第二轴中的至少一个成直线布置的至少一个锚固件耦合到所述基板。

8.根据权利要求7所述的mems加速度计，其中所述至少一个锚固件包括第一锚固件和第二锚固件，并且其中所述第一检验质量块和所述第二检验质量块中的每一个耦合到所述第一和第二锚固件中的每一个。

9.根据权利要求8所述的mems加速度计，进一步包括耦合到所述第一锚固件的第一锚固件臂和第二锚固件臂，其中所述第一锚固件臂和所述第二锚固件臂包括在所述第一锚固件的相对侧上从所述第一锚固件向外延伸的刚性梁。

10.根据权利要求9所述的mems加速度计，其中所述至少一个杆在所述至少一个杆的中点处耦合到所述第一锚固件臂和所述第二锚固件臂中的每一个。

11.根据权利要求1所述的mems加速度计，其中所述mems加速度计还被配置为通过检测所述第一和第二检验质量块沿着所述第一轴和/或第二轴的平移来检测沿着所述第一和/或所述第二轴的加速度。

12.一种微机电系统(mems)加速度计，包括：

13.根据权利要求12所述的mems加速度计，进一步包括：

14.根据权利要求13所述的mems加速度计，进一步包括：

15.根据权利要求14所述的mems加速度计，其中所述第一、第二、第三和第四杆中的每一个都耦合到所述锚固件。

16.根据权利要求15所述的mems加速度计，还包括耦合到所述锚固件的多个锚固件臂，其中所述多个锚固件臂中的每一个包括从所述锚固件向外延伸并耦合到第一、第二、第三或第四杆中的相应一个的刚性梁。

17.根据权利要求12所述的mems加速度计，其中所述第二检验质量块设置在所述第一检验质量块内，并且所述第二检验质量块的质量小于所述第一检验质量块的质量。

18.根据权利要求17所述的mems加速度计，其中当所述第二检验质量块沿着所述第三轴在与第一方向相反的第二方向上平移时，所述第一检验质量块沿着所述第三轴在所述第一方向上平移。

19.一种微机电系统(mems)装置，包括：

20.根据权利要求19所述的mems加速度计，其中所述第一杆和所述第二杆中的每一个都耦合到耦合到所述基板的第一锚固件和耦合到所述基板的第二锚固件。

技术总结
提供了一种微机电系统(MEMS)加速度计，包括：设置在由第一轴和垂直于第一轴的第二轴限定的平面中的基板；第一检验质量块和第二检验质量块，耦合到所述基板并且被配置为沿着垂直于所述第一轴和所述第二轴的第三轴在彼此相反的方向上平移；以及至少一个杆，将所述第一检验质量块耦合到所述第二检验质量块，其中所述MEMS加速度计被配置为经由检测所述第一和第二检验质量块沿着所述第三轴的平移来检测沿着所述第一轴和所述第二轴的加速度；并且所述MEMS加速度计表现出围绕所述第一轴和所述第二轴的对称性。

技术研发人员：贾克妙,张欣,M·朱蒂
受保护的技术使用者：美国亚德诺半导体公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14