感测结构的制作方法

本申请关于一种感测结构，特别是关于一种具有湿度感测及气体感测功能的整合式感测结构。

背景技术：

1、诸如挥发性有机气体(voc)感测器的气体感测器可包括气体感测层。在感测期间，将待测气体通入气体感测器，并借由气体感测层来进行感测。然而，在通入待测气体时，待测气体除了包括挥发性有机气体之外，通常还包括环境中的水。这导致使用气体感测器来感测待测气体的电信号时，会同时获得来自有机气体的电信号及来自环境中的水的电信号。更甚者，因为来自有机气体的电信号呈线性变化，但是来自环境中的水的电信号呈指数型变化，所以来自环境中的水的电信号会大幅度降低有机气体的感测准确度。

2、换句话说，如何移除环境中的水造成的感测杂讯极为重要。然而目前仅能以额外设置加热元件来移除待测气体中的环境中的水；直接通入无水的待测气体；或是额外设置湿度感测器来校正环境中的水产生的电信号，来降低环境中的水造成的感测杂讯。但是，上述方法都会造成感测装置难以缩小化的问题。

3、因此，虽然现存的感测结构已逐步满足它们既定的用途，但它们仍未在各方面皆彻底的符合要求，所以关于感测结构仍有一些问题需要克服。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，本申请的一些实施例借由设置湿度感测层；包括第一电极与第二电极的电极层；以及气体感测层的堆叠结构，来获得能够同时感测湿度及气体的感测结构。详细而言，借由彼此电连接的第一电极、第二电极及气体感测层的电性变化来感测气体，同时借由第一电极及/或第二电极的形变产生的电性变化来感测水气，进而形成整合式感测结构。

2、根据一些实施例，提供感测结构。前述感测结构包括：基板、湿度感测层、第一电极、第二电极及气体感测层。湿度感测层设置在基板上。第一电极设置在湿度感测层上。第二电极设置在湿度感测层上。第一电极与第二电极彼此分离。气体感测层设置在第一电极及第二电极上。气体感测层电连接第一电极及第二电极。

3、本申请的感测结构能够减少感测过程中的水气杂讯。

4、本申请的一些实施例的感测结构可应用于多种类型的感测装置及/或半导体装置中，为让本申请的特征和优点能更明显易懂，下文特举出较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种感测结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的感测结构，其特征在于，该第一电极的一部分环绕该第二电极的一部分。

3.如权利要求1所述的感测结构，其特征在于，该气体感测层暴露该第二电极的一部分，且一接触物设置在该第二电极的该部分上。

4.如权利要求1所述的感测结构，其特征在于，该第一电极为蛇形电极，且该第二电极包括彼此连接的一框形部分及一延伸部分，该框形部分环绕该蛇形电极，且该延伸部分延伸至该蛇形电极的弯曲部分的开口中。

5.如权利要求1所述的感测结构，其特征在于，该第一电极包括一环形部分，该第二电极包括一圆形部分，且该环形部分环绕该圆形部分。

6.如权利要求5所述的感测结构，其特征在于，该第一电极更包括：

7.如权利要求5所述的感测结构，其特征在于，该第二电极更包括：设置在该湿度感测层上且与该圆形部分电连接的一连接垫，且该感测结构更包括：

8.如权利要求5所述的感测结构，其特征在于，该环形部分提供为多个，且多个该环形部分间隔排列或矩阵排列，且多个该环形部分彼此电连接。

9.如权利要求8所述的感测结构，其特征在于，该圆形部分提供为多个，且多个该环形部分中的一个环形部分环绕多个该圆形部分中的对应的一个圆形部分。

10.如权利要求9所述的感测结构，其特征在于，该气体感测层提供为多个，且多个该气体感测层中的一个气体感测层连接多个该环形部分中的对应的一个环形部分及多个该圆形部分中的对应的一个圆形部分。

11.如权利要求1所述的感测结构，其特征在于，该湿度感测层包括一吸水膨胀材料，且该第一电极及该第二电极中的至少一个根据该吸水膨胀材料的膨胀程度产生一形变，且根据该形变前后的一电阻差值得到相对湿度。

12.如权利要求1所述的感测结构，其特征在于，该气体感测层吸附一待测气体，且根据吸附该待测气体前后的一电阻差值得到该待测气体的种类、浓度或其组合。

技术总结
本申请公开一种感测结构；其中，感测结构包括：基板、湿度感测层、第一电极、第二电极及气体感测层。湿度感测层设置在基板上。第一电极设置在湿度感测层上。第二电极设置在湿度感测层上。第一电极与第二电极彼此分离。气体感测层设置在第一电极及第二电极上。气体感测层电连接第一电极及第二电极。本申请的感测结构能够减少感测过程中的水气杂讯。

技术研发人员：骆玠錞,何羽轩
受保护的技术使用者：新唐科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14