技术特征：
1.一种高灵敏风速传感器，其特征在于，包括风道(1)、薄膜热电器件(4)、控温热板(6)、升压降噪模块(7)和数据采集模块(8)，所述风道(1)上开设有用于安装所述薄膜热电器件(4)的安装孔，所述薄膜热电器件(4)与控温热板(6)面接触连接，所述薄膜热电器件(4)、升压降噪模块(7)和数据采集模块(8)依次连接，所述薄膜热电器件(4)与风道(1)内待测气流接触的一侧为冷端，与控温热板(6)接触的一侧为热端，所述薄膜热电器件(4)所在平面与风道(1)内的待测气流(3)之间的夹角为0-90度。2.根据权利要求1所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述控温热板(6)的工作温度等于或高于环境温度。3.根据权利要求1所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述薄膜热电器件(4)采用热流垂直于界面的π型结构。4.根据权利要求1所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述薄膜热电器件(4)通过导热界面材料(5)与控温热板(6)接触。5.根据权利要求4所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述导热界面材料(5)为导热硅脂、导热硅胶片、导热相变材料或导热胶带。6.根据权利要求1所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述薄膜热电器件(4)、控温热板(6)、升压降噪模块(7)和数据采集模块(8)通过一封装层集成封装。7.根据权利要求1所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述薄膜热电器件(4)包括基座(404)以及设置于基座(404)上的p-n热电对阵列，所述p-n热电对包括n型热电柱(402)和p型热电柱(403)，相邻所述n型热电柱(402)和p型热电柱(403)共同连接一个电极(401)。8.根据权利要求8所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述p-n热电对至少设有3对。9.根据权利要求8所述的高灵敏风速传感器，其特征在于，所述薄膜热电器件使用的热电材料为bi2te3、sb2te3、mgagsb、pbte、pbse、snte、snse、cu2se、si-ge合金中的一种或多种。10.一种风速试验设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一所述的高灵敏风速传感器。
技术总结
本发明涉及一种高灵敏风速传感器及试验设备，包括风道、薄膜热电器件、控温热板、升压降噪模块和数据采集模块，所述风道上开设有用于安装所述薄膜热电器件的安装孔，所述薄膜热电器件与控温热板面接触连接，所述薄膜热电器件、升压降噪模块和数据采集模块依次连接，所述薄膜热电器件与风道内待测气流接触的一侧为冷端，与控温热板接触的一侧为热端，所述薄膜热电器件所在平面与风道内的待测气流之间的夹角为0-90度。与现有技术相比，本发明具有灵敏度高等优点。灵敏度高等优点。灵敏度高等优点。
技术研发人员：胡志宇 刘泽昆 高正航 刁俊清 杜予安 吴振华 张帅 刘妍 施慧烈
受保护的技术使用者：上海交通大学
技术研发日：2022.07.08
技术公布日：2022/9/20