工作台、检查装置及工作台的动作方法与流程

本发明涉及工作台、检查装置及工作台的动作方法。

背景技术：

1、在专利文献1中,公开了在进行晶圆的检查的检查装置中,用于将被检查体搬运至规定位置的工作台(检查工作台)。该工作台通过三个升降驱动机构对用于载置晶圆的一个基台(载置台)进行支承,并且一边监视该三个升降驱动机构的升降位置,一边使基台升降。

2、检查装置在晶圆的检查中使许多(数万)的接触探针与晶圆接触。因此,较大的载荷自许多的接触探针施加于基台。

3、<现有技术文献>

4、<专利文献>

5、专利文献1:日本国特开2000―260852号公报

技术实现思路

1、<本发明要解决的问题>

2、本发明提供一种能够适当调整基台的姿势,并且能够促进施加于基台的载荷的均匀化的技术。

3、<用于解决问题的方法>

4、根据本发明的一个方式,提供一种工作台,具有:一个基台；四个可动体,其以可升降的方式对上述基台进行支承；四个驱动电动机,其与上述四个可动体的每一个对应设置,使该四个可动体进行个别升降；四个引导部,其对上述四个可动体的每一个的升降进行引导；以及一个支承框架,其沿与上述基台的升降方向正交的方向连续且具有与上述升降方向平行的壁面,并且在该壁面上固定全部上述四个引导部。

5、<发明的效果>

6、根据一个方式,能够适当调整基台的姿势,并且能够促进施加于基台的载荷的均匀化。

技术特征：

1.一种工作台,具有:

2.根据权利要求1所述的工作台,其中,包括:

3.根据权利要求2所述的工作台,其中,

4.根据权利要求1至3中任一项所述的工作台,其中,

5.根据权利要求4所述的工作台,其中,

6.根据权利要求1至3中任一项所述的工作台,其中,

7.根据权利要求6所述的工作台,其中,

8.根据权利要求1至3中任一项所述的工作台,其中,

9.根据权利要求1至3中任一项所述的工作台,其中,

10.根据权利要求9所述的工作台,其中,

11.根据权利要求9所述的工作台,其中,

12.一种检查装置,其具有用于载置且搬运基板的工作台,并且使探针接触搬运来的上述基板而对该基板的电特性进行检查,

13.一种工作台的动作方法,具有:

技术总结
一种工作台、检查装置及工作台的动作方法,其能够促进施加于基台的载荷的均匀化。工作台具有:一个基台；四个可动体,其以可升降的方式对上述基台进行支承；四个驱动电动机,其与上述四个可动体的每一个对应设置,使该四个可动体进行个别升降；四个引导部,其对上述四个可动体的每一个的升降进行引导；以及一个支承框架,其沿与上述基台的升降方向正交的方向连续且具有与上述升降方向平行的壁面,并且在该壁面上固定全部上述四个引导部。

技术研发人员：小林将人,小林弘人,阿川裕晃
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12