磁传感器的制作方法

本发明涉及磁传感器，特别是涉及可消除环境磁场的影响的磁传感器。

背景技术：

1、磁传感器中，特别是检测微弱的磁场的磁传感器强烈受到地磁等环境磁场的影响，因此，为了精确地检测检测对象磁场，需要消除环境磁场的影响。作为可消除环境磁场的影响的磁传感器，已知有专利文献1所记载的磁传感器。专利文献1所记载的磁传感器具备：检测环境磁场的第一磁场检测部、检测检测对象磁场的第二磁场检测部、对第二磁场检测部施加与第一磁场检测部的输出信号对应的消除磁场的磁场产生部。由此，施加于第二磁场检测部的环境磁场被消除，因此，对第二磁场检测部仅施加检测对象磁场。

2、但是，有时在环境磁场中不仅包含地磁等dc分量，还包含电源噪声等ac分量。环境磁场的ac分量由于相位根据空间位置而不同，因此，在专利文献1所记载的磁传感器中，可能不能正确地消除环境磁场的ac分量，在根据第一磁场检测部和第二磁场检测部的位置放大了环境磁场的ac分量的状态下，可能与检测磁场信号重叠。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2015－087228号公报

技术实现思路

1、因此，本发明的目的在于，提供可与检测磁场传感器的位置无关地消除环境磁场中所含的ac分量的磁传感器。

2、本发明的磁传感器，具备：环境磁场传感器，其通过检测环境磁场而生成环境磁场信号；检测磁场传感器，其通过检测检测对象磁场而生成检测磁场信号；第一滤波器，其通过从环境磁场信号除去规定的频段的ac分量而提取dc分量；第一补偿线圈，其基于dc分量对检测磁场传感器施加第一消除磁场；第二补偿线圈，其基于检测磁场信号对检测磁场传感器施加第二消除磁场；第二滤波器，其从检测磁场信号至少除去规定的频段的ac分量。

3、根据本发明，通过第一滤波器从环境磁场信号除去规定的频段的ac分量，并且通过第二滤波器从检测磁场信号除去规定的频段的ac分量，因此，不管环境磁场传感器和检测磁场传感器的位置如何，都可以消除环境磁场中所含的ac分量。

4、在本发明中，也可以是检测磁场传感器包含汇集磁场的外部集磁体，第一补偿线圈卷绕于外部集磁体。据此，能够在第一补偿线圈中流过较大的电流，因此，即使在环境磁场较强的情况下，也可以消除它。

5、在本发明中，也可以是检测磁场传感器包含形成于传感器芯片的感磁元件，第二补偿线圈由形成于传感器芯片的薄膜线圈构成。据此，可以减少部件数量，并且高精度地消除检测磁场信号。

6、本发明的磁传感器也可以具备多个由检测磁场传感器和与其对应的第一及第二补偿线圈构成的单位传感器。据此，可以在多个位置上检测检测对象磁场。在该情况下，多个单位传感器中所含的第一补偿线圈也可以相互串联连接。据此，可以向所有的第一补偿线圈流过相同的消除电流。

7、这样，根据本发明，可以提供可消除环境磁场中所含的ac分量的磁传感器。

技术特征：

1.一种磁传感器，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的磁传感器，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的磁传感器，其特征在于，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的磁传感器，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的磁传感器，其特征在于，

技术总结
本发明提供可消除环境磁场中所含的AC分量的磁传感器。磁传感器(1)具备：生成环境磁场信号(F0)的环境磁场传感器(S0)、生成检测磁场信号(F1)的检测磁场传感器(S1)、通过从环境磁场信号(F0)除去规定的频段的AC分量来提取DC分量的电容器(C)、基于DC分量对检测磁场传感器(S1)施加消除磁场的补偿线圈(31)、基于检测磁场信号(F1)对检测磁场传感器(S1)施加消除磁场的补偿线圈(41)、从检测磁场信号(F1)至少除去规定的频段的AC分量的带通滤波器(91)。由此，不管环境磁场传感器和检测磁场传感器的位置如何，都可以消除环境磁场中所含的AC分量。

技术研发人员：山地勇一郎,笠岛多闻,恶七泰树
受保护的技术使用者：TDK株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11