一种倒角加工规格纠错的方法与流程

1.本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种倒角加工规格纠错的方法。


背景技术：

2.在半导体加工工艺中，晶圆倒角主要是去除硅片边缘应力，防止制成过程后产生崩边和碎片。实际加工过程中需要加工成不同的倒角规格(主要有倒角形貌轮廓、参考面直线长度)来满足后工序制作的需要。通常在倒角工艺中，不同的规格参数由于操作者在数控系统内设置的失误，造成规格加工出错的情况不乏偶发，导致晶圆倒角合格率低下和制作成本的浪费。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的问题，本发明提供一种倒角加工规格纠错的方法，已解决上述至少一个技术问题。
4.本发明的技术方案是：一种倒角加工规格纠错的方法，其特征在于，包括：
5.步骤一，通过在晶圆成品上使用游标卡尺精确测量晶圆成品的直径数据、垂直直径数据从而获取参考面长度，将参考面长度的信息录入到系统中；
6.步骤二，再通过砂轮编码的信息获取倒角轮廓形貌，将倒角轮廓形貌的信息录入到系统中；
7.步骤三，在系统中输入样本晶圆的参考面长度值，并且与系统内部自动调取的晶圆参考面长度规格，相之比对，若超出规范，将作出报错提示，停止加工；
8.步骤四，在系统中输入砂轮编码的信息，调取系统中的该砂轮的倒角轮廓形貌，再与样本晶圆的轮廓形貌规格与之作比对，同样的，若各自读取的信息不符，将作报错提示，停止加工。
9.本方法主要提供具有对倒角规格倒角轮廓形貌、参考面直线长度进行检查和提示纠正的功能。其中参考面长度由于现有计量器具不能准确地在晶圆上检测出来(由于形状的特性，导致测量精确度不够，无法满足工艺要求)，但可通过晶圆成品的实测直径、垂直直径(能够使用游标卡尺精确测量)数据，并录入到系统上，以自动计算出当前实际参考面长度值，并且与程序内部自动调取的本晶圆参考面长度规格，相之比对，若超出规范，将作出报错提示，停止加工。由于倒角轮廓形貌是由倒角加工时使用的砂轮(砥石)类型决定的，因此可通过砂轮编码的信息输入，调取数据库中的该砂轮的类型信息，再与该晶圆轮廓形貌(程序通过晶圆制作的批号信息自动调取)规格与之作比对，同样的，若各自读取的信息不符，将作报错提示，停止加工。
10.进一步优选，步骤三和步骤四可同时在系统中输入。从而能够加快检查的速度。
11.进一步优选，所述系统中设有四个处理界面，分别为第一处理界面、第二处理界面、第三处理界面和第四处理界面，第一处理界面上设有用于输入样本晶圆编号的输入框，第二处理界面上设有输入样本晶圆直径和样本晶圆垂直直径的输入框，第三处理界面上设
有用于显示理想晶圆成本轮廓的显示屏，第四处理界面上设有用于输入砂轮编码的输入框。
12.本发明优化了系统从而能够更简洁快速的对晶圆进行检查，节约了成本。
13.进一步优选，所述第二界面和所述第四界面上均设有用于作出报错提示的显示面，显示面上会显示“正确”或者“错误”。从而能够更清楚的了解晶圆的情况。
14.进一步优选，所述系统设有保存模块。从而能够对每一次检查的数据进行保存，从而方便复查。
附图说明
15.图1是系统的一种显示界面；
16.图2是系统的另一种显示界面；
17.图3是系统的另一种显示界面。
具体实施方式
18.下面结合附图对本发明做进一步的说明。
19.具体实施例1
20.参见图1，在系统上输入样本晶圆编号、样本晶圆直径和样本晶圆垂直直径、砂轮编码的界面示意图，图2是点检计算和确认，正确的情况时界面的示意图，图3是若相关数据不符时的界面示意图，
21.一种倒角加工规格纠错的方法，包括：
22.步骤一，通过在晶圆成品上使用游标卡尺精确测量晶圆成品的直径数据、垂直直径数据从而获取参考面长度，将参考面长度的信息录入到系统中；步骤二，再通过砂轮编码的信息获取倒角轮廓形貌，将倒角轮廓形貌的信息录入到系统中；步骤三，在系统中输入样本晶圆的参考面长度值，并且与系统内部自动调取的晶圆参考面长度规格，相之比对，若超出规范，将作出报错提示，停止加工；步骤四，在系统中输入砂轮编码的信息，调取系统中的该砂轮的倒角轮廓形貌，再与样本晶圆的轮廓形貌规格与之作比对，同样的，若各自读取的信息不符，将作报错提示，停止加工。
23.本方法主要提供具有对倒角规格倒角轮廓形貌、参考面直线长度进行检查和提示纠正的功能。其中参考面长度由于现有计量器具不能准确地在晶圆上检测出来(由于形状的特性，导致测量精确度不够，无法满足工艺要求)，但可通过晶圆成品的实测直径、垂直直径(能够使用游标卡尺精确测量)数据，并录入到系统上，以自动计算出当前实际参考面长度值，并且与程序内部自动调取的本晶圆参考面长度规格，相之比对，若超出规范，将作出报错提示，停止加工。由于倒角轮廓形貌是由倒角加工时使用的砂轮(砥石)类型决定的，因此可通过砂轮编码的信息输入，调取数据库中的该砂轮的类型信息，再与该晶圆轮廓形貌(程序通过晶圆制作的批号信息自动调取)规格与之作比对，同样的，若各自读取的信息不符，将作报错提示，停止加工。
24.进一步优选，步骤三和步骤四可同时在系统中输入。从而能够加快检查的速度。
25.进一步优选，所述系统中设有四个处理界面，分别为第一处理界面、第二处理界面、第三处理界面和第四处理界面，第一处理界面上设有用于输入样本晶圆编号的输入框，
第二处理界面上设有输入样本晶圆直径和样本晶圆垂直直径的输入框，第三处理界面上设有用于显示理想晶圆成本轮廓的显示屏，第四处理界面上设有用于输入砂轮编码的输入框。
26.本发明优化了系统从而能够更简洁快速的对晶圆进行检查，节约了成本。
27.进一步优选，所述第二界面和所述第四界面上均设有用于作出报错提示的显示面，显示面上会显示“正确”或者“错误”。从而能够更清楚的了解晶圆的情况。
28.进一步优选，所述系统设有保存模块。从而能够对每一次检查的数据进行保存，从而方便复查。
29.以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。


技术特征：
1.一种倒角加工规格纠错的方法，其特征在于，包括：步骤一，通过在晶圆成品上使用游标卡尺精确测量晶圆成品的直径数据、垂直直径数据从而获取参考面长度，将参考面长度的信息录入到系统中；步骤二，再通过砂轮编码的信息获取倒角轮廓形貌，将倒角轮廓形貌的信息录入到系统中；步骤三，在系统中输入样本晶圆的参考面长度值，并且与系统内部自动调取的晶圆参考面长度规格，相之比对，若超出规范，将作出报错提示，停止加工；步骤四，在系统中输入砂轮编码的信息，调取系统中的该砂轮的倒角轮廓形貌，再与样本晶圆的轮廓形貌规格与之作比对，同样的，若各自读取的信息不符，将作报错提示，停止加工。2.根据权利要求1所述的一种倒角加工规格纠错的方法，其特征在于：步骤三和步骤四可同时在系统中输入。3.根据权利要求1所述的一种倒角加工规格纠错的方法，其特征在于：所述系统中设有四个处理界面，分别为第一处理界面、第二处理界面、第三处理界面和第四处理界面，第一处理界面上设有用于输入样本晶圆编号的输入框，第二处理界面上设有输入样本晶圆直径和样本晶圆垂直直径的输入框，第三处理界面上设有用于显示理想晶圆成本轮廓的显示屏，第四处理界面上设有用于输入砂轮编码的输入框。4.根据权利要求1所述的一种倒角加工规格纠错的方法，其特征在于：所述第二界面和所述第四界面上均设有用于作出报错提示的显示面，显示面上会显示“正确”或者“错误”。5.根据权利要求1所述的一种倒角加工规格纠错的方法，其特征在于：所述系统设有保存模块。

技术总结
本发明涉及一种倒角加工规格纠错的方法，包括：步骤一，通过在晶圆成品上使用游标卡尺精确测量晶圆成品的直径数据、垂直直径数据从而获取参考面长度，将参考面长度的信息录入到系统中；步骤二，再通过砂轮编码的信息获取倒角轮廓形貌，将倒角轮廓形貌的信息录入到系统中；步骤三，在系统中输入样本晶圆的参考面长度值，并且与系统内部自动调取的晶圆参考面长度规格，相之比对，若超出规范，将作出报错提示，停止加工；步骤四，在系统中输入砂轮编码的信息，调取系统中的该砂轮的倒角轮廓形貌，再与样本晶圆的轮廓形貌规格与之作比对，同样的，若各自读取的信息不符，将作报错提示，停止加工。加工。


技术研发人员：王庆荣
受保护的技术使用者：上海中欣晶圆半导体科技有限公司
技术研发日：2022.11.01
技术公布日：2023/2/27