光电参数的异常检测方法和装置与流程

本公开涉及光电子，特别涉及一种光电参数的异常检测方法和装置。

背景技术：

1、在采用测试机测试发光二极管的光电参数的过程中，受到测试机的测试探针状态变化的影响，光电参数(发光二极管的亮度和电压)的测试值也容易发生变化，使光电参数的测试值偏离真实值。

2、相关技术中，需要通过人工校对的方式确定光电参数的测试值是否存在偏差异常。然而，晶圆上通常有大量的发光二极管，逐个校对的方式会耗费许多人力，影响发光二极管的生产效率。

技术实现思路

1、本公开实施例提供了一种光电参数的异常检测方法和装置，能提升晶圆上发光二极管的测试值异常的检测效率，降低人工工作强度，提升发光二极管的生产效率。所述技术方案如下：

2、本公开实施例提供了一种光电参数的异常检测方法，所述异常检测方法包括：获取晶圆上各个发光二极管的光电参数的测试值和回测值，所述测试值和所述回测值为采用不同测试机分别测试得到的数据；确定同一颗发光二极管的测试值和回测值的对比值，所述对比值用于指示测试值和回测值之间的变化幅度；将相邻两个发光二极管的所述对比值之差确定为跳动值；若所述跳动值超出设定幅度，则确定所述晶圆的测试值存在异常。

3、在本公开实施例的一种实现方式中，所述光电参数为发光二极管的亮度值时，所述对比值为所述测试值与所述回测值之差与所述回测值的比值。

4、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述光电参数为发光二极管的电压时，所述对比值为所述测试值与所述回测值之差。

5、在本公开实施例提供的另一种实现方式中，所述将相邻两个发光二极管的所述对比值之差确定为跳动值包括：将所述晶圆上同一列或同一行中相邻的两个发光二极管的所述对比值之差确定为跳动值。

6、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述光电参数还包括发光二极管发出的光的波长，所述获取晶圆上各个发光二极管的光电参数的测试值和回测值之后，还包括：确定各发光二极管的波长差值，所述波长差值为所述测试值中的波长与所述回测值中的波长之差；若所述波长差值在设定范围外，则重新获取晶圆上各个发光二极管的光电参数的测试值和回测值。

7、本公开实施例提供了一种光电参数的异常检测装置，所述异常检测装置包括：获取模块，用于获取晶圆上各个发光二极管的光电参数的测试值和回测值，所述测试值和所述回测值为采用不同测试机分别测试得到的数据；第一确定模块，用于确定同一颗发光二极管的测试值和回测值的对比值，所述对比值用于指示测试值和回测值之间的变化幅度；第二确定模块，用于将相邻两个发光二极管的所述对比值之差确定为跳动值；判定模块，用于若所述跳动值超出设定幅度，则确定所述晶圆的测试值存在异常。

8、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述光电参数为发光二极管的亮度值时，所述对比值为所述测试值与所述回测值之差与所述回测值的比值。

9、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述光电参数为发光二极管的电压时，所述对比值为所述测试值与所述回测值之差。

10、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述第二确定模块还用于将所述晶圆上同一列或同一行中相邻的两个发光二极管的所述对比值之差确定为跳动值。

11、在本公开实施例的另一种实现方式中，所述光电参数还包括发光二极管发出的光的波长，所述异常检测装置还包括第三确定模块，所述第三确定模块用于确定各发光二极管的波长差值，所述波长差值为所述测试值中的波长与所述回测值中的波长之差；所述获取模块还用于若所述波长差值在设定范围外，则重新获取晶圆上各个发光二极管的光电参数的测试值和回测值。

12、本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

13、本公开实施例提供的异常检测方法，先获取晶圆上所有发光二极管的测试值和回测值，然后，确定同一颗发光二极管光电参数的对比值，对比值是用于指示测试值和回测值之间的变化幅度的数据，接着，确定相邻的两个发光二极管的跳动值，跳动值则是用于指示相邻两个发光二极管的对比值的变化幅度。通常情况下测试探针测试的测试值没有异常或错误时，相邻发光二极管的对比值的波动幅度也不大。因此，当相邻发光二极管的跳动值超出设定幅度时，表明相邻发光二极管的对比值的波动幅度较大，因而可以判断出晶圆的测试值存在异常。这样通过机器对数据进行自动识别判断测试值是否异常的方式，能有效降低人工工作强度，提升晶圆上发光二极管的测试值异常的检测效率，提升发光二极管的生产效率。

技术特征：

1.一种光电参数的异常检测方法，其特征在于，所述异常检测方法包括：

2.根据权利要求1所述的异常检测方法，其特征在于，所述光电参数为发光二极管的亮度值时，所述对比值为所述测试值与所述回测值之差与所述回测值的比值。

3.根据权利要求1所述的异常检测方法，其特征在于，所述光电参数为发光二极管的电压时，所述对比值为所述测试值与所述回测值之差。

4.根据权利要求1至3任一项所述的异常检测方法，其特征在于，所述将相邻两个发光二极管的所述对比值之差确定为跳动值包括：

5.根据权利要求1至3任一项所述的异常检测方法，其特征在于，所述光电参数还包括发光二极管发出的光的波长，所述获取晶圆上各个发光二极管的光电参数的测试值和回测值之后，还包括：

6.一种光电参数的异常检测装置，其特征在于，所述异常检测装置包括：

7.根据权利要求6所述的异常检测装置，其特征在于，所述光电参数为发光二极管的亮度值时，所述对比值为所述测试值与所述回测值之差与所述回测值的比值。

8.根据权利要求6所述的异常检测装置，其特征在于，所述光电参数为发光二极管的电压时，所述对比值为所述测试值与所述回测值之差。

9.根据权利要求6至8任一项所述的异常检测装置，其特征在于，所述第二确定模块还用于将所述晶圆上同一列或同一行中相邻的两个发光二极管的所述对比值之差确定为跳动值。

10.根据权利要求6至8任一项所述的异常检测装置，其特征在于，所述光电参数还包括发光二极管发出的光的波长，所述异常检测装置还包括第三确定模块，所述第三确定模块用于确定各发光二极管的波长差值，所述波长差值为所述测试值中的波长与所述回测值中的波长之差；所述获取模块还用于若所述波长差值在设定范围外，则重新获取晶圆上各个发光二极管的光电参数的测试值和回测值。

技术总结
本公开提供了一种光电参数的异常检测方法和装置，属于光电子技术领域。该异常检测方法包括：获取晶圆上各个发光二极管的光电参数的测试值和回测值；确定同一颗发光二极管的测试值和回测值的对比值，所述对比值用于指示测试值和回测值之间的变化幅度；将相邻两个发光二极管的所述对比值之差确定为跳动值；若所述跳动值超出设定幅度，则确定所述晶圆的测试值存在异常。本公开能提升晶圆上发光二极管的测试值异常的检测效率，降低人工工作强度，提升发光二极管的生产效率。

技术研发人员：顾新宇,戴溧强,陈建南,刘康
受保护的技术使用者：华灿光电（苏州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13