用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台的制作方法

1.本实用新型涉及晶片检测设备技术领域，更具体的是涉及用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台技术领域。


背景技术：

2.为了观察晶片的表面缺陷，需要采用显微镜进行观察。目前观察时，将待观察晶片放置在显微镜的载物台上，在观察时，需要根据观察视野实时调节晶片的位置，在调节过程中，可能导致划花载物台；由于晶片具有一定透光性，会导致载物台被划花的部位与晶片的缺陷部位重合等不利情况产生，无法辨认晶片的缺陷。
3.如何解决上述技术问题成了本领域技术人员的努力方向。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于：为了解决上述技术问题，本实用新型提供用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台。
5.本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
6.用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台，包括底座，所述底座上设置有载物台，载物台一侧的底座上设置有用于安装显微镜的支架，所述载物台上设置有防止载物台被晶片刮花的晶片支撑架，晶片支撑架上设置有多级同心的防止晶片移动时滑落的弧形卡接槽。
7.进一步地，所述晶片支撑架为一体成型的十字架结构，十字架结构上表面以其中心为圆心在其边缘处设置多级弧形卡接槽，外侧卡接槽的底部高度大于内侧卡接槽的底部高度。
8.进一步地，十字架结构上表面以其中心为圆心在其边缘处设置两级弧形卡接槽，两级弧形卡接槽包括内部的第一级卡接槽上和外部的第二级卡接槽。
9.进一步地，所述十字架结构边缘均设置有弧形倒角。
10.进一步地，所述载物台左右两侧均设置有缺口一和缺口二，支架穿过缺口一，所述晶片支撑架位于缺口二一侧。
11.进一步地，所述载物台为方形载物台，方形载物台边缘都设置为弧形倒角。
12.进一步地，所述载物台的材质为亚克力板。
13.本实用新型的有益效果如下：
14.1、本实用新型结构设计合理，在载物台上设置一个晶片支撑架用于放置晶片，从而有效的解决载物台被划花的问题，在晶片支撑架上根据需要观察的视野实时调节晶片的位置，从而避免在调节过程中，晶片划花载物台；避免了载物台被划花的部位与晶片的缺陷部位重合等不利情况产生，无法辨认晶片的缺陷的情况。
15.2、晶片支撑架上设置有多级同心的防止晶片移动时滑落的弧形卡接槽；这种结构的设置可以根据需要把不同尺寸的晶片卡接在不同的弧形卡接槽内，具有很强的实用性。
附图说明
16.图1是本实用新型的结构示意图；
17.图2是图1的底部方向的一个向视图；
18.图3是载物台和晶片支撑架的结构示意图；
19.图4是晶片支撑架的结构示意图；
20.图5是晶片支撑架和晶片的结构示意图；
21.图6是图5底部方向的一个向视图；
22.图7是底座和支架的结构示意图；
23.图8是载物台的结构示意图；
24.附图标记：1-载物台，1-1-缺口二，1-2-缺口一，2-晶片支撑架，3-内侧晶片b，4-支架，5-底座，6-内侧晶片a。
具体实施方式
25.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
26.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
28.在本实用新型实施方式的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“上”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
29.实施例1
30.如图1到8所示，本实施例提供用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台，包括底座5，所述底座5上设置有载物台1，载物台1一侧的底座5上设置有用于安装显微镜的支架4，所述载物台1上设置有防止载物台1被晶片刮花的晶片支撑架2，晶片支撑架2上设置有多级同心的防止晶片移动时滑落的弧形卡接槽。
31.所述晶片支撑架2为一体成型的十字架结构，十字架结构上表面以其中心为圆心在其边缘处设置多级弧形卡接槽，外侧卡接槽的底部高度大于内侧卡接槽的底部高度。
32.在载物台上设置一个晶片支撑架用于放置晶片，从而有效的解决载物台被划花的问题，在晶片支撑架上根据需要观察的视野实时调节晶片的位置，从而避免在调节过程中，晶片划花载物台；避免了载物台被划花的部位与晶片的缺陷部位重合等不利情况产生，无
法辨认晶片的缺陷的情况。
33.实施例2
34.本实施例是在实施例1的基础上做了进一步优化，具体是：
35.十字架结构上表面以其中心为圆心在其边缘处设置两级弧形卡接槽，两级弧形卡接槽包括内部的第一级卡接槽上和外部的第二级卡接槽，第一级卡接槽上用于放置尺寸较小的晶片a6，第二级卡接槽上用于放置尺寸较大的晶片b3。
36.所述十字架结构边缘均设置有弧形倒角。
37.所述载物台1左右两侧均设置有缺口一1-2和缺口二1-1，支架4穿过缺口一1-2，所述晶片支撑架2位于缺口二1-1一侧。
38.所述载物台1为方形载物台，方形载物台边缘都设置为弧形倒角。
39.所述载物台1的材质为亚克力板。


技术特征：
1.用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台，包括底座(5)，其特征在于，所述底座(5)上设置有载物台(1)，载物台(1)一侧的底座(5)上设置有用于安装显微镜的支架(4)，所述载物台(1)上设置有防止载物台(1)被晶片刮花的晶片支撑架(2)，晶片支撑架(2)上设置有多级同心的防止晶片移动时滑落的弧形卡接槽。2.根据权利要求1所述的用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台，其特征在于，所述晶片支撑架(2)为一体成型的十字架结构，十字架结构上表面以其中心为圆心在其边缘处设置多级弧形卡接槽，外侧卡接槽的底部高度大于内侧卡接槽的底部高度。3.根据权利要求2所述的用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台，其特征在于，十字架结构上表面以其中心为圆心在其边缘处设置两级弧形卡接槽，两级弧形卡接槽包括内部的第一级卡接槽上和外部的第二级卡接槽，第一级卡接槽上用于放置尺寸较小的晶片a(6)，第二级卡接槽上用于放置尺寸较大的晶片b(3)。4.根据权利要求2所述的用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台，其特征在于，所述十字架结构边缘均设置有弧形倒角。5.根据权利要求1所述的用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台，其特征在于，所述载物台(1)左右两侧均设置有缺口一(1-2)和缺口二(1-1)，支架(4)穿过缺口一(1-2)，所述晶片支撑架(2)位于缺口二(1-1)一侧。6.根据权利要求1所述的用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台，其特征在于，所述载物台(1)为方形载物台，方形载物台边缘都设置为弧形倒角。7.根据权利要求1所述的用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台，其特征在于，所述载物台(1)的材质为亚克力板。

技术总结
本实用新型公开了用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台，涉及晶片检测设备技术领域，包括底座，所述底座上设置有载物台，载物台一侧的底座上设置有用于安装显微镜的支架，所述载物台上设置有防止载物台被晶片刮花的晶片支撑架，晶片支撑架上层叠防止有多块晶片；本实用新型设计合理，能够防止晶片刮花置物台，且具有生产制造成本低的优点。具有生产制造成本低的优点。具有生产制造成本低的优点。


技术研发人员：李辉 王军涛
受保护的技术使用者：成都泰美克晶体技术有限公司
技术研发日：2022.03.14
技术公布日：2022/9/22