一种化学滤料的测试系统的制作方法

文档序号:31745923发布日期:2022-10-05 07:02阅读:36来源:国知局
一种化学滤料的测试系统的制作方法

1.本实用新型涉及空气过滤领域,特别涉及一种化学滤料的测试系统。


背景技术:

2.随着国家科技发展,在集成半导体器件、磁盘驱动器以及液晶显示器等高科技行业,由于产品工序复杂性的增加和产品制程线宽的缩小,从而在空气中产生了较多的气态分子污染物。经研究表明气态分子污染物会导致产品成品率下降、性能退化及失效等,例如在半导体行业,amc会引起光阻剂的t型覆盖、腐蚀效应、非均匀的氧化层生长、晶片表面特性变化、栅氧化层完整性降低等。因此很多行业洁净室中大都装有高效过滤器(hepa)或超高效过滤器(ulpa),虽然他们对控制0.05μm以上的粒子非常有效,但是对于平均尺寸在10a到100a大小的amc而言,却无能为力。同时,随着国家和家庭对空气质量的日益重视,包括机场航站楼、博物馆、核电站、楼宇污水处理场、污水曝气处理场以及家用空气净化器等都对化学过滤器有明显的需求。因此,为了清除气态分子污染物,过滤器制造商积极推出了各种化学过滤器产品。通过调研发现,目前市场上并未有成熟的化学滤料测试系统和测试方法。
3.传统过滤器多采用玻纤材料制作而成,滤料测试方法采用滤料测试台,测试气体为气溶胶,测试条件不可改变。


技术实现要素:

4.本实用新型解决的技术问题是提供一种可以准确测量出化学滤料对于不同输入气体的吸收效率、吸附量及穿透周期。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种化学滤料的测试系统,按照气体的流动方向依次设置有进气系统、吸附试验系统、检测系统和尾气处理系统,所述进气系统处设置有高效过滤器,所述化学滤料的测试系统还包括控制系统,所述进气系统、吸附试验系统、检测系统和尾气处理系统分别与控制系统电气连接。
6.进一步的是:所述进气系统处设置有气体发生器。
7.进一步的是:所述吸附试验系统包括上测试管和下测试管,所述上测试管和下测试管通过夹具夹紧,使得上测试管和下测试管之间形成封闭空间,所述上测试管内设置有上游气体传感器,所述下测试管内设置有下游气体传感器,所述上测试管处连接有压差传感器,所述压差传感器的其中一个压力接口接在上测试管内,另一个压力接口接在下测试管内,所述上游气体传感器、下游气体传感器和压差传感器分别与控制系统电气连接。
8.进一步的是:所述尾气处理系统包括尾气排放管,所述尾气排放管上设置有废气处理化学过滤器组,所述尾气排放管的一端与下测试管连接,所述尾气排放管的另一端上连接有风机。
9.进一步的是:所述尾气排放管上位于废气处理化学过滤器组和风机之间设置有流量计和尾气气体传感器,所述流量计和尾气气体传感器分别与控制系统电气连接。
10.本实用新型的有益效果是:本化学滤料的测试系统主要用于化学滤料核心指标测
试工作,通过改变进气气体的种类、浓度和流速等测试参数,可以模拟化学滤料的使用环境。该测试设备可以同时适用三明治和颗粒吸附滤料,不仅可以得到滤料的吸附效率时间曲线,还可以对滤料进行寿命分析;使用专有的数据采集分析系统进行数据处理,得到滤料的最优的使用环境参数,从而有助估算出化学滤料实际使用寿命,确保产品在失效前及时更新,进而提升用户的使用体验。
附图说明
11.图1为一种化学滤料的测试系统的结构示意图;
12.图中标记为:1、高效过滤器;2、气体发生器;3、上测试管;4、下测试管;5、上游气体传感器;6、下游气体传感器;7、压差传感器;8、尾气排放管;9、废气处理化学过滤器组;10、风机;11、流量计;12、尾气气体传感器;13、控制系统。
具体实施方式
13.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。
14.如图1所示,本申请的实施例提供了一种化学滤料的测试系统,该化学滤料的测试系统按照气体的流动方向依次设置有进气系统、吸附试验系统、检测系统和尾气处理系统,所述进气系统处设置有高效过滤器1,所述化学滤料的测试系统还包括控制系统13,所述进气系统、吸附试验系统、检测系统和尾气处理系统分别与控制系统13电气连接。所述进气系统用于供待测气体进入到本化学滤料的测试系统内,所述吸附试验系统采用夹具来确保测试环境封闭和输入气体不泄露,确保试验人员和试验环境的安全性;在试验过程中进行监测测试参数变化,所述检测系统在吸附试验系统前后段分别安装不同种类的气体传感器,检测经过化学滤料后气体的浓度变化,输出信号与互联网进行联机,通过计算机上绘制出气体过滤效率与时间曲线,通过曲线确定被测化学滤料的穿透值及吸附容量。所述尾气处理系统使用化学过滤系统对未被吸附掉的气体进行无害化处理,使得排放的尾气符合气体排放要求。所述高效过滤器1用于过滤掉气体中的杂质、细菌等,使得待测气体干净。
15.在上述基础上,所述进气系统处设置有气体发生器2,所述气体发生器2用于控制气体的温度、湿度、浓度和流量,使得测试条件可以改变。
16.在上述基础上,所述吸附试验系统包括上测试管3和下测试管4,所述上测试管3和下测试管4通过夹具夹紧,使得上测试管3和下测试管4之间形成封闭空间,确保测试环境封闭和输入气体不泄露,确保试验人员和试验环境的安全性;图1中示出的是上测试管和下测试管未被夹紧的状态,被测滤料放置在上测试管3和下测试管4之间,所述上测试管3内设置有上游气体传感器5,所述上游气体传感器5用于检测吸附试验系统上游气体中某种有害物质的浓度,所述下测试管4内设置有下游气体传感器6,所述下游气体传感器6用于检测吸附试验系统下游气体中某种有害物质的浓度,所述上测试管3处连接有压差传感器7,所述压差传感器7的其中一个压力接口接在上测试管3内,另一个压力接口接在下测试管4内,所述压差传感器7用于检测上游气体和下游气体的压力差,所述上游气体传感器5、下游气体传感器6和压差传感器7分别与控制系统13电气连接。
17.在上述基础上,所述尾气处理系统包括尾气排放管8,所述尾气排放管8上设置有废气处理化学过滤器组9,所述废气处理化学过滤器组9用于过滤掉吸附试验后的气体中未
被吸附掉的有害物质,使得排放的尾气符合排放要求,所述尾气排放管8的一端与下测试管4连接,所述尾气排放管8的另一端上连接有风机10,所述风机给尾气的排出提供动力。
18.在上述基础上,所述尾气排放管8上位于废气处理化学过滤器组9和风机之间设置有流量计11和尾气气体传感器12,所述流量计11和尾气气体传感器12分别与控制系统13电气连接,所述流量计11用于检测尾气排放的流量,所述尾气气体传感器12用于检测尾气中有害物质的浓度。
19.以上所述的具体实施例,对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征:
1.一种化学滤料的测试系统,其特征在于:按照气体的流动方向依次设置有进气系统、吸附试验系统、检测系统和尾气处理系统,所述进气系统处设置有高效过滤器(1),所述化学滤料的测试系统还包括控制系统(13),所述进气系统、吸附试验系统、检测系统和尾气处理系统分别与控制系统(13)电气连接。2.如权利要求1所述的一种化学滤料的测试系统,其特征在于:所述进气系统处设置有气体发生器(2)。3.如权利要求1所述的一种化学滤料的测试系统,其特征在于:所述吸附试验系统包括上测试管(3)和下测试管(4),所述上测试管(3)和下测试管(4)通过夹具夹紧,使得上测试管(3)和下测试管(4)之间形成封闭空间,所述上测试管(3)内设置有上游气体传感器(5),所述下测试管(4)内设置有下游气体传感器(6),所述上测试管(3)处连接有压差传感器(7),所述压差传感器(7)的其中一个压力接口接在上测试管(3)内,另一个压力接口接在下测试管(4)内,所述上游气体传感器(5)、下游气体传感器(6)和压差传感器(7)分别与控制系统(13)电气连接。4.如权利要求1所述的一种化学滤料的测试系统,其特征在于:所述尾气处理系统包括尾气排放管(8),所述尾气排放管(8)上设置有废气处理化学过滤器组(9),所述尾气排放管(8)的一端与下测试管(4)连接,所述尾气排放管(8)的另一端上连接有风机(10)。5.如权利要求4所述的一种化学滤料的测试系统,其特征在于:所述尾气排放管(8)上位于废气处理化学过滤器组(9)和风机(10)之间设置有流量计(11)和尾气气体传感器(12),所述流量计(11)和尾气气体传感器(12)分别与控制系统(13)电气连接。

技术总结
本实用新型公开了一种化学滤料的测试系统,涉及空气过滤领域,按照气体的流动方向依次设置有进气系统、吸附试验系统、检测系统和尾气处理系统,所述进气系统处设置有高效过滤器,所述化学滤料的测试系统还包括控制系统,所述进气系统、吸附试验系统、检测系统和尾气处理系统分别与控制系统电气连接。本化学滤料通过改变进气气体的种类、浓度和流速等测试参数,可以模拟化学滤料的使用环境。不仅可以得到滤料的效率时间曲线,还可以对滤料进行寿命分析;使用专有的数据采集分析系统进行数据处理,得到滤料的最优的使用环境参数,从而有助估算出化学滤料实际使用寿命,确保产品在失效前及时更新,进而提升用户的使用体验。进而提升用户的使用体验。进而提升用户的使用体验。


技术研发人员:施建新
受保护的技术使用者:苏州艾斯特环境科技有限公司
技术研发日:2022.06.06
技术公布日:2022/10/4
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