一种显影液浓度监控装置的制作方法

本技术涉及半导体显影设备，尤其涉及一种显影液浓度监控装置。

背景技术：

1、目前，led行业内大部分使用的显影设备都是没有安装浓度监测装置，需靠厂务端或机台端的工作人员滴管送样至实验室以进行显影液浓度测试，费时费力，而且浓度有波动或异常时，机台端的现场工作人员不能及时知晓，从而不能及时控制机台端的机台停止进片作业，进而不能尽早对显影液浓度异常情况进行处理。小部分的显影设备虽然安装有浓度监测装置以进行显影液浓度监测，但还需人工实时监测；若出现显影液浓度异常时，容易因人为因素(如现场的工作人员在处理着其他事项或暂时离开工作现场)导致不能及时察觉异常情况，从而不能及时控制机台端的机台停止进片作业，进而不能尽早对显影液浓度异常情况进行处理。因此上述两种情况均容易因显影液浓度异常时机台继续进片作业，从而造成大批量产品不良，大大降低了产品的生产质量和显影液浓度异常处理效率。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种显影液浓度监控装置，能够实时监测显影液浓度情况并自动控制机台端的机台的工作状态，可提高产品的生产质量和显影液浓度异常处理效率。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种显影液浓度监控装置，包括显影液暂存部、控制模块以及分别与控制模块连接的超声波检测模块、报警传输模块、温度检测模块和报警模块；显影液暂存部用于输入和输出显影液；报警模块用于发出报警信号；温度检测模块设于显影液暂存部中，用于检测显影液暂存部中的显影液的温度信号；超声波检测模块设于显影液暂存部中，用于发射和接收超声波信号；控制模块用于通过报警传输模块控制机台端的工作状态。

3、作为上述方案的改进，报警模块包括语音报警装置和报警指示灯。

4、作为上述方案的改进，控制模块上还设有显示屏，控制模块与显示屏连接。

5、作为上述方案的改进，还包括与控制模块连接的通信传输模块，通信传输模块用于与eam服务系统连接。

6、作为上述方案的改进，控制模块通过数据传输线穿过显影液暂存部中并分别与超声波检测模块和温度检测模块连接。

7、作为上述方案的改进，超声波检测模块包括超声波接收器和超声波发信器，温度检测模块设于超声波接收器的外壁上。

8、作为上述方案的改进，显影液暂存部包括显影液出管口和显影液进管口，显影液进管口用于接收厂务端输送的显影液，显影液出管口用于为机台端输送显影液。

9、作为上述方案的改进，报警传输模块包括有线传输模块或无线传输模块。

10、作为上述方案的改进，无线传输模块包括蓝牙模块/第一wifi模块/lora模块。

11、作为上述方案的改进，通信传输模块包括第二wifi模块/gprs模块/3g模块/4g模块。

12、实施本实用新型，具有如下有益效果；

13、本实用新型的显影液浓度监控装置，能够通过超声波方式实时检测显影液暂存部中的显影液浓度，同时通过温度补偿提高超声波方式检测到的显影液浓度的准确度。当显影液浓度出现异常时，控制模块能够通过报警传输模块发出控制信号给机台端，以使机台端驱动其机台自动停止工作，省时省力，而且避免机台继续进片作业而造成大批量产品不良，大大提高了生产质量；同时控制模块还会控制报警模块发出报警信号，以警示工作人员及时进行相应处理措施，提高显影液浓度异常处理效率。

技术特征：

1.一种显影液浓度监控装置，其特征在于，包括显影液暂存部、控制模块以及分别与所述控制模块连接的超声波检测模块、报警传输模块、温度检测模块和报警模块；

2.根据权利要求1所述的显影液浓度监控装置，其特征在于，所述报警模块包括语音报警装置和报警指示灯。

3.根据权利要求1所述的显影液浓度监控装置，其特征在于，所述控制模块上还设有显示屏，所述控制模块与所述显示屏连接。

4.根据权利要求1所述的显影液浓度监控装置，其特征在于，还包括与所述控制模块连接的通信传输模块，所述通信传输模块用于与eam服务系统连接。

5.根据权利要求1所述的显影液浓度监控装置，其特征在于，所述控制模块通过数据传输线穿过所述显影液暂存部中并分别与所述超声波检测模块和所述温度检测模块连接。

6.根据权利要求1或5所述的显影液浓度监控装置，其特征在于，所述超声波检测模块包括超声波接收器和超声波发信器，所述温度检测模块设于所述超声波接收器的外壁上。

7.根据权利要求1所述的显影液浓度监控装置，其特征在于，所述显影液暂存部包括显影液出管口和显影液进管口，所述显影液进管口用于接收厂务端输送的所述显影液，所述显影液出管口用于为所述机台端输送所述显影液。

8.根据权利要求1所述的显影液浓度监控装置，其特征在于，所述报警传输模块包括有线传输模块或无线传输模块。

9.根据权利要求8所述的显影液浓度监控装置，其特征在于，所述无线传输模块包括蓝牙模块/第一wifi模块/lora模块。

10.根据权利要求4所述的显影液浓度监控装置，其特征在于，所述通信传输模块包括第二wifi模块/gprs模块/3g模块/4g模块。

技术总结
本技术公开了一种显影液浓度监控装置，包括显影液暂存部、控制模块以及分别与控制模块连接的超声波检测模块、报警传输模块、温度检测模块和报警模块；显影液暂存部用于输入和输出显影液；报警模块用于发出报警信号；温度检测模块设于显影液暂存部中，用于检测显影液暂存部中的显影液的温度信号；超声波检测模块设于显影液暂存部中，用于发射和接收超声波信号；控制模块用于通过报警传输模块控制机台端的工作状态。本技术能够实时监测显影液浓度情况并自动控制机台端的机台的工作状态，可提高产品的生产质量和显影液浓度异常处理效率。

技术研发人员：黄建华,段良飞,郭玉峰,刘剑荣,董国庆,文国昇,金从龙
受保护的技术使用者：江西兆驰半导体有限公司
技术研发日：20220907
技术公布日：2024/1/11