电子元件的检测装置的制作方法

本技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种电子元件的检测装置。

背景技术：

1、电子元件在完成生产制造后，可能存在缺陷，而电子元件本身比较小，电子元件上面的缺陷肉眼较难发现，因此，需要通过电子元件的检测装置来检测缺陷或测量关键尺寸，利用光学显微成像原理对于电子元件进行检测。

2、现有的电子元件的检测装置，通过分光棱镜或分光片比例分光，存在光损耗问题，并且，现有的电子元件的检测装置不具有对焦组件，在需要对焦时，需要额外向外部拿取对焦组件对焦，使用非常不方便。

技术实现思路

1、有鉴于此，有必要提供一种能够减少光损耗的电子元件的检测装置。

2、一种电子元件的检测装置，包括：

3、物镜，所述物镜的一侧设有载物平台；

4、第一分光组件，所述第一分光组件具有第一状态和第二状态；

5、照明组件，所述照明组件设于所述第一分光组件的一侧并能够发射不同波长的光；

6、对焦组件，所述对焦组件设于所述第一分光组件的一侧，用于使所述载物平台和所述物镜对焦；

7、控制部，所述控制部连接于所述第一分光组件，用于控制所述第一分光组件切换第一状态或第二状态，当所述第一分光组件处于第一状态时，所述照明组件发射的光线无损耗地经过所述第一分光组件并经所述物镜照射至所述载物平台，当所述第一分光组件处于第二状态时，所述对焦组件发射的光线经所述第一分光组件反射并经所述物镜照射至所述载物平台。

8、本实用新型的电子元件的检测装置在第一分光组件处于第一状态时，照明组件的光无损耗地经过第一分光组件，能够减少照明的光损耗，并且将对焦组件集成于电子元件的检测装置中，在需要对焦时，通过切换状态实现对焦和照明的切换，无需额外从外部拿取对焦组件进行对焦，使用方便。

9、在其中一个实施方式中，所述控制部为快门，所述第一分光组件包括第一分光片，所述快门连接于所述第一分光片，并控制所述第一分光片移动，以使所述第一分光组件切换第一状态或第二状态。

10、可以理解的是，通过快门实现第一分光片的挪移，当需要照明时，快门控制第一分光片移动，照明组件的光直接透过，第一分光片不会阻挡照明组件的光线，也不会对其进行分光，能够减少光损耗，当需要对焦时，对焦组件的光照射到第一分光片上，经第一分光片反射。

11、在其中一个实施方式中，所述第一分光组件包括第一分光片，所述控制部与所述第一分光片电性连接，所述控制部改变电信号以改变所述第一分光片的光属性，以使所述第一分光组件切换第一状态或第二状态。

12、可以理解的是，当需要照明时，控制部改变电信号从而改变第一分光片的光属性，增大第一分光片的透射率，使得照明组件的光能够全部透过第一分光片，当需要对焦时，控制部增大第一分光片的反射率，使得对焦组件的光能够较多地被第一分光片反射。

13、在其中一个实施方式中，所述对焦组件包括第一光源及分划板，所述分划板位于所述第一光源和所述分光组件之间，所述分划板上设有标记。

14、可以理解的是，通过固定图案搜索对焦，对焦速度更快也更稳定。

15、在其中一个实施方式中，所述对焦组件还包括第一准直透镜，所述第一准直透镜设于所述第一分光组件与所述分划板之间；

16、和/或，所述照明组件包括第二准直透镜和多个第二光源，多个所述第二光源发射的光的波长不同，所述第二准直透镜设于所述第一分光组件与多个所述第二光源之间。

17、第一准直透镜和第二准直透镜能够使发散的光平行，使得第一光源和第二光源的光能够垂直地照射到电子元件，防止光发散。

18、在其中一个实施方式中，所述电子元件的检测装置还包括相机、筒镜和第二分光组件，所述第二分光组件设于所述第一分光组件的一侧，所述筒镜和所述物镜分别位于所述第二分光组件的两侧，所述相机位于所述筒镜远离所述第二分光组件的一侧，所述筒镜具有不同的倍率。

19、可以理解的是，由于所需检测的电子元件的缺陷或尺寸大小不一，在检测小尺寸的瑕疵时，需要用到大倍率的物镜，会导致扫描速度变慢，筒镜具有不同的倍率，为了保证一定的分辨率，能够选择大倍率的筒镜，而选择倍率较小的物镜，从而提高扫描速度，筒镜具有不同的倍率，兼容性高，从而扩大电子元件的检测装置的应用场景。

20、在其中一个实施方式中，所述筒镜为变焦筒镜，和/或，所述第二分光组件包括第二分光片，第二分光片用于实现光的反射及透射。

21、可以理解的是，一个筒镜就能实现不同倍率的切换，结构简单。

22、在其中一个实施方式中，所述筒镜为多个，多个所述筒镜的倍率不同，和/或，所述电子元件的检测装置还包括转盘，所述转盘上开设有多个安装孔，多个所述筒镜安装在对应的所述安装孔内，所述转盘能够转动以使所需倍率的所述筒镜旋转至所述相机和所述第二分光组件之间。

23、通过多个设置不同倍率的筒镜用于切换，在检测尺寸较小的瑕疵时，则通过筒镜和物镜的配合选择分辨率较高的组合，在检测尺寸较大的瑕疵时，通过筒镜和物镜的配合选择分辨率较低的组合，从而避免漏检，提高检测准确性。

24、在其中一个实施方式中，所述筒镜的倍率为0.3-3。

25、由于物镜的倍率规则较为固定，将筒镜的倍率设置在0.3-3之间，足以满足电子元件成像的分辨率。

26、在其中一个实施方式中，所述物镜为多个，多个所述物镜的倍率不同。

27、可以理解的是，分辨率等于物镜的倍率乘以筒镜的倍率，多个不同物镜倍率和多个不同筒镜倍率的组合，能够自由选择不同的所需的分辨率。

技术特征：

1.一种电子元件的检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的电子元件的检测装置，其特征在于，所述控制部为快门，所述第一分光组件(201)包括第一分光片(20)，所述快门连接于所述第一分光片(20)，并控制所述第一分光片(20)移动，以使所述第一分光组件(201)切换第一状态或第二状态。

3.根据权利要求1所述的电子元件的检测装置，其特征在于，所述第一分光组件(201)包括第一分光片(20)，所述控制部与所述第一分光片(20)电性连接，所述控制部改变电信号以改变所述第一分光片(20)的光属性，以使所述第一分光组件(201)切换第一状态或第二状态。

4.根据权利要求1-3任一项所述的电子元件的检测装置，其特征在于，所述对焦组件(40)包括第一光源(41)及分划板(42)，所述分划板(42)位于所述第一光源(41)和所述第一分光组件(201)之间，所述分划板(42)上设有标记。

5.根据权利要求4所述的电子元件的检测装置，其特征在于，所述对焦组件(40)还包括第一准直透镜(43)，所述第一准直透镜(43)设于所述第一分光组件(201)与所述分划板(42)之间；

6.根据权利要求1-3任一项所述的电子元件的检测装置，其特征在于，所述电子元件的检测装置还包括相机(80)、筒镜(70)和第二分光组件(101)，所述第二分光组件(101)设于所述第一分光组件(201)的一侧，所述筒镜(70)和所述物镜(60)分别位于所述第二分光组件(101)的两侧，所述相机(80)位于所述筒镜(70)远离所述第二分光组件(101)的一侧，所述筒镜(70)具有不同的倍率。

7.根据权利要求6所述的电子元件的检测装置，其特征在于，所述筒镜(70)为变焦筒镜，和/或，所述第二分光组件(101)包括第二分光片(10)，第二分光片(10)用于实现光的反射及透射。

8.根据权利要求6所述的电子元件的检测装置，其特征在于，所述筒镜(70)为多个，多个所述筒镜(70)的倍率不同，和/或，所述电子元件的检测装置还包括转盘(90)，所述转盘(90)上开设有多个安装孔(91)，多个所述筒镜(70)安装在对应的所述安装孔(91)内，所述转盘(90)能够转动以使所需倍率的所述筒镜(70)旋转至所述相机(80)和所述第二分光组件(101)之间。

9.根据权利要求6所述的电子元件的检测装置，其特征在于，所述筒镜(70)的倍率为0.3-3。

10.根据权利要求6所述的电子元件的检测装置，其特征在于，所述物镜(60)为多个，多个所述物镜(60)的倍率不同。

技术总结
本技术涉及半导体制造领域，特别是涉及一种电子元件的检测装置，包括物镜、第一分光组件、照明组件、对焦组件及控制部，第一分光组件具有第一状态和第二状态，照明组件能够发射不同波长的光，控制部连接于第一分光组件，用于控制第一分光组件切换第一状态或第二状态，当第一分光组件处于第一状态时，照明组件发射的光线无损耗地经过第一分光组件并经物镜照射至载物平台，当第一分光组件处于第二状态时，对焦组件发射的光线经第一分光组件反射并经物镜照射至载物平台。本技术的电子元件的检测装置在第一分光组件处于第一状态时，照明组件的光无损耗地经过第一分光组件，能够减少照明的光损耗，并且将对焦组件集成于检测装置中，使用方便。

技术研发人员：李金,陈思乡,李梦梦
受保护的技术使用者：杭州长川科技股份有限公司
技术研发日：20220930
技术公布日：2024/1/11