一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具的制作方法

本技术涉及机械，具体涉及粗糙度的测试治具。

背景技术：

1、目前半导体生产设备中的屏蔽罩进行洗净再生后，会用粗糙度仪检测屏蔽罩的内圆面的粗糙度，从而判断其清洗效果是否在管控标准内。

2、由于屏蔽罩的内圆面为圆柱形状，粗糙度测试仪的行程是直线，所以，需要将部件竖立使粗糙度检测仪的探针沿着一条棱边行进。由于屏蔽罩的外口有翻边，屏蔽罩单纯背部抵靠的方式，易造成竖立状态滑到，或竖立不标准造成检测数据有误差。

3、目前缺乏一种让带有翻边的屏蔽罩保证竖立稳定性的治具。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，以解决以上至少一个技术问题。

2、为了达到上述目的，本实用新型提供了一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于，包括底板，所述底板包括基板，所述底板还包括左右设置的左支撑部以及右支撑部，所述左支撑部以及所述右支撑部位于所述基板的上方，所述左支撑部以及所述右支撑部之间存有间隙，以所述间隙为用于滑入粗糙度测试仪的滑槽；

3、所述左支撑部以及所述右支撑部上开设有嵌入屏蔽罩的翻边的限位槽，所述限位槽的前侧面与所述翻边的前侧面相抵；

4、所述左支撑部以及所述右支撑部邻近侧的顶部用于抵住屏蔽罩的外壁；

5、还包括用于防止屏蔽罩后倾的背板，所述背板竖直设置，且所述背板的底部与所述基板的后侧相连。

6、本实用新型通过优化治具的结构，便于实现了屏蔽罩的多维度定位，避免了屏蔽罩的滑倒。保证了竖立稳定性。

7、通过所述左支撑部以及所述右支撑部邻近侧的顶部实现了屏蔽罩侧壁的支撑。通过限位槽的前侧面实现了翻边的限位。通过背板实现了屏蔽罩后侧面的抵住支撑。

8、进一步优选的，所述左支撑部以及所述右支撑部的限位槽的槽底从远离侧至邻近侧从上至下倾斜。

9、进一步优选的，所述左支撑部以及所述右支撑部邻近侧的顶部为外凸弧形曲面。

10、进一步优选的，所述背板的前侧可拆卸连接有泡沫垫。减少背板与工件之间的相互磨损。更换一个工件后，更换一个泡沫垫，避免交叉污染。

11、或者，所述背板的外围套设有柔性防护套。

12、进一步优选的，所述左支撑部以及所述右支撑部均包括支撑块，所述支撑块的前端滑动连接有限位块，所述限位块通过螺钉与所述支撑块相对固定；

13、所述限位块的后侧与所述支撑块围成所述限位槽。

14、便于实现不同轴向长度的工件的翻边限位。

15、进一步优选的，所述左支撑部以及所述右支撑部与所述基板固定连接。

16、或者，所述左支撑部的底部以及所述右支撑部的底部均螺纹连接有至少两个前后设置的螺钉；

17、所述基板上开设有滑动连接所述螺钉的导向槽。

18、便于实现左支撑部以及所述右支撑部之间间距的调整。

19、进一步优选的，所述导向槽包括上下设置的上部以及下部，所述上部左右方向的宽度小于所述下部左右方向的宽度；

20、所述上部用于穿过所述螺钉的杆部，所述下部用于容纳所述螺钉的头部。

技术特征：

1.一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于，包括底板，所述底板包括基板，所述底板还包括左右设置的左支撑部以及右支撑部，所述左支撑部以及所述右支撑部位于所述基板的上方，所述左支撑部以及所述右支撑部之间存有间隙，以所述间隙为用于滑入粗糙度测试仪的滑槽；

2.根据权利要求1所述的一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于：所述左支撑部以及所述右支撑部的限位槽的槽底从远离侧至邻近侧从上至下倾斜。

3.根据权利要求1所述的一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于：所述背板的前侧可拆卸连接有泡沫垫。

4.根据权利要求1所述的一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于：所述背板的外围套设有柔性防护套。

5.根据权利要求1所述的一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于：所述左支撑部以及所述右支撑部均包括支撑块，所述支撑块的前端滑动连接有限位块，所述限位块通过螺钉与所述支撑块相对固定；

6.根据权利要求1所述的一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于：所述左支撑部以及所述右支撑部与所述基板固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于：所述左支撑部的底部以及所述右支撑部的底部均螺纹连接有至少两个前后设置的螺钉；

8.根据权利要求7所述的一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于：所述导向槽包括上下设置的上部以及下部，所述上部左右方向的宽度小于所述下部左右方向的宽度；

9.根据权利要求1所述的一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，其特征在于：所述左支撑部以及所述右支撑部邻近侧的顶部为外凸弧形曲面。

技术总结
本技术涉及机械技术领域。一种带有翻边结构的屏蔽罩的粗糙度测试治具，包括底板，底板包括基板，底板还包括左右设置的左支撑部以及右支撑部，左支撑部以及右支撑部位于基板的上方，左支撑部以及右支撑部之间存有间隙，以间隙为用于滑入粗糙度测试仪的滑槽；左支撑部以及右支撑部上开设有嵌入屏蔽罩的翻边的限位槽，限位槽的前侧面与翻边的前侧面相抵；左支撑部以及右支撑部邻近侧的顶部用于抵住屏蔽罩的外壁；还包括用于防止屏蔽罩后倾的背板，背板竖直设置，且背板的底部与基板的后侧相连。本技术通过优化治具的结构，便于实现了屏蔽罩的多维度定位，避免了屏蔽罩的滑倒。保证了竖立稳定性。

技术研发人员：杨炜,贺贤汉,周毅,蒋立峰,许俊
受保护的技术使用者：上海富乐德智能科技发展有限公司
技术研发日：20221020
技术公布日：2024/1/11