本技术涉及面板制程生产设备,特别指一种闸阀状态检测机构。
背景技术:
1、目前在显示面板制程中,大量使用gate valve(闸阀)机构。gate valve机构通常由一个封板和驱动封板升降的气缸组成。封板设置在制程腔室的进出口处。封板上升时,使制程腔室形成一个密闭的空间。封板下降时,制程腔室打开。例如中国专利申请号cn201811270925.2公开了一种显示模组的贴合方法及显示模组,该显示模组的贴合方法包括:将触控显示面板、盖板放入真空的制程腔室中,在所述触控显示面板的第一面的周缘涂布框胶,将所述盖板放置在所述触控显示面板的第一面上,对所述框胶进行固化,以使所述触控显示面板与所述盖板贴合,得到显示模组;对所述制程腔室进行破真空;将所述显示模组从所述制程腔室中取出,以在大气压力的作用下使所述盖板靠近所述触控显示面板,使所述盖板与所述触控显示面板之间的间距位于预设范围内。
2、上述专利中的显示模组的贴合,即是显示面板制程中的一个步骤。在将面板置于制程腔室内后,就需要通过gate valve,封闭制程腔室。
3、而gate valve的使用中,在其关闭时,对上方是否存在异物等无检测手段,在异常作动、讯号通讯,或异物停留在gate valve上方等原因时,容易发生夹到异物、机械手、人员的风险,从而造成较大的财产损失、稼动率影响以及造成人员受伤。
技术实现思路
1、本实用新型要解决的技术问题,在于提供一种闸阀状态检测机构,在闸阀关闭时,对其是否有夹到异物进行检测,以防止闸阀在触碰到异物、机械手或人手后,闸阀仍在继续作动,从而避免设备、人员造成较大损伤。
2、本实用新型是这样实现的:一种闸阀状态检测机构,包括有设置在闸阀上方的金属感应板,所述闸阀顶部设置有用于支撑金属感应板的弹性件,所述闸阀顶部设置有金属感应器,所述金属感应器设置在金属感应板的下方,所述金属感应器与控制器连接,金属感应器感应到金属感应板后,金属感应器向控制器发出讯号,使闸阀停止作动或复位。
3、进一步的,所述弹性件至少设置有两个。
4、进一步的,所述金属感应器设置在闸阀顶部的中心处,所述弹性件以金属感应器为中心对称设置在金属感应板的左右两侧。
5、进一步的,所述弹性件为弹簧。
6、进一步的,所述金属感应板的材质为氧化铝。
7、进一步的,所述金属感应器的数量至少设置有一个。
8、本实用新型的优点在于:
9、1、在闸阀关闭时,触碰到异物(例如玻璃基板)后,金属感应板下降,金属感应器被触发,闸阀停止作动或复位,防止异物被夹碎,四散至周边,甚至掉落到腔体里,对腔体中的零部件造成损伤;同样可防止异物被夹碎或掉落后,设备仍继续作动,对后续工艺造成影响,从而降低破损对设备内部造成损伤的几率,降低对制程影响,减少宕机造成的设备稼动率影响。
10、2、人员或机械手在闸阀处作业,闸阀异常关闭时,本检测机构触发,闸阀停止作动或复位,防止闸阀触碰到人员身体或机械手后,仍继续作动,对人员或机械手造成重大伤害或持续性伤害。
1.一种闸阀状态检测机构,其特征在于:包括有设置在闸阀上方的金属感应板(3),所述闸阀顶部设置有用于支撑金属感应板(3)的弹性件(4),所述闸阀顶部设置有金属感应器(5),所述金属感应器(5)设置在金属感应板(3)的下方,所述金属感应器(5)与控制器连接,金属感应器感应到金属感应板后,金属感应器向控制器发出讯号,使闸阀停止作动或复位。
2.如权利要求1所述的一种闸阀状态检测机构,其特征在于:所述弹性件(4)至少设置有两个。
3.如权利要求2所述的一种闸阀状态检测机构,其特征在于:所述金属感应器(5)设置在闸阀顶部的中心处,所述弹性件(4)以金属感应器(5)为中心对称设置在金属感应板(3)的左右两侧。
4.如权利要求1至3任一项所述的一种闸阀状态检测机构,其特征在于:所述弹性件(4)为弹簧。
5.如权利要求4所述的一种闸阀状态检测机构,其特征在于:所述金属感应板(3)的材质为氧化铝。
6.如权利要求1所述的一种闸阀状态检测机构,其特征在于:所述金属感应器(5)的数量至少设置有一个。