一种用于测量单晶硅片平整度的装置的制作方法

本技术涉及晶态硅生产，尤其涉及一种用于测量单晶硅片平整度的装置。

背景技术：

1、晶态硅分为单晶硅和多晶硅，它们均具有金刚石晶格，晶体硬而脆，具有金属光泽，能导电，但导电率不及金属，且随温度升高而增加，具有半导体性质，单晶硅在日常生活中是电子计算机、自动控制系统等现代科学技术中不可缺少的基本材料。

2、单晶硅片是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，单晶硅片的平整度对于单晶硅片的性质有着很重要的影响，在生产之后，需要使用测量装置对单晶硅片进行测量。

3、如现有技术中公开号为cn 205957887 u的专利申请，其通过不同位置所测量的高度数值的差值计算，即可判断单晶硅片的平整度情况，但是该装置在使用的时候，无法对单晶硅片进行固定，在对单晶硅片进行测量的时候，容易造成单晶硅片进行移动，影响测量数据。

4、因此，有必要提供一种用于测量单晶硅片平整度的装置解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种用于测量单晶硅片平整度的装置，解决了在测量的时候容易造成单晶硅片移动，影响测量数据的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种用于测量单晶硅片平整度的装置，包括：

3、固定板和底板；

4、侧板，所述侧板分别固定安装于所述固定板的顶部的两端，所述侧板的内部开设有滑腔，所述滑腔的内侧面的一端固定安装有定位板；

5、滑杆，所述滑杆滑动连接于所述定位板的内侧面，所述滑杆的外侧面的一端固定安装有限位板，所述滑杆的外侧面套设有弹簧，所述弹簧设置于所述限位板的一侧；

6、夹板，所述夹板固定安装于所述滑杆的一端，所述夹板的一侧固定安装有橡胶垫；

7、卡接槽，所述卡接槽分别开设于所述固定板的顶部的两端，所述卡接槽的内侧面卡接有卡接板，所述卡接板的顶部固定安装于所述夹板的底部。

8、优选的，所述固定板的顶部设置有单晶硅片，所述单晶硅片设置于两个所述橡胶垫的中间。

9、优选的，所述固定板的底部固定安装有连接圈，所述连接圈的外侧面的底部固定安装有轴承，所述轴承的底部固定安装有支撑板。

10、优选的，所述底板的内部开设有空腔，所述空腔的内侧面的底部固定安装有气动伸缩杆，所述气动伸缩杆的顶部固定安装支撑板，所述底板的顶部的一端固定安装有固定架，所述固定架的一端固定安装有千分表。

11、优选的，所述支撑板的顶部的一端固定安装有固定座，所述固定座的内侧面转动连接有转动杆，所述转动杆的一端固定安装有摇柄，所述转动杆的另一端固定安装有第二锥形轮，所述第二锥形轮的一侧啮合有第一锥形轮，所述第一锥形轮固定安装于所述固定板的底部。

12、优选的，所述侧板的顶部开设有定位孔，所述夹板的顶部固定安装有顶板，所述顶板的一端开设有贯穿孔。

13、优选的，所述定位孔的内侧面滑动连接有定位杆。

14、与相关技术相比较，本实用新型提供的一种用于测量单晶硅片平整度的装置具有如下有益效果：

15、本实用新型提供一种用于测量单晶硅片平整度的装置，通过侧板、滑腔、定位板、滑杆、弹簧、限位板、夹板、橡胶垫、卡接板和卡接槽等结构相互进行配合，在使用的时候，能够对单晶硅片进行固定，防止在进行测量的时候，造成单晶硅片进行移动，影响测量结果。

技术特征：

1.一种用于测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于，所述固定板的顶部设置有单晶硅片，所述单晶硅片设置于两个所述橡胶垫的中间。

3.根据权利要求2所述的一种用于测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于，所述固定板的底部固定安装有连接圈，所述连接圈的外侧面的底部固定安装有轴承，所述轴承的底部固定安装有支撑板。

4.根据权利要求3所述的一种用于测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于，所述底板的内部开设有空腔，所述空腔的内侧面的底部固定安装有气动伸缩杆，所述气动伸缩杆的顶部固定安装支撑板，所述底板的顶部的一端固定安装有固定架，所述固定架的一端固定安装有千分表。

5.根据权利要求4所述的一种用于测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于，所述支撑板的顶部的一端固定安装有固定座，所述固定座的内侧面转动连接有转动杆，所述转动杆的一端固定安装有摇柄，所述转动杆的另一端固定安装有第二锥形轮，所述第二锥形轮的一侧啮合有第一锥形轮，所述第一锥形轮固定安装于所述固定板的底部。

6.根据权利要求5所述的一种用于测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于，所述侧板的顶部开设有定位孔，所述夹板的顶部固定安装有顶板，所述顶板的一端开设有贯穿孔。

7.根据权利要求6所述的一种用于测量单晶硅片平整度的装置，其特征在于，所述定位孔的内侧面滑动连接有定位杆。

技术总结
本技术提供一种用于测量单晶硅片平整度的装置，包括：固定板和底板；侧板，侧板分别固定安装于所述固定板的顶部的两端，侧板的内部开设有滑腔，所述滑腔的内侧面的一端固定安装有定位板；滑杆，滑杆滑动连接于所述定位板的内侧面，所述滑杆的外侧面的一端固定安装有限位板，所述滑杆的外侧面套设有弹簧，所述弹簧设置于所述限位板的一侧；夹板，所述夹板固定安装于所述滑杆的一端。本技术提供的一种用于测量单晶硅片平整度的装置，通过侧板、滑腔、定位板、滑杆、弹簧、限位板、夹板、橡胶垫、卡接板和卡接槽等结构相互进行配合，在使用的时候，能够对单晶硅片进行固定，防止在进行测量的时候，造成单晶硅片进行移动，影响测量结果。

技术研发人员：刘松炎
受保护的技术使用者：湖南晶博太阳能科技发展有限公司
技术研发日：20221104
技术公布日：2024/1/13