固定支架、气缸组件及检测设备的制作方法

本技术涉及晶圆检测，尤其涉及一种固定支架、一种气缸组件和一种检测设备。

背景技术：

1、在晶圆检测过程中对检测装置进行固定时，对零部件的固定通常需要较高的定位精度，但是在实际安装过程中无法准确的对安装孔进行定位。因此在检测设备的安装过程中需要不断地调整零部件的位置，在现有检测设备的安装过程中通常需要对固定零部件的螺丝进行反复的拆装，定位难度大且不够精准。

2、因此，亟需提供一种方案来解决上述检测设备零部件定位难度大的问题。

技术实现思路

1、因此，为克服现有技术中的至少部分缺陷，本实用新型实施例提供了一种固定支架、一种气缸组件和一种检测设备，可降低检测设备零部件的准确定位的难度。

2、具体地，一方面，本实用新型一个实施例提供的一种固定支架，包括：固定部，与一待固定件固定连接；所述固定部上开设有在第一方向上贯穿的通孔；调节垫片，设置在所述通孔内并可绕所述通孔的轴线转动；所述调节垫片上开设有在所述第一方向上贯穿的通槽。

3、在一个实施例中，所述通槽为圆形通槽，所述通槽与所述通孔偏心布置。

4、在一个实施例中，所述通槽包括第一子槽，所述第一子槽包括分别沿从所述调节垫片的中心朝靠近所述调节垫片的周边的方向延伸且相对设置的两个槽侧壁，以及连接于所述两个槽侧壁之间的槽底壁，所述槽底壁位于所述两个槽侧壁邻近所述调节垫片的周边的一侧。

5、在一个实施例中，所述通槽包括多条所述第一子槽，所述多条第一子槽靠近所述调节垫片中心的一侧相互连通。

6、在一个实施例中，所述两个槽侧壁之间形成第一通道，所述两个槽侧壁上分别设置有沿从所述调节垫片的中心朝靠近所述调节垫片的周边的方向依次排布的多个第二子槽；所述多个第二子槽分别与所述第一通道连通。

7、在一个实施例中，所述通孔内形成有朝靠近其中心方向凸出的环形台阶；所述环形台阶支撑所述调节垫片的一侧。

8、在一个实施例中，所述调节垫片上形成朝远离其中心方向凸出的第二环形台阶；所述第二环形台阶抵接所述固定部。

9、本实用新型的另一个实施例提供一种气缸组件，包括：气缸；如前述任意一项实施例所述的固定支架，与所述气缸固定连接。

10、本实用新型的另一个实施例提供一种检测设备，包括：气缸；固定支架，包括：固定部，与所述气缸固定连接；所述固定部上开设有在第一方向上贯穿的通孔；调节垫片，设置在所述通孔内并可绕所述通孔的轴线转动；所述调节垫片上开设有在所述第一方向上贯穿的通槽；固定底板，所述固定底板上设置有螺丝孔，所述固定部设置在所述固定底板上，且所述通槽与所述螺丝孔连通；螺丝，穿设所述通槽并与所述螺丝孔配合连接。

11、在一个实施例中，所述通槽包括第一子槽，所述第一子槽包括分别沿从所述调节垫片的中心朝靠近所述调节垫片的周边的方向延伸且相对设置的两个槽侧壁，以及连接于所述两个槽侧壁之间的槽底壁，所述槽底壁位于所述两个槽侧壁邻近所述调节垫片的周边的一侧；所述两个槽侧壁之间的距离大于所述螺丝的直径。

12、由上可知，本实用新型上述实施例可以达成以下一个或多个有益效果：通过将设置有通槽的调节垫片可转动的设置在固定部中，使得在对检测设备上的零部件进行定位时，通过转动调节垫片并调节固定部与螺丝之间的位置，可以增大待固定零件的活动范围和允许误差。并且可以在不完全拆卸固定螺丝的情况下调节固定件的位置，操作方便，定位更精准。

13、通过以下参考附图的详细说明，本实用新型的其它方面和特征变得明显。但是应当知道，该附图仅仅为解释的目的设计，而不是作为本实用新型的范围的限定。还应当知道，除非另外指出，不必要依比例绘制附图，它们仅仅力图概念地说明此处描述的结构和流程。

技术特征：

1.一种固定支架(100)，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的固定支架(100)，其特征在于，所述通槽(21)为圆形通槽(21)，所述通槽(21)与所述通孔(11)偏心布置。

3.如权利要求1所述的固定支架(100)，其特征在于，所述通槽(21)包括第一子槽(211)，所述第一子槽(211)包括分别沿从所述调节垫片(20)的中心朝靠近所述调节垫片(20)的周边的方向延伸且相对设置的两个槽侧壁(2111)，以及连接于所述两个槽侧壁(2111)之间的槽底壁(2112)，所述槽底壁(2112)位于所述两个槽侧壁(2111)邻近所述调节垫片(20)的周边的一侧。

4.如权利要求3所述的固定支架(100)，其特征在于，所述通槽(21)包括多条所述第一子槽(211)，所述多条第一子槽(211)靠近所述调节垫片(20)中心的一侧相互连通。

5.如权利要求3所述的固定支架(100)，其特征在于，所述两个槽侧壁(2111)之间形成第一通道(2113)，所述两个槽侧壁(2111)上分别设置有依次排布的多个第二子槽(2114)；所述多个第二子槽(2114)分别与所述第一通道(2113)连通。

6.如权利要求1所述的固定支架(100)，其特征在于，所述通孔(11)内形成有朝靠近其中心方向凸出的第一环形台阶(111)；所述第一环形台阶(111)支撑所述调节垫片(20)的一侧。

7.如权利要求1所述的固定支架(100)，其特征在于，所述调节垫片(20)上形成朝远离其中心方向凸出的第二环形台阶(212)；所述第二环形台阶(212)抵接所述固定部(10)。

8.一种气缸组件(200)，其特征在于，包括：

9.一种检测设备(300)，其特征在于，包括：

10.如权利要求9所述的检测设备(300)，其特征在于，所述通槽(21)包括第一子槽(211)，所述第一子槽(211)包括分别沿从所述调节垫片(20)的中心朝靠近所述调节垫片(20)的周边的方向延伸且相对设置的两个槽侧壁(2111)，以及连接于所述两个槽侧壁(2111)之间的槽底壁(2112)，所述槽底壁(2112)位于所述两个槽侧壁(2111)邻近所述调节垫片(20)的周边的一侧；所述两个槽侧壁(2111)之间的距离大于所述螺丝(50)的直径。

技术总结
本技术实施例公开的一种固定支架包括：固定部，与一待固定件固定连接；所述固定部上开设有在第一方向上贯穿的通孔；调节垫片，设置在所述通孔内并可绕所述通孔的轴线转动；所述调节垫片上开设有在所述第一方向上贯穿的通槽。本技术实施例公开的调节支架可降低检测设备零部件的准确定位的难度。

技术研发人员：王赢,张龙,陈鲁,张嵩
受保护的技术使用者：深圳中科飞测科技股份有限公司
技术研发日：20221125
技术公布日：2024/1/11