一种基于夹持机构的晶圆测试设备的制作方法

本技术涉及晶圆测试，尤其涉及一种基于夹持机构的晶圆测试设备。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在该晶圆加工完毕，在使用过程中，可通过测试探针对其晶圆进行检测，检测合格的晶圆才能够进行使用。

2、经检索，公告号cn216900623u公开了一种晶圆测试探针设备，包括操作机构，所述操作机构包括驱动机构，所述驱动机构的输出轴通过联轴器固定连接有转轴，所述转轴的顶端固定安装有支撑平台，所述支撑平台的顶部固定安装有旋转台，所述旋转台的顶部开设有限位槽；通过操作机构、驱动电机、转轴、支撑平台、旋转台和限位槽的配合安装，实现了便于旋转限位的功能，在使用过程中，可通过驱动电机带动转轴而产生的电流，对旋转台上方的晶圆进行旋转，使得该旋转台上的晶圆各个角落都能够检测到，而限位槽的设置，可以对圆晶进行限位，使得该圆晶能够不易移位，解决了一般测试探针设备不便于旋转的问题，提高了测试探针设备的效率。

3、但该设备还存在以下问题：

4、设备上只通过限位槽对晶圆进行固定，不能够对不同尺寸的晶圆进行测试，实用性较小，并且设备上没有缓冲结构，在设备上的电动装置运转时，设备易发生晃动，导致对晶圆测试不准确。

5、针对上述问题，本实用新型文件提出了一种基于夹持机构的晶圆测试设备，用于解决上述所提到的问题。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种基于夹持机构的晶圆测试设备，解决了现有技术中存在的设备上只通过限位槽对晶圆进行固定，不能够对不同尺寸的晶圆进行测试，实用性较小，并且设备上没有缓冲结构，在设备上的电动装置运转时，设备易发生晃动，导致对晶圆测试不准确缺点。

2、本实用新型提供了如下技术方案：

3、一种基于夹持机构的晶圆测试设备，包括：

4、设备本体和工作台，所述设备本体的顶部设有检测机构，检测机构包括检测头、电机、电动伸缩杆、固定盘和转动盘，电动伸缩杆的固定端与设备本体的顶部内壁固定连接，电动伸缩杆的伸缩端与固定盘的顶部固定连接，电机的一侧与固定盘的顶部固定连接，电机的输出端贯穿固定盘并与转动盘的顶部固定连接，检测头的顶部与转动盘的底部滑动连接，所述工作台设置在设备本体上，所述工作台位于检测机构的下方；

5、第一夹持机构，第一夹持机构设置在工作台上用于对晶圆进行夹持；

6、第二夹持机构，第二夹持机构设置在工作台上用于对晶圆进行二次夹持；

7、缓冲组件，缓冲组件设置在工作台的下方用于对设备本体进行缓冲。

8、在一种可能的设计中，所述第一夹持机构包括一号电机、一号支架、二号双向丝杆、两个二号夹板、两个二号丝杆螺母和两个一号滑槽，所述一号电机的一侧与一号支架的一侧固定连接，所述一号支架为l形板，所述一号支架的另一侧与工作台的一侧固定连接，所述一号电机的输出端贯穿工作台的一侧并与二号双向丝杆的一端固定连接，所述工作台的内部开设有用于二号双向丝杆转动的一号凹槽，所述二号双向丝杆的另一端与一号凹槽的内壁转动连接，两个所述二号丝杆螺母均与同一个二号双向丝杆螺纹连接，所述二号丝杆螺母的顶部固定连接有一号滑块，两个所述一号滑槽分别设置在工作台的顶部两侧，一号滑块与一号滑槽滑动连接，一号滑块的顶部与二号夹板的底部固定连接，两个所述二号夹板相互对称，所述二号夹板的底部与工作台的顶部滑动连接。

9、在一种可能的设计中，所述第二夹持机构包括二号电机、二号支架、一号双向丝杆、两个一号夹板、两个一号丝杆螺母和两个二号滑槽，所述二号电机的一侧与二号支架的一侧固定连接，所述二号支架为l形板，所述二号支架的另一侧与工作台的一侧固定连接，所述二号电机的输出端贯穿工作台的一侧并与一号双向丝杆的一端固定连接，所述工作台内开设有用于一号双向丝杆转动的二号凹槽，所述一号双向丝杆的另一端与二号凹槽的内壁转动连接，两个所述一号丝杆螺母均与同一个一号双向丝杆螺纹连接，所述一号双向丝杆和二号凹槽位于二号双向丝杆和一号凹槽的下方，所述一号丝杆螺母的顶部均固定连接有二号滑块，两个所述二号滑槽设置在工作台上并相互对称，二号滑块与二号滑槽滑动连接，二号滑块与一号夹板的底部固定连接，所述一号夹板的底部工作台的顶部滑动连接。

10、在一种可能的设计中，所述缓冲组件包括四个弹簧、四个阻尼器和四个防滑垫，所述工作台的底部四角均固定连接有支撑柱，所述支撑柱的底部均贯穿有底板的顶部并延伸至底板的下方，所述底板与工作台之间设置有放置箱，所述支撑柱的底部固定连接有阻尼器和弹簧，所述弹簧套设在阻尼器上，所述阻尼器和弹簧的一端均与防滑垫的顶部固定连接。

11、在一种可能的设计中，两个所述一号夹板和二号夹板的内壁固定连接有用于保护被测晶圆的保护垫，所述保护垫的材质为橡胶材料。

12、在一种可能的设计中，两个所述一号夹板和二号夹板的底部内壁固定连接有用于遮挡一号滑槽和二号滑槽的盖板，所述盖板的尺寸大于一号滑槽和二号滑槽的尺寸。

13、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本实用新型。

14、本实用新型中，在一号夹板和二号夹板的内壁设置保护垫，使得在对被测晶圆进行夹紧时，对晶圆进行保护，减少检测时对晶圆的损坏，在一号夹板和二号夹板上设置盖板，使得在晶圆放置时，不会出现底部被一号滑槽和二号滑槽造成悬空的情况，并且减少落入一号滑槽和二号滑槽内部的灰尘和杂质；

15、本实用新型中，在设备上设置第一夹持和第二夹持机构，以及缓冲组件，使得设备本体可以自动对不同长度和宽度的晶圆进行检测，提高设备本体的实用性，并且设备本体在放置好被测晶圆后可以对被测晶圆进行夹紧，使晶圆在检测过程中保证平稳，保证检测结果的准确性，减小设备本体的晃动，保证检测结果的准确，防滑垫使得设备本体在放置平面上不会移动，防止设备本体倾倒。

技术特征：

1.一种基于夹持机构的晶圆测试设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种基于夹持机构的晶圆测试设备，其特征在于，所述第一夹持机构包括一号电机（6）、一号支架（7）、二号双向丝杆（18）、两个二号夹板（16）、两个二号丝杆螺母（17）和两个一号滑槽（11），所述一号电机（6）的一侧与一号支架（7）的一侧固定连接，所述一号支架（7）为l形板，所述一号支架（7）的另一侧与工作台（3）的一侧固定连接，所述一号电机（6）的输出端贯穿工作台（3）的一侧并与二号双向丝杆（18）的一端固定连接，所述工作台（3）的内部开设有用于二号双向丝杆（18）转动的一号凹槽，所述二号双向丝杆（18）的另一端与一号凹槽的内壁转动连接，两个所述二号丝杆螺母（17）均与同一个二号双向丝杆（18）螺纹连接，所述二号丝杆螺母（17）的顶部固定连接有一号滑块，两个所述一号滑槽（11）分别设置在工作台（3）的顶部两侧，一号滑块与一号滑槽（11）滑动连接，一号滑块的顶部与二号夹板（16）的底部固定连接，两个所述二号夹板（16）相互对称，所述二号夹板（16）的底部与工作台（3）的顶部滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种基于夹持机构的晶圆测试设备，其特征在于，所述第二夹持机构包括二号电机（13）、二号支架（12）、一号双向丝杆（14）、两个一号夹板（10）、两个一号丝杆螺母（15）和两个二号滑槽（19），所述二号电机（13）的一侧与二号支架（12）的一侧固定连接，所述二号支架（12）为l形板，所述二号支架（12）的另一侧与工作台（3）的一侧固定连接，所述二号电机（13）的输出端贯穿工作台（3）的一侧并与一号双向丝杆（14）的一端固定连接，所述工作台（3）内开设有用于一号双向丝杆（14）转动的二号凹槽，所述一号双向丝杆（14）的另一端与二号凹槽的内壁转动连接，两个所述一号丝杆螺母（15）均与同一个一号双向丝杆（14）螺纹连接，所述一号双向丝杆（14）和二号凹槽位于二号双向丝杆（18）和一号凹槽的下方，所述一号丝杆螺母（15）的顶部均固定连接有二号滑块，两个所述二号滑槽（19）设置在工作台（3）上并相互对称，二号滑块与二号滑槽（19）滑动连接，二号滑块与一号夹板（10）的底部固定连接，所述一号夹板（10）的底部工作台（3）的顶部滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种基于夹持机构的晶圆测试设备，其特征在于，所述缓冲组件包括四个弹簧（20）、四个阻尼器（21）和四个防滑垫（22），所述工作台（3）的底部四角均固定连接有支撑柱（4），所述支撑柱（4）的底部均贯穿有底板（5）的顶部并延伸至底板（5）的下方，所述底板（5）与工作台（3）之间设置有放置箱，所述支撑柱（4）的底部固定连接有阻尼器（21）和弹簧（20），所述弹簧（20）套设在阻尼器（21）上，所述阻尼器（21）和弹簧（20）的一端均与防滑垫（22）的顶部固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种基于夹持机构的晶圆测试设备，其特征在于，两个所述一号夹板（10）和二号夹板（16）的内壁固定连接有用于保护被测晶圆的保护垫（9），所述保护垫（9）的材质为橡胶材料。

6.根据权利要求4所述的一种基于夹持机构的晶圆测试设备，其特征在于，两个所述一号夹板（10）和二号夹板（16）的底部内壁固定连接有用于遮挡一号滑槽（11）和二号滑槽（19）的盖板（8），所述盖板（8）的尺寸大于一号滑槽（11）和二号滑槽（19）的尺寸。

技术总结
本技术属于晶圆测试技术领域，尤其是一种基于夹持机构的晶圆测试设备，针对现有的设备不能够对不同尺寸的晶圆进行测试，并且设备上没有缓冲结构问题，现提出如下方案，其包括设备本体和工作台，所述设备本体的顶部设有检测机构，检测机构包括检测头、电机、电动伸缩杆、固定盘和转动盘，电动伸缩杆的固定端与设备本体的顶部内壁固定连接，电动伸缩杆的伸缩端与固定盘的顶部固定连接，电机的一侧与固定盘的顶部固定连接，电机的输出端贯穿固定盘并与转动盘的顶部固定连接，在设备上设置第一夹持和第二夹持机构，以及缓冲组件，使得设备本体自动对不同尺寸的晶圆进行检测，提高设备本体的实用性，减小设备本体的晃动，保证检测结果的准确。

技术研发人员：赵天缘
受保护的技术使用者：无锡畅景科技有限公司
技术研发日：20221207
技术公布日：2024/1/14