一种防误操作式三维磁场探针的制作方法

本技术涉及探针领域，更具体地说，本实用涉及一种防误操作式三维磁场探针。

背景技术：

1、近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向7纳米以下挺进。产品讲求轻薄短小，ic体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善ic效能，现阶段覆晶(flip chip)方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及cpu等。上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。对芯片测试时需要用到探针对其进行检测，通过传输信号对芯片参数进行测试。

2、现有的探针规格多样化能够针对不同的工件进行检测，在对不同的工件进行检测时，需要对探针及时进行更换，且需要对探针主体重新进行校准，操作较为繁琐，现有的探针头主体无法对探针头进行更换，无法适用不同的工件。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种防误操作式三维磁场探针，本实用新型所要解决的技术问题是：如何方便对探针头进行更换和降低探针头与工件产生误触进行调整。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种防误操作式三维磁场探针，包括探针主体，所述探针主体的一侧端面固定设有连接件，所述探针主体在远离连接件的一侧端面固定设有限位杆，所述探针主体与限位杆的内端面均对应开设有第一适配滑槽和第二适配滑槽，所述第二适配滑槽的内部设有金属探针，所述金属探针的一端固定设有限位滑块，所述金属探针在远离限位滑块的一侧外端面设有探针头，所述探针头的一侧端面固定设有连接螺纹块，所述探针头在远离连接螺纹块的一侧端面固定设有探针触点，所述金属探针在远离限位滑块侧端面的中部开设有连接螺纹槽。

3、在一个优选地实施方式中，所述连接件的中部开设有连接通孔，所述探针主体在靠近连接件的一侧外端面固定设有限位件，所述限位件的外端面开设有限位槽。

4、在一个优选地实施方式中，所述第一适配滑槽的内部设有复位弹簧，所述金属探针在靠近连接螺纹槽的外端面与探针头的外端面对应设有第一切面槽和第二切面槽。

5、在一个优选地实施方式中，所述连接件的外端面与探针主体的外端面为共面设置，所述限位槽的数量设有两个，且对应设置在限位件俯视方向的横向中心点的外侧对应设置。

6、在一个优选地实施方式中，所述复位弹簧的外端面与第一适配滑槽的内端面相贴合，所述第一切面槽和第二切面槽的数量均设有两个，且对应设置在金属探针和探针头俯视方向的横向中心轴线的两侧。

7、在一个优选地实施方式中，所述第一适配滑槽的内端面与限位滑块的外端面相适配，所述第二适配滑槽的内端面与金属探针的外端面相适配，所述第一适配滑槽内端面的直径大于第二适配滑槽内端面的直径。

8、在一个优选地实施方式中，所述连接螺纹块与连接螺纹槽通过螺纹卡接相适配，所述探针主体、金属探针和探针头均为金属材质构件。

9、在一个优选地实施方式中，所述探针头在远离连接螺纹块的一侧端面呈倾斜形状设置，所述探针触点呈半圆状设置。

10、本实用新型的技术效果和优点：

11、本使用新型在实际使用中时，通过设置的限位件和限位槽能够增加探针主体与探针臂安装的稳定性，同时通过设置的金属探针、探针头、连接螺纹块和连接螺纹槽的对应设置状态下能够方便对探针头进行更换，从而使探针主体能够适用于不同的工件，同时通过设置的探针触点能够降低探针头与工件的接触面，从而降低探针头与工件产生误触的现象。

技术特征：

1.一种防误操作式三维磁场探针，包括探针主体(1)，其特征在于：所述探针主体(1)的一侧端面固定设有连接件(10)，所述探针主体(1)在远离连接件(10)的一侧端面固定设有限位杆(2)，所述探针主体(1)与限位杆(2)的内端面均对应开设有第一适配滑槽(13)和第二适配滑槽(14)，所述第二适配滑槽(14)的内部设有金属探针(3)，所述金属探针(3)的一端固定设有限位滑块(12)，所述金属探针(3)在远离限位滑块(12)的一侧外端面设有探针头(6)，所述探针头(6)的一侧端面固定设有连接螺纹块(15)，所述探针头(6)在远离连接螺纹块(15)的一侧端面固定设有探针触点(7)，所述金属探针(3)在远离限位滑块(12)侧端面的中部开设有连接螺纹槽(16)。

2.根据权利要求1所述的一种防误操作式三维磁场探针，其特征在于：所述连接件(10)的中部开设有连接通孔(11)，所述探针主体(1)在靠近连接件(10)的一侧外端面固定设有限位件(8)，所述限位件(8)的外端面开设有限位槽(9)。

3.根据权利要求1所述的一种防误操作式三维磁场探针，其特征在于：所述第一适配滑槽(13)的内部设有复位弹簧(17)，所述金属探针(3)在靠近连接螺纹槽(16)的外端面与探针头(6)的外端面对应设有第一切面槽(4)和第二切面槽(5)。

4.根据权利要求2所述的一种防误操作式三维磁场探针，其特征在于：所述连接件(10)的外端面与探针主体(1)的外端面为共面设置，所述限位槽(9)的数量设有两个，且对应设置在限位件(8)俯视方向的横向中心点的外侧对应设置。

5.根据权利要求3所述的一种防误操作式三维磁场探针，其特征在于：所述复位弹簧(17)的外端面与第一适配滑槽(13)的内端面相贴合，所述第一切面槽(4)和第二切面槽(5)的数量均设有两个，且对应设置在金属探针(3)和探针头(6)俯视方向的横向中心轴线的两侧。

6.根据权利要求1所述的一种防误操作式三维磁场探针，其特征在于：所述第一适配滑槽(13)的内端面与限位滑块(12)的外端面相适配，所述第二适配滑槽(14)的内端面与金属探针(3)的外端面相适配，所述第一适配滑槽(13)内端面的直径大于第二适配滑槽(14)内端面的直径。

7.根据权利要求1所述的一种防误操作式三维磁场探针，其特征在于：所述连接螺纹块(15)与连接螺纹槽(16)通过螺纹卡接相适配，所述探针主体(1)、金属探针(3)和探针头(6)均为金属材质构件。

8.根据权利要求1所述的一种防误操作式三维磁场探针，其特征在于：所述探针头(6)在远离连接螺纹块(15)的一侧端面呈倾斜形状设置，所述探针触点(7)呈半圆状设置。

技术总结
本技术公开了一种防误操作式三维磁场探针，具体涉及探针领域，包括探针主体，所述探针主体的一侧端面固定设有连接件，所述探针主体在远离连接件的一侧端面固定设有限位杆，所述探针主体与限位杆的内端面均对应开设有第一适配滑槽和第二适配滑槽，所述第二适配滑槽的内部设有金属探针。本技术在实际使用中时，通过设置的限位件和限位槽能够增加探针主体与探针臂安装的稳定性，同时通过设置的金属探针、探针头、连接螺纹块和连接螺纹槽的对应设置状态下能够方便对探针头进行更换，从而使探针主体能够适用于不同的工件，同时通过设置的探针触点能够降低探针头与工件的接触面，从而降低探针头与工件产生误触的现象。

技术研发人员：刘卫滨
受保护的技术使用者：北京东方晨景科技有限公司
技术研发日：20221208
技术公布日：2024/1/12