一种探针台针座平台升降结构的制作方法

本技术涉及晶圆探针台领域，具体涉及一种探针台针座平台的升降结构。

背景技术：

1、晶圆探针测试也被称为中间测试，它是集成电路生产中的重要一环，晶圆探针测试台可分为手动探针台、半自动探针台和全自动探针台三种，其中手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。

2、探针台的执行机构包括探针座和探针臂两部分，探针座具有x-y-z三向移动和旋转功能，可控制固定在针座上的探针臂做三向移动或转动，这样可以把固定在探针臂上的探针很好的点在晶圆的待测点上，但在实际使用过程中，因为探针与待测点的间距较小，操作精度范围需控制在微米级别，而喜爱耨探针座用于三向移动的驱动组件多为螺旋测微仪的测量主体部分，螺旋测微仪的量程仅能达到0.01mm，大于探针的操作精度，当操作人员需对探针进行沿z向的精确调节时，现有驱动组件的调节精度难以满足探针z向移动调节的精度需求。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种调节精度更高的探针台针座平台的升降结构。

2、本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：一种探针台针座平台升降结构，包括配重座，所述配重座通过调节机构连接有顶座，所述顶座的侧面设置有固定座，所述固定座通过定位件连接有探针臂，所述探针臂通过支架连接有测微头，所述测微头的底端与固定座的顶部抵持，所述测微头的侧面套接有从齿轮，所述支架的顶部设置有与从齿轮啮合连接的驱动件。

3、所述驱动件包括与支架连接的固定套管，所述固定套管通过转轴连接有与从齿轮啮合的驱动齿轮，且驱动齿轮在压力角与从齿轮相同的情况下，所述驱动齿轮的半径小于从齿轮的半径。

4、作为本实用新型所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述调节机构包括与配重座顶部连接的转动滑台，所述转动滑台的顶部设置有第一轴向滑台，所述第一轴向滑台的顶部设置有第二轴向滑台。

5、作为本实用新型所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述定位件包括设置于固定座侧面的定位侧板，所述定位侧板的侧面开设有滑槽，所述滑槽的内部设置由可沿滑槽移动的定位旋钮，所述定位旋钮与探针臂螺纹连接。

6、作为本实用新型所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述固定套管通过紧固螺钉与支架连接，所述支架的顶部开设有与紧固螺钉相适配的安装孔。

7、作为本实用新型所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述从齿轮为齿轮组，所述从齿轮由一个以上的齿轮单元组成，各所述齿轮单元的压力角均相同，且各所述齿轮单元的半径由上至下或由下至上依次减小。

8、作为本实用新型所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述驱动件还包括与转轴固定套接的定位环，所述驱动齿轮通过紧固件与定位环连接，所述转轴的顶端安装有调节旋钮。

9、作为本实用新型所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述固定套管的侧面螺纹连接有定位钉，所述定位钉靠近转轴的一端贯穿固定套管的侧表面并延伸至固定套管的内部，且定位钉位于固定套管内部的一端与转轴的侧表面抵持。

10、本实用新型与现有技术相比，具有以下优点和效果：

11、该探针台针座平台升降结构，在拧动驱动件后，可通过驱动件和从齿轮的配合带动测微头转动，使测微头的测微螺杆伸缩，从而起到调节探针臂相对高度的作用，且因为驱动齿轮的半径在其压力角与从齿轮相同的情况下小于从齿轮半径，所以测微头的操作精度得到了提高，使得探针沿z向的移动精度更高，而进一步设置的安装孔，在紧固件和固定环的配合下可对驱动齿轮进行更换，在保证压力角不变的情况下，增减驱动齿轮半径，以进一步起到调节测微头操作精度的作用。

技术特征：

1.一种探针台针座平台升降结构，包括配重座(1)，所述配重座(1)通过调节机构(2)连接有顶座(3)，所述顶座(3)的侧面设置有固定座(12)，所述固定座(12)通过定位件(4)连接有探针臂(5)，所述探针臂(5)通过支架(6)连接有测微头(8)，所述测微头(8)的底端与固定座(12)的顶部抵持，其特征在于：所述测微头(8)的侧面套接有从齿轮(9)，所述支架(6)的顶部设置有与从齿轮(9)啮合连接的驱动件(10)；

2.根据权利要求1所述的一种探针台针座平台升降结构，其特征在于：所述调节机构(2)包括与配重座(1)顶部连接的转动滑台(201)，所述转动滑台(201)的顶部设置有第一轴向滑台(202)，所述第一轴向滑台(202)的顶部设置有第二轴向滑台(203)。

3.根据权利要求2所述的一种探针台针座平台升降结构，其特征在于：所述定位件(4)包括设置于固定座(12)侧面的定位侧板(401)，所述定位侧板(401)的侧面开设有滑槽，所述滑槽的内部设置由可沿滑槽移动的定位旋钮(402)，所述定位旋钮(402)与探针臂(5)螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种探针台针座平台升降结构，其特征在于：所述固定套管(1001)通过紧固螺钉与支架(6)连接，所述支架(6)的顶部开设有与紧固螺钉相适配的安装孔(11)。

5.根据权利要求4所述的一种探针台针座平台升降结构，其特征在于：所述从齿轮(9)为齿轮组，所述从齿轮(9)由一个以上的齿轮单元组成，各所述齿轮单元的压力角均相同，且各所述齿轮单元的半径由上至下或由下至上依次减小。

6.根据权利要求5所述的一种探针台针座平台升降结构，其特征在于：所述驱动件(10)还包括与转轴(1002)固定套接的定位环(1003)，所述驱动齿轮(1004)通过紧固件与定位环(1003)连接，所述转轴(1002)的顶端安装有调节旋钮(1006)。

7.根据权利要求6所述的一种探针台针座平台升降结构，其特征在于：所述固定套管(1001)的侧面螺纹连接有定位钉(1005)，所述定位钉(1005)靠近转轴(1002)的一端贯穿固定套管(1001)的侧表面并延伸至固定套管(1001)的内部，且定位钉(1005)位于固定套管(1001)内部的一端与转轴(1002)的侧表面抵持。

技术总结
本技术涉及晶圆探针台技术领域，且特别涉及了一种探针台针座平台升降结构，包括配重座，所述配重座通过调节机构连接有顶座，所述顶座的侧面设置有固定座。该探针台针座平台升降结构，在拧动驱动件后，可通过驱动件和从齿轮的配合带动测微头转动，使测微头的测微螺杆伸缩，从而起到调节探针臂相对高度的作用，且因为驱动齿轮的半径在其压力角与从齿轮相同的情况下小于从齿轮半径，所以测微头的操作精度得到了提高，使得探针沿Z向的移动精度更高，而进一步设置的安装孔，在紧固件和固定环的配合下可对驱动齿轮进行更换，在保证压力角不变的情况下，增减驱动齿轮半径，以进一步起到调节测微头操作精度的作用。

技术研发人员：吕孟光
受保护的技术使用者：江苏宏京锐半导体科技有限公司
技术研发日：20221209
技术公布日：2024/1/13